C/C हीटर

प्रगत सेमीकंडक्टर आणि फोटोव्होल्टेइक उत्पादनामध्ये, उच्च-गुणवत्तेच्या क्रिस्टल स्ट्रक्चर्स साध्य करण्यासाठी अचूक थर्मल नियंत्रण आवश्यक आहे. सेमीकोरेक्स सी/सी हीटर (कार्बन/कार्बन मेन हीटर) हे अपवादात्मक थर्मल एकरूपता आणि स्थिरता प्रदान करण्यासाठी इंजिनिअर केलेले आहे, ज्यामुळे ते उच्च-तापमान क्रिस्टल ग्रोथ सिस्टममध्ये एक महत्त्वपूर्ण घटक बनते.

वर दर्शविलेल्या C/C हीटरमध्ये अचूक-कट स्लॉटसह खंडित रिंग रचना आहे, जे वर्तमान वितरण आणि थर्मल रेडिएशन ऑप्टिमाइझ करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहे. हे कॉन्फिगरेशन संपूर्ण हीटिंग झोनमध्ये उच्च एकसमान उष्णता निर्माण करण्यास सक्षम करते, प्रभावीपणे थर्मल ग्रेडियंट कमी करते आणि सुसंगत क्रिस्टल वाढीच्या स्थितीस समर्थन देते. हे मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन (सीझेड पद्धत) आणि पॉलीक्रिस्टलाइन सिलिकॉन उत्पादन यासारख्या प्रक्रियांमध्ये मोठ्या प्रमाणावर वापरले जाते, जेथे तापमान अचूकता सामग्रीच्या गुणवत्तेवर आणि उत्पन्नावर थेट परिणाम करते.

पारंपारिक ग्रेफाइट हीटर्स वारंवार उच्च-तापमान चक्रांवर यांत्रिक दीर्घायुष्य आणि थर्मल विकृतीसह संघर्ष करतात.C/C संमिश्र, उच्च-शक्तीच्या कार्बन फायबरसह प्रबलित, एक उत्कृष्ट पर्याय ऑफर करते. कार्बन तंतूंनी प्रबलित कार्बन मॅट्रिक्सचा वापर करून, C/C हीटर सिलिकॉन इनगॉटच्या वाढीदरम्यान मेल्ट-सॉलिड इंटरफेस नियंत्रित करण्यासाठी आवश्यक अचूक तापमान ग्रेडियंट प्रदान करताना अपवादात्मक संरचनात्मक अखंडता राखते.

मुख्य तपशील:

घनता: ≥1.50 g/cm³

थर्मल चालकता (RT): ≥40 W/(m·K)

विद्युत प्रतिरोधकता (RT): 20–30 μΩ·m

विद्युत प्रतिरोधकता (उच्च तापमान): 14–20 μΩ·m

सिलिकॉन वाढीसाठी मुख्य फायदे

1. अपवादात्मक थर्मल एकरूपता

C/C मुख्य हीटरचे प्राथमिक कार्य सममितीय उष्णता वितरण प्रदान करणे आहे. मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉनच्या वाढीमध्ये, तापमान ग्रेडियंटमध्ये अगदी थोडासा चढउतार ऑक्सिजन पर्जन्य समस्या किंवा विस्थापनास कारणीभूत ठरू शकतो. आमच्या हीटर्सची फायबर-प्रबलित रचना सुनिश्चित करते की स्थिर वाढ दर वाढवून, क्रूसिबलवर समान रीतीने उष्णता पसरते.

2. वर्धित रासायनिक शुद्धता

दूषितता हा अर्धसंवाहक कार्यक्षमतेचा शत्रू आहे. राखेचे प्रमाण कमीत कमी (सामान्यत: <20ppm) ठेवण्याची खात्री करण्यासाठी आमचे C/C हीटर्स उच्च-तापमान शुद्धीकरण प्रक्रियेतून जातात. हे धातूच्या अशुद्धतेला सिलिकॉन वितळण्यापासून प्रतिबंधित करते, एन-टाइप किंवा पी-टाइप वेफर्ससाठी आवश्यक उच्च प्रतिरोधकता आणि वाहक जीवनकाळ सुनिश्चित करते.

3. दीर्घायुष्य आणि खर्च-कार्यक्षमता

मानक आयसोस्टॅटिक ग्रेफाइटच्या तुलनेत,C/C संमिश्रताकद-ते-वजन गुणोत्तर खूप जास्त आहे. ते थर्मल शॉकसाठी अत्यंत प्रतिरोधक असतात आणि 1500℃ पेक्षा जास्त तापमानात दीर्घकाळ वापर केल्यानंतर ठिसूळ होत नाहीत. या टिकाऊपणामुळे फर्नेसचे तुकडे कमी होतात आणि फॅब ऑपरेटर्ससाठी मालकीची एकूण किंमत कमी होते.

सेमीकंडक्टर उद्योगातील अर्ज

सिलिकॉन ड्रॉर्स (सीझेड फर्नेसेस) मध्ये मुख्यत: केंद्रीय हीटिंग एलिमेंट म्हणून वापरले जात असताना, हे C/C हीटर्स देखील अविभाज्य आहेत:

पॉलिसिलिकॉन रिडक्शन फर्नेस: रासायनिक वाफ जमा करण्याच्या प्रक्रियेसाठी स्थिर उष्णता प्रदान करणे.

उच्च-तापमान व्हॅक्यूम फर्नेस: प्रगत सिरेमिक सामग्रीच्या सिंटरिंग आणि एनीलिंगसाठी.