पॅनकेक ससेप्टर, अर्धसंवाहक प्रक्रियेत वापरल्या जाणाऱ्या वेफर कॅरियरचा गोल आकार.
एपिटॅक्सी ही सेमीकंडक्टर प्रक्रियेतील एक महत्त्वाची पायरी आहे जी सेमीकंडक्टर वेफर्सवर एपिटॅक्सियल लेयर वाढवते, ज्यामध्ये वेफर्स ग्रेफाइट ससेप्टर्सवर वाहून जातात. ग्रेफाइट ससेप्टर्सचे गुण हे एपि-वेफर्सच्या गुणवत्तेचे मुख्य आकर्षण आहेत.
सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंगसह ग्रेफाइट ससेप्टर्स
सेमीकोरेक्स सर्व एपिटॅक्सी रिॲक्टर्ससाठी ससेप्टर्स आणि घटकांचा पुरवठा करते, यासहबॅरल ससेप्टर्सआणि पॅनकेक ससेप्टर्स. आम्ही उच्च शुद्धता ग्रेफाइट आणि CVD SiC कोटिंग वापरतो.