सेमीकोरेक्स एसआयसी लेपित वेफर सासेप्टर्स उच्च-कार्यक्षमता कॅरियर आहेत जे विशेषत: अल्ट्राथिन फिल्म जमा होण्याकरिता डिझाइन केलेले आहेत. प्रगत साहित्य अभियांत्रिकी, अचूक पोर्सिटी कंट्रोल आणि मजबूत एसआयसी कोटिंग तंत्रज्ञानासह, सेमीकोरेक्स पुढील पिढीतील सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगच्या विकसनशील गरजा पूर्ण करण्यासाठी उद्योग-आघाडीची विश्वसनीयता आणि सानुकूलन वितरीत करते.*
सेमीकोरेक्स एसआयसी लेपित वेफर सासेप्टर्स प्रगत सेमीकंडक्टरच्या उत्पादनासाठी विशेषत: प्रेशरलेस अल्ट्राथिन फिल्म जमा यंत्रणेत तयार केलेल्या आवश्यकतेची पूर्तता करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहेत. अचूक-डिझाइन केलेले, ते पातळ फिल्म प्रक्रियेसाठी पुढील पिढीच्या वातावरणासाठी अत्यावश्यक थर्मल कामगिरी, रासायनिक टिकाऊपणा आणि यांत्रिक स्थिरता ऑफर करतात.
अणु थर जमा (एएलडी), रासायनिक वाष्प जमा (सीव्हीडी), आणि अत्यंत पातळ चित्रपटांसाठी भौतिक वाष्प जमा (पीव्हीडी) यासारख्या दबावाची अंमलबजावणी करणार्या जमा करण्याच्या तंत्रामध्ये, मुख्य आवश्यकता एकसमान तापमान वितरण आणि पृष्ठभाग स्थिरता आहे. आमच्या संवेदनाक्षम डिझाइनचे विशिष्टता या वस्तुस्थितीत आहे की त्यात उच्च-शुद्धता सच्छिद्र सब्सट्रेट समाविष्ट आहे ज्यामुळे ते व्हॅक्यूम किंवा जवळ-व्हॅक्यूमच्या परिस्थितीत प्रभावीपणे कार्य करण्यास सक्षम करते ज्यामुळे औष्णिक तणाव कमी होतो आणि वेफर पृष्ठभागावर एकसमान ऊर्जा हस्तांतरण प्रदान करते.
मल्टी-होल स्ट्रक्चर ही एक महत्त्वाची नावीन्य आहे: हे थर्मल मास कमी करण्यात मदत करते, गॅस प्रवाह वितरणास प्रोत्साहित करते आणि दबाव चढ-उतार कमी करते जे अन्यथा जमा करण्याच्या एकसमानतेची तडजोड करू शकते. ही रचना वेगवान थर्मल रॅम्प-अप आणि कोलडाउन चक्रात देखील योगदान देते, एकूणच थ्रूपूट आणि प्रक्रिया नियंत्रण वाढवते.
आम्ही विविध ठेवण्याची व्यवस्था डिझाइन आणि वेफर परिमाणांशी जुळण्यासाठी अनेक संवेदनाक्षम आकार, भूमिती आणि पोर्सिटी पातळीची ऑफर देतो. आमच्या मॅन्युफॅक्चरिंग प्रक्रियेचे मॉड्यूलर स्वरूप क्लायंटच्या पातळ फिल्म प्रक्रियेच्या विशिष्ट थर्मल, मेकॅनिकल आणि रासायनिक आवश्यकता पूर्ण करण्यास सानुकूलित करण्यास अनुमती देते.
सेमीकोरेक्स एसआयसी लेपित वेफर सासेप्टर हा एक उच्च-कार्यक्षमता समाधान आहे जो प्रेशरलेस अल्ट्राथिन फिल्म जमा करण्याच्या अनोख्या आव्हानांसाठी तयार केला जातो. त्याचे सच्छिद्र स्ट्रक्चरल डिझाइन आणि मजबूत एसआयसी कोटिंगचे संयोजन उच्च-परिशुद्धता सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग प्रक्रियेसाठी इष्टतम समर्थन प्रदान करते, जे चांगल्या चित्रपटाची गुणवत्ता, उच्च उत्पादन आणि कमी ऑपरेशनल खर्च सक्षम करते.