प्रक्रियेदरम्यान, सेमीकंडक्टर वेफर्स विशेष भट्टीत गरम करणे आवश्यक आहे. अणुभट्टीमध्ये लांबलचक, दंडगोलाकार नळ्या असतात, ज्यामध्ये वेफर्स वेफर बोट्सवर पूर्वनिश्चित, समान अंतरावर ठेवल्या जातात. चेंबरमधील प्रक्रियेच्या परिस्थितीत टिकून राहण्यासाठी आणि प्रक्रिया उपकरणांमधून वेफर्सचा कचरा कमी करण्यासाठी, वेफर बोट्स आणि अनेक वेफर प्रक्रियेत वापरलेली इतर उपकरणे सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) सारख्या सामग्रीपासून बनविली जातात.
प्रक्रियेसाठी वेफर्सच्या बॅचने भरलेल्या बोटी, लांब कॅन्टीलेव्हर्ड पॅडल्सवर ठेवल्या जातात, ज्याद्वारे त्या ट्यूबलर भट्टी आणि अणुभट्ट्यांमधून घातल्या जाऊ शकतात आणि काढल्या जाऊ शकतात. पॅडलमध्ये एक चपटा वाहक विभाग असतो ज्यावर एक किंवा अधिक बोटी ठेवल्या जाऊ शकतात आणि एक लांब हँडल, सपाट वाहक विभागाच्या एका टोकाला ठेवलेले असते, ज्याद्वारे पॅडल हाताळले जाऊ शकते.
CVD SiC पातळ थराने पुन्हा-क्रिस्टॉल केलेले सिलिकॉन कार्बाइड वापरण्याची शिफारस कॅन्टीलिव्हर पॅडलची आहे, जी उच्च शुद्धता आहे आणि सेमीकंडक्टर प्रक्रियेतील घटकांसाठी सर्वोत्तम पर्याय आहे.
Semicorex रेखाचित्रे आणि कामकाजाच्या वातावरणानुसार सानुकूलित सेवा प्रदान करू शकते.
Semicorex Cantilever Paddles उच्च-तापमान आणि उच्च-शुद्धता सेमीकंडक्टर प्रक्रिया अनुप्रयोगांसाठी डिझाइन केलेले अचूक-इंजिनियर केलेले घटक आहेत. सेमिकोरेक्स प्रगत वेफर हँडलिंग आणि थर्मल मॅनेजमेंट सिस्टमच्या मागणीच्या गरजा पूर्ण करण्यासाठी उच्च-गुणवत्तेचे कँटिलिव्हर पॅडल प्रदान करते.*
पुढे वाचाचौकशी पाठवासेमीकोरेक्स हाय प्युरिटी SiC कँटिलिव्हर पॅडल हे उच्च शुद्धतेच्या सिंटर्ड SiC सिरेमिकने बनवले आहे, जे सेमीकंडक्टरमधील क्षैतिज भट्टीमध्ये संरचनात्मक भाग आहे. सेमीकोरेक्स ही सेमीकंडक्टर उद्योगात SiC घटक पुरवणारी अनुभवी कंपनी आहे.*
पुढे वाचाचौकशी पाठवासेमीकोरेक्स SiC सिरेमिक पॅडल हा उच्च-शुद्धता कँटिलीव्हर घटक आहे जो सेमीकंडक्टर उच्च-तापमान भट्टीसाठी इंजिनियर केलेला आहे, जो प्रामुख्याने ऑक्सिडेशन आणि प्रसार प्रक्रियेत वापरला जातो. सेमीकोरेक्स निवडणे म्हणजे प्रगत सिरेमिक सोल्यूशन्समध्ये प्रवेश मिळवणे जे गंभीर वेफर-हँडलिंग ऍप्लिकेशन्ससाठी अपवादात्मक स्थिरता, स्वच्छता आणि टिकाऊपणा सुनिश्चित करतात.*
पुढे वाचाचौकशी पाठवासेमीकोरेक्स SiC पॅडल्स हे उच्च-शुद्धतेचे सिलिकॉन कार्बाइड कॅन्टीलिव्हर आर्म आहेत जे उच्च-तापमान ऑक्सिडेशन आणि 1000℃ वरील डिफ्यूजन फर्नेसमध्ये वेफर वाहतुकीसाठी डिझाइन केलेले आहेत. सेमिकोरेक्स निवडणे म्हणजे असाधारण सामग्रीची गुणवत्ता, अचूक अभियांत्रिकी आणि आघाडीच्या सेमीकंडक्टर फॅबद्वारे विश्वासार्ह दीर्घकालीन विश्वासार्हता सुनिश्चित करणे.*
पुढे वाचाचौकशी पाठवा