प्रक्रियेदरम्यान, सेमीकंडक्टर वेफर्स विशेष भट्टीत गरम करणे आवश्यक आहे. अणुभट्टीमध्ये लांबलचक, दंडगोलाकार नळ्या असतात, ज्यामध्ये वेफर्स वेफर बोट्सवर पूर्वनिश्चित, समान अंतरावर ठेवल्या जातात. चेंबरमधील प्रक्रियेच्या परिस्थितीत टिकून राहण्यासाठी आणि प्रक्रियेच्या उपकरणांमधून वेफर्सचा कचरा कमी करण्यासाठी, वेफर बोट्स आणि अनेक वेफर प्रक्रियेत वापरलेली इतर उपकरणे सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) सारख्या सामग्रीपासून बनविली जातात.
प्रक्रियेसाठी वेफर्सच्या बॅचने भरलेल्या बोटी, लांब कॅन्टीलिव्हर्ड पॅडल्सवर ठेवल्या जातात, ज्याद्वारे त्या ट्यूबलर भट्टी आणि अणुभट्ट्यांमधून घातल्या जाऊ शकतात आणि काढल्या जाऊ शकतात. पॅडलमध्ये एक चपटा वाहक विभाग असतो ज्यावर एक किंवा अधिक बोटी ठेवल्या जाऊ शकतात आणि एक लांब हँडल, सपाट वाहक विभागाच्या एका टोकाला ठेवलेले असते, ज्याद्वारे पॅडल हाताळले जाऊ शकते.
CVD SiC पातळ थर असलेल्या रीक्रिस्टॉल केलेले सिलिकॉन कार्बाइड वापरण्याची शिफारस कँटिलिव्हर पॅडलला केली जाते, जी उच्च शुद्धता आणि अर्धसंवाहक प्रक्रियेतील घटकांसाठी सर्वोत्तम पर्याय आहे.
Semicorex रेखाचित्रे आणि कामकाजाच्या वातावरणानुसार सानुकूलित सेवा प्रदान करू शकते.
Semicorex SiC (सिलिकॉन कार्बाइड) Cantilever Paddle हा एक महत्त्वाचा घटक आहे जो सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेत वापरला जातो, विशेषत: डिफ्यूजन आणि RTP (रॅपिड थर्मल प्रोसेसिंग) सारख्या प्रक्रियेदरम्यान डिफ्यूजन किंवा LPCVD (लो-प्रेशर केमिकल वाफ डिपॉझिशन) फर्नेसमध्ये. SiC Cantilever Paddle हे डिफ्यूजन आणि RTP सारख्या विविध उच्च-तापमान प्रक्रियेदरम्यान प्रक्रिया ट्यूबमध्ये सेमीकंडक्टर वेफर्स सुरक्षितपणे वाहून नेण्यासाठी आहे. हे या भट्टीच्या प्रक्रिया ट्यूबमध्ये वेफर्सला समर्थन आणि वाहतूक करण्याच्या उद्देशाने कार्य करते. Semicorex स्पर्धात्मक किमतीत दर्जेदार उत्पादने देण्यासाठी वचनबद्ध आहे, आम्ही चीनमध्ये तुमचा दीर्घकालीन भागीदार बनण्यास उत्सुक आहोत.
पुढे वाचाचौकशी पाठवासेमीकोरेक्स सिलिकॉन कार्बाइड कॅन्टीलिव्हर पॅडल हा विविध थर्मल प्रोसेसिंग ऍप्लिकेशन्ससाठी भट्टीत वापरला जाणारा एक विशेष घटक आहे. Semicorex स्पर्धात्मक किमतीत दर्जेदार उत्पादने देण्यासाठी वचनबद्ध आहे, आम्ही चीनमध्ये तुमचा दीर्घकालीन भागीदार बनण्यास उत्सुक आहोत.
पुढे वाचाचौकशी पाठवामोठे वेफर लोडिंग फोर्स सिलिकॉन कार्बाइड SiC सिरॅमिक कॅन्टीलिव्हर पॅडल रोबोट स्वयंचलित लोडिंग आणि हाताळणी प्रणालीसाठी योग्य आहे कारण त्यात स्थिर कार्यप्रदर्शन, उच्च तापमानात विकृती नसणे आणि मोठे वेफर लोडिंग फोर्स आहे. Semicorex स्पर्धात्मक किमतीत दर्जेदार उत्पादने देण्यासाठी वचनबद्ध आहे, आम्ही चीनमध्ये तुमचा दीर्घकालीन भागीदार बनण्यास उत्सुक आहोत.
पुढे वाचाचौकशी पाठवा