TaC कोटिंग ग्रेफाइट उच्च-शुद्धतेच्या ग्रेफाइट सब्सट्रेटच्या पृष्ठभागावर टँटलम कार्बाइडच्या बारीक थराने प्रोप्रायटरी केमिकल वाफ डिपॉझिशन (CVD) प्रक्रियेद्वारे कोटिंग करून तयार केले जाते.
टँटलम कार्बाइड (TaC) हे एक संयुग आहे ज्यामध्ये टँटलम आणि कार्बन असतात. यात धातूची विद्युत चालकता आणि अपवादात्मकपणे उच्च वितळण्याचा बिंदू आहे, ज्यामुळे ते एक रीफ्रॅक्टरी सिरेमिक सामग्री बनते जे त्याच्या ताकद, कडकपणा आणि उष्णता आणि परिधान प्रतिरोधकतेसाठी ओळखले जाते. टँटलम कार्बाइड्सचा वितळण्याचा बिंदू शुद्धतेवर अवलंबून सुमारे 3880°C वर पोहोचतो आणि बायनरी संयुगांमध्ये सर्वाधिक वितळणारा बिंदू आहे. MOCVD आणि LPE सारख्या कंपाऊंड सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सियल प्रक्रियांमध्ये वापरल्या जाणाऱ्या कार्यक्षमतेपेक्षा जास्त तापमानाची मागणी जास्त असते तेव्हा हे एक आकर्षक पर्याय बनवते.
सेमिकोरेक्स टीएसी कोटिंगचा मटेरियल डेटा
|
प्रकल्प |
पॅरामीटर्स |
|
घनता |
14.3 (gm/cm³) |
|
उत्सर्जनशीलता |
0.3 |
|
CTE (×10-6/के) |
6.3 |
|
कडकपणा (HK) |
2000 |
|
प्रतिकार (ओहम-सेमी) |
1×10-5 |
|
थर्मल स्थिरता |
<2500℃ |
|
ग्रेफाइट आकारमान बदल |
-10~-20um (संदर्भ मूल्य) |
|
कोटिंग जाडी |
≥20um ठराविक मूल्य(35um±10um) |
|
|
|
|
वरील ठराविक मूल्ये आहेत |
|
एपिटॅक्सियल ग्रोथमधील सेमीकोरेक्स TaC कोटेड घटक हा सेमीकंडक्टरमधील एपिटॅक्सियल प्रक्रियेत हवेच्या सेवनमध्ये स्थित एक मौल्यवान मशीन केलेला भाग आहे. Semicorex ही चीनमधील CVD TaC कोटिंग तंत्रज्ञानामध्ये माहिर असणारी आणि जगभरात उत्पादने निर्यात करणारी उच्च दर्जाची कंपनी आहे.*
पुढे वाचाचौकशी पाठवाTaC कोटेड सीड क्रिस्टल होल्डर हा उच्च-कार्यक्षमता घटक आहे जो विशेषतः सेमीकंडक्टर सामग्रीच्या वाढीच्या वातावरणासाठी डिझाइन केलेला आहे. TTaC कोटेड सीड क्रिस्टल होल्डर्सचा अग्रगण्य निर्माता म्हणून, सेमीकोरेक्स तुम्हाला उच्च-अंत सेमीकंडक्टर उत्पादन क्षेत्रात कार्यक्षम कोर घटक उपाय ऑफर करते.
पुढे वाचाचौकशी पाठवाSemicorex TaC कोटिंग पेडेस्टल सपोर्टर हा एपिटॅक्सियल ग्रोथ सिस्टीमसाठी डिझाइन केलेला एक महत्त्वाचा घटक आहे, जो विशेषत: रिॲक्टर पेडेस्टल्सला सपोर्ट करण्यासाठी आणि गॅस प्रवाह वितरण प्रक्रिया ऑप्टिमाइझ करण्यासाठी तयार केलेला आहे. सेमिकोरेक्स उच्च-कार्यक्षमता, अचूक-अभियांत्रिक समाधान प्रदान करते जे उत्कृष्ट संरचनात्मक अखंडता, थर्मल स्थिरता आणि रासायनिक प्रतिरोधकता एकत्रित करते—प्रगत एपिटॅक्सी अनुप्रयोगांमध्ये सातत्यपूर्ण, विश्वासार्ह कार्यप्रदर्शन सुनिश्चित करते.*
पुढे वाचाचौकशी पाठवाSemicorex CVD TaC कोटेड ससेप्टर हे MOCVD एपिटॅक्सियल प्रक्रियेसाठी डिझाइन केलेले प्रीमियम सोल्यूशन आहे, जे अत्यंत प्रक्रियेच्या परिस्थितीत उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता, शुद्धता आणि गंज प्रतिकार प्रदान करते. सेमिकोरेक्स अचूक-अभियांत्रिकी कोटिंग तंत्रज्ञानावर लक्ष केंद्रित करते जे सातत्यपूर्ण वेफर गुणवत्ता, विस्तारित घटक जीवनकाळ आणि प्रत्येक उत्पादन चक्रात विश्वसनीय कामगिरी सुनिश्चित करते.*
पुढे वाचाचौकशी पाठवाSemicorex TaC Coated Crucibles हे उच्च-कार्यक्षमतेचे कंटेनर आहेत जे अति तापमान अनुप्रयोगांसाठी डिझाइन केलेले आहेत, जे धातू वितळणे आणि प्रगत अर्धसंवाहक प्रक्रिया दोन्हीसाठी योग्य आहेत. सेमीकोरेक्स निवडणे म्हणजे अत्याधुनिक कोटिंग तंत्रज्ञान आणि अभियांत्रिकी कौशल्यात प्रवेश मिळवणे जे सर्वात जास्त मागणी असलेल्या वातावरणात अपवादात्मक शुद्धता, टिकाऊपणा आणि स्थिरता प्रदान करते.*
पुढे वाचाचौकशी पाठवाSemicorex TaC कोटेड प्लॅनेटरी प्लेट हा MOCVD एपिटॅक्सियल ग्रोथसाठी डिझाइन केलेला एक उच्च-सुस्पष्टता घटक आहे, ज्यामध्ये मल्टिपल वेफर पॉकेट्स आणि ऑप्टिमाइझ्ड गॅस फ्लो कंट्रोलसह ग्रहांची गती आहे. सेमीकोरेक्स निवडणे म्हणजे प्रगत कोटिंग तंत्रज्ञान आणि अभियांत्रिकी तज्ञांमध्ये प्रवेश करणे जे सेमीकंडक्टर उद्योगासाठी अपवादात्मक टिकाऊपणा, शुद्धता आणि प्रक्रिया स्थिरता प्रदान करते.*
पुढे वाचाचौकशी पाठवा