TaC कोटिंग ग्रेफाइट उच्च-शुद्धतेच्या ग्रेफाइट सब्सट्रेटच्या पृष्ठभागावर टँटलम कार्बाइडच्या बारीक थराने प्रोप्रायटरी केमिकल वाफ डिपॉझिशन (CVD) प्रक्रियेद्वारे कोटिंग करून तयार केले जाते.
टँटलम कार्बाइड (TaC) हे एक संयुग आहे ज्यामध्ये टँटलम आणि कार्बन असतात. यात धातूची विद्युत चालकता आणि अपवादात्मकपणे उच्च वितळण्याचा बिंदू आहे, ज्यामुळे ते एक रीफ्रॅक्टरी सिरेमिक सामग्री बनते जे त्याच्या ताकद, कडकपणा आणि उष्णता आणि परिधान प्रतिरोधकतेसाठी ओळखले जाते. टँटलम कार्बाइड्सचा वितळण्याचा बिंदू शुद्धतेवर अवलंबून सुमारे 3880°C वर पोहोचतो आणि बायनरी संयुगांमध्ये सर्वाधिक वितळणारा बिंदू आहे. MOCVD आणि LPE सारख्या कंपाऊंड सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सियल प्रक्रियांमध्ये वापरल्या जाणाऱ्या कार्यक्षमतेपेक्षा जास्त तापमानाची मागणी जास्त असते तेव्हा हे एक आकर्षक पर्याय बनवते.
सेमिकोरेक्स टीएसी कोटिंगचा मटेरियल डेटा
प्रकल्प |
पॅरामीटर्स |
घनता |
14.3 (gm/cm³) |
उत्सर्जनशीलता |
0.3 |
CTE (×10-6/के) |
6.3 |
कडकपणा (HK) |
2000 |
प्रतिकार (ओहम-सेमी) |
1×10-5 |
थर्मल स्थिरता |
<2500℃ |
ग्रेफाइट आकारमान बदल |
-10~-20um (संदर्भ मूल्य) |
कोटिंग जाडी |
≥20um ठराविक मूल्य(35um±10um) |
|
|
वरील ठराविक मूल्ये आहेत |
|
TaC कोटिंग गाईड रिंग्स टँटलम कार्बाइड कोटिंगसह ग्रेफाइट रिंग आहेत, क्रिस्टल गुणवत्ता वाढविण्यासाठी सिलिकॉन कार्बाइड क्रिस्टल ग्रोथ फर्नेसमध्ये वापरण्यासाठी डिझाइन केलेली आहे. त्याच्या प्रगत कोटिंग तंत्रज्ञानासाठी सेमिकोरेक्स निवडा, उत्कृष्ट टिकाऊपणा, थर्मल स्थिरता आणि ऑप्टिमाइझ क्रिस्टल वाढ कार्यप्रदर्शन सुनिश्चित करा.*
पुढे वाचाचौकशी पाठवासेमीकोरेक्स टँटलम कार्बाइड गाइड रिंग ही टँटलम कार्बाइडसह लेपित ग्रेफाइट रिंग आहे, जी सिलिकॉन कार्बाइड क्रिस्टल ग्रोथ फर्नेसमध्ये सीड क्रिस्टल सपोर्ट, तापमान ऑप्टिमायझेशन आणि वर्धित वाढ स्थिरतेसाठी वापरली जाते. त्याच्या प्रगत साहित्य आणि डिझाइनसाठी Semicorex निवडा, जे क्रिस्टल वाढीची कार्यक्षमता आणि गुणवत्ता लक्षणीयरीत्या सुधारते.*
पुढे वाचाचौकशी पाठवासेमिकोरेक्स टँटलम कार्बाइड रिंग ही टँटॅलम कार्बाइडसह लेपित ग्रेफाइट रिंग आहे, अचूक तापमान आणि वायू प्रवाह नियंत्रण सुनिश्चित करण्यासाठी सिलिकॉन कार्बाइड क्रिस्टल ग्रोथ फर्नेसमध्ये मार्गदर्शक रिंग म्हणून वापरली जाते. सेमिकोरेक्स त्याच्या प्रगत कोटिंग तंत्रज्ञानासाठी आणि उच्च-गुणवत्तेच्या सामग्रीसाठी निवडा, टिकाऊ आणि विश्वासार्ह घटक वितरीत करा जे क्रिस्टल वाढीची कार्यक्षमता आणि उत्पादनाची आयुर्मान वाढवतात.*
पुढे वाचाचौकशी पाठवाच्या आव्हानांना तोंड देण्यासाठी सेमिकोरेक्स टॅसी कोटिंग वेफर ट्रे इंजिनिअर केलेली असणे आवश्यक आहे उच्च तापमान आणि रासायनिक प्रतिक्रियाशील वातावरणासह प्रतिक्रिया कक्षातील अत्यंत परिस्थिती.**
पुढे वाचाचौकशी पाठवासेमीकोरेक्स TaC कोटिंग प्लेट एपिटॅक्सियल वाढ प्रक्रिया आणि पुढील सेमीकंडक्टर उत्पादन वातावरणाची मागणी करण्यासाठी उच्च-कार्यक्षमता घटक म्हणून उभी आहे. त्याच्या उत्कृष्ट गुणधर्मांच्या मालिकेसह, ते शेवटी प्रगत सेमीकंडक्टर फॅब्रिकेशन प्रक्रियेची उत्पादकता आणि खर्च-प्रभावशीलता वाढवू शकते.**
पुढे वाचाचौकशी पाठवाSemicorex LPE SiC-Epi Halfmoon ही एपिटॅक्सीच्या जगात एक अपरिहार्य मालमत्ता आहे, जी उच्च तापमान, प्रतिक्रियाशील वायू आणि कठोर शुद्धता आवश्यकतांमुळे निर्माण होणाऱ्या आव्हानांवर एक मजबूत उपाय प्रदान करते.**
पुढे वाचाचौकशी पाठवा