चेंबरचे झाकण डिपॉझिशन चेंबरमध्ये स्वच्छ, निष्क्रिय आणि संरक्षित वातावरण तयार करण्यासाठी वापरले जातात, त्यामुळे ते डिपॉझिशन किंवा खोदण्याच्या प्रक्रियेदरम्यान प्लाझ्मा आणि उच्च तापमानाच्या संपर्कात येतात. सेमिकोरेक्स चेंबरचे झाकण हे रासायनिक वाष्प निक्षेपण (CVD) पद्धतीचा वापर करून सिलिकॉन कार्बाइडने लेपित केलेले टिकाऊ सिरॅमिक घटक आहेत, या आव्हानात्मक वातावरणात उभे राहण्यासाठी उत्तम.