व्यावसायिक उत्पादन म्हणून, आम्ही तुम्हाला सेमीकंडक्टर घटक प्रदान करू इच्छितो. सेमीकोरेक्स सेमीकंडक्टर प्रक्रियेत सुधारणा करण्यासाठी तुमचा भागीदार आहे. आमचे सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग्ज दाट, उच्च तापमान आणि रासायनिक प्रतिरोधक आहेत, जे बहुतेक वेळा अर्धसंवाहक उत्पादनाच्या संपूर्ण चक्रामध्ये वापरले जातात, ज्यामध्ये सेमीकंडक्टर वेफर आणि वेफर प्रक्रिया आणि सेमीकंडक्टर फॅब्रिकेशन समाविष्ट आहे.
सेमीकंडक्टरमधील प्रक्रियांसाठी उच्च-शुद्धता SiC लेपित घटक महत्त्वपूर्ण आहेत. क्रिस्टल ग्रोइंग हॉट झोन (हीटर्स, क्रूसिबल ससेप्टर्स, इन्सुलेशन) साठी ग्रेफाइट उपभोग्य वस्तूंपासून ते वेफर प्रक्रिया उपकरणांसाठी उच्च-परिशुद्धता ग्रेफाइट घटकांपर्यंत, जसे की सिलिकॉन कार्बाइड कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टर्स Epitaxy किंवा MOCVD साठी आमची ऑफर श्रेणी.
सेमीकंडक्टर प्रक्रियेसाठी फायदे
एपिटॅक्सी किंवा एमओसीव्हीडी किंवा वेफर हाताळणी प्रक्रिया जसे की एचिंग किंवा आयन इम्प्लांट यासारख्या पातळ फिल्म डिपॉझिशनच्या टप्प्यांना उच्च तापमान आणि कठोर रासायनिक साफसफाई सहन करावी लागते. सेमीकोरेक्स उच्च-शुद्धता सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) लेपित ग्रेफाइट बांधकाम उच्च उष्णता प्रतिरोध आणि टिकाऊ रासायनिक प्रतिरोध प्रदान करते, अगदी सुसंगत एपि लेयर जाडी आणि प्रतिकारासाठी थर्मल एकरूपता प्रदान करते.
चेंबर लिड्स →
क्रिस्टल ग्रोथ आणि वेफर हाताळणी प्रक्रियेत वापरल्या जाणाऱ्या चेंबरच्या झाकणांना उच्च तापमान आणि कठोर रासायनिक साफसफाई सहन करावी लागते.
एंड इफेक्टर →
एंड इफेक्टर हा रोबोटचा हात आहे जो सेमीकंडक्टर वेफर्सला वेफर प्रोसेसिंग इक्विपमेंट आणि वाहकांमधील पोझिशन्स दरम्यान हलवतो.
इनलेट रिंग्ज →
MOCVD उपकरणांद्वारे SiC कोटेड गॅस इनलेट रिंग कंपाऊंड ग्रोथमध्ये उच्च उष्णता आणि गंज प्रतिरोधक क्षमता असते, ज्याची अत्यंत वातावरणात स्थिरता असते.
फोकस रिंग →
सेमिकोरेक्स पुरवठा सिलिकॉन कार्बाइड कोटेड फोकस रिंग RTA, RTP किंवा कठोर रासायनिक साफसफाईसाठी खरोखर स्थिर आहे.
वेफर चक →
सेमीकोरेक्स अल्ट्रा-फ्लॅट सिरॅमिक व्हॅक्यूम वेफर चक्स हे वेफर हाताळणी प्रक्रियेत वापरून उच्च शुद्धतेचे SiC कोटेड आहे.
सेमीकोरेक्स सिंगल-क्रिस्टल सिलिकॉन इलेक्ट्रोड हे वेफर एचिंग प्रक्रियेदरम्यान इलेक्ट्रोड आणि एचिंग गॅस मार्ग दोन्ही म्हणून काम करतात. सेमिकोरेक्स सिंगल-क्रिस्टल सिलिकॉन इलेक्ट्रोड हे अपरिहार्य सिलिकॉन घटक आहेत जे विशेषत: हाय-एंड सेमीकंडक्टर एच मॅन्युफॅक्चरिंगसाठी तयार केले जातात, जे एचिंगची अचूकता आणि एकसमानता सुधारण्यास मदत करू शकतात.
पुढे वाचाचौकशी पाठवाSemicorex Cantilever Paddles उच्च-तापमान आणि उच्च-शुद्धता सेमीकंडक्टर प्रक्रिया अनुप्रयोगांसाठी डिझाइन केलेले अचूक-इंजिनियर केलेले घटक आहेत. सेमिकोरेक्स प्रगत वेफर हँडलिंग आणि थर्मल मॅनेजमेंट सिस्टमच्या मागणीच्या गरजा पूर्ण करण्यासाठी उच्च-गुणवत्तेचे कँटिलिव्हर पॅडल प्रदान करते.*
पुढे वाचाचौकशी पाठवासेमीकोरेक्स सिलिकॉन एचिंग रिंग हे अचूक रिंग-आकाराचे एचिंग घटक आहेत जे उच्च-शुद्धतेच्या सिंगल क्रिस्टल सिलिकॉनपासून बनवले जातात. ते प्लाझ्मा एचिंग उपकरणांमध्ये वापरले जाणारे आवश्यक सिलिकॉन भाग आहेत, विशेषत: इष्टतम प्लाझ्मा एचिंग परिस्थिती निर्माण करण्यासाठी तयार केलेले. Semicorex निवडा, उच्च-गुणवत्तेच्या सिलिकॉन एचिंग रिंग निवडा.
पुढे वाचाचौकशी पाठवाLPCVD साठी सेमीकोरेक्स फर्नेस ट्यूब्स एकसमान आणि दाट CVD SiC कोटिंगसह अचूक-उत्पादित ट्यूबलर घटक आहेत. प्रगत कमी दाब रासायनिक वाष्प निक्षेप प्रक्रियेसाठी विशेषतः डिझाइन केलेले, LPCVD साठी सेमीकोरेक्स फर्नेस ट्यूब्स वेफर थिन-फिल्म डिपॉझिशनची गुणवत्ता आणि उत्पन्न सुधारण्यासाठी योग्य उच्च-तापमान, कमी-दाब प्रतिक्रिया वातावरण प्रदान करण्यास सक्षम आहेत.
पुढे वाचाचौकशी पाठवासेमीकोरेक्स CVD SiC-कोटेड फर्नेस ट्यूब्स हे उच्च-तपमान अर्धसंवाहक प्रक्रियेसाठी तयार केलेले उच्च-अंत ट्यूबलर घटक आहेत, जसे की ऑक्सिडेशन, डिफ्यूजन आणि सेमीकंडक्टर वेफर्सचे ॲनिलिंग. प्रगत प्रक्रिया तंत्रज्ञान आणि परिपक्व उत्पादन अनुभवाचा लाभ घेत, सेमिकोरेक्स आमच्या मूल्यवान ग्राहकांसाठी बाजारपेठेतील आघाडीच्या गुणवत्तेसह अचूक-मशीन CVD SiC-कोटेड फर्नेस ट्यूब पुरवण्यासाठी वचनबद्ध आहे.
पुढे वाचाचौकशी पाठवाSemicorex SiC प्रक्रिया ट्यूब CVD SiC कोटिंगसह उच्च शुद्धता SiC सिरेमिकद्वारे बनविल्या जातात, ते सेमीकंडक्टरमधील आडव्या भट्टीसाठी योग्य आहे. उत्पादनाची गुणवत्ता आणि विक्रीनंतरची सेवा लक्षात घेता, सेमिकोरेक्स ही अशी आहे जी आमच्या जगभरातील ग्राहकांसोबत उच्च दर्जाचा व्यवसाय करू इच्छिते.*
पुढे वाचाचौकशी पाठवा