व्यावसायिक उत्पादन म्हणून, आम्ही तुम्हाला सेमीकंडक्टर घटक प्रदान करू इच्छितो. सेमीकोरेक्स सेमीकंडक्टर प्रक्रियेत सुधारणा करण्यासाठी तुमचा भागीदार आहे. आमचे सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग्ज दाट, उच्च तापमान आणि रासायनिक प्रतिरोधक आहेत, जे बहुतेक वेळा अर्धसंवाहक उत्पादनाच्या संपूर्ण चक्रामध्ये वापरले जातात, ज्यामध्ये सेमीकंडक्टर वेफर आणि वेफर प्रक्रिया आणि सेमीकंडक्टर फॅब्रिकेशन समाविष्ट आहे.
सेमीकंडक्टरमधील प्रक्रियांसाठी उच्च-शुद्धता SiC लेपित घटक महत्त्वपूर्ण आहेत. क्रिस्टल ग्रोइंग हॉट झोन (हीटर्स, क्रूसिबल ससेप्टर्स, इन्सुलेशन) साठी ग्रेफाइट उपभोग्य वस्तूंपासून ते वेफर प्रक्रिया उपकरणांसाठी उच्च-परिशुद्धता ग्रेफाइट घटकांपर्यंत, जसे की सिलिकॉन कार्बाइड कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टर्स Epitaxy किंवा MOCVD साठी आमची ऑफर श्रेणी.
सेमीकंडक्टर प्रक्रियेसाठी फायदे
एपिटॅक्सी किंवा एमओसीव्हीडी किंवा वेफर हाताळणी प्रक्रिया जसे की एचिंग किंवा आयन इम्प्लांट यासारख्या पातळ फिल्म डिपॉझिशनच्या टप्प्यांना उच्च तापमान आणि कठोर रासायनिक साफसफाई सहन करावी लागते. सेमीकोरेक्स उच्च-शुद्धता सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) लेपित ग्रेफाइट बांधकाम उच्च उष्णता प्रतिरोध आणि टिकाऊ रासायनिक प्रतिरोध प्रदान करते, अगदी सुसंगत एपि लेयर जाडी आणि प्रतिकारासाठी थर्मल एकरूपता प्रदान करते.
चेंबर लिड्स →
क्रिस्टल ग्रोथ आणि वेफर हाताळणी प्रक्रियेत वापरल्या जाणाऱ्या चेंबरच्या झाकणांना उच्च तापमान आणि कठोर रासायनिक साफसफाई सहन करावी लागते.
एंड इफेक्टर →
एंड इफेक्टर हा रोबोटचा हात आहे जो सेमीकंडक्टर वेफर्सला वेफर प्रोसेसिंग इक्विपमेंट आणि वाहकांमधील पोझिशन्स दरम्यान हलवतो.
इनलेट रिंग्ज →
MOCVD उपकरणांद्वारे SiC कोटेड गॅस इनलेट रिंग कंपाऊंड ग्रोथमध्ये उच्च उष्णता आणि गंज प्रतिरोधक क्षमता असते, ज्याची अत्यंत वातावरणात स्थिरता असते.
फोकस रिंग →
सेमिकोरेक्स पुरवठा सिलिकॉन कार्बाइड कोटेड फोकस रिंग RTA, RTP किंवा कठोर रासायनिक साफसफाईसाठी खरोखर स्थिर आहे.
वेफर चक →
सेमीकोरेक्स अल्ट्रा-फ्लॅट सिरॅमिक व्हॅक्यूम वेफर चक्स हे वेफर हाताळणी प्रक्रियेत वापरून उच्च शुद्धतेचे SiC कोटेड आहे.
Semicorex SiC कोटिंग हीटरचे CVD SiC कोटिंग मेटल-ऑरगॅनिक केमिकल वाफ डिपॉझिशन (MOCVD) आणि एपिटॅक्सियल ग्रोथ यांसारख्या प्रक्रियांमध्ये वारंवार येणाऱ्या कठोर, संक्षारक आणि प्रतिक्रियाशील वातावरणापासून गरम घटकांचे संरक्षण करण्यासाठी उत्कृष्ट कार्यप्रदर्शन देते.**
पुढे वाचाचौकशी पाठवामेटॅलिक शॉवर हेड, गॅस डिस्ट्रिब्युशन प्लेट किंवा गॅस शॉवर हेड म्हणून ओळखले जाणारे, सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेत मोठ्या प्रमाणावर वापरले जाणारे एक महत्त्वपूर्ण घटक आहे. त्याचे प्राथमिक कार्य म्हणजे प्रतिक्रिया कक्षांमध्ये समान रीतीने वायू वितरित करणे, हे सुनिश्चित करणे की सेमीकंडक्टर सामग्री प्रक्रियेच्या एकसमान संपर्कात येते. वायू.**
पुढे वाचाचौकशी पाठवासेमीकोरेक्सचे MOCVD हीटर हा एक अत्यंत प्रगत आणि काळजीपूर्वक इंजिनिअर केलेला घटक आहे जो अपवादात्मक रासायनिक शुद्धता, थर्मल कार्यक्षमता, विद्युत चालकता, उच्च उत्सर्जन, गंज प्रतिरोधकता, ऑक्सिडायझेबिलिटी आणि यांत्रिक सामर्थ्य यासह अनेक फायदे देतो.**
पुढे वाचाचौकशी पाठवा