सिंगल क्रिस्टल सिलिकॉन शॉवरहेड, ज्याला गॅस स्प्रे हेड किंवा गॅस डिस्ट्रिब्युशन प्लेट म्हणून ओळखले जाते किंवा सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेमध्ये साफसफाई, कोरीव काम आणि डिपॉझिशन यासारख्या महत्त्वाच्या प्रक्रियेसाठी मोठ्या प्रमाणावर वापरले जाणारे गॅस वितरण साधन आहे. सेमीकंडक्टर उद्योगात चिप उत्पादनाची अचूकता आणि गुणवत्ता सुधारण्यासाठी उच्च-गुणवत्तेचे आणि किफायतशीर सिंगल क्रिस्टल सिलिकॉन शॉवरहेड आवश्यक आहे.
सेमिकोरेक्स सिंगल क्रिस्टल सिलिकॉनशॉवरहेडअपवादात्मक गंज प्रतिकार, कमी विस्तार गुणांक आणि उत्कृष्ट उष्णता चालकता दर्शवते. सेमीकंडक्टर उत्पादनात उच्च तापमान, उच्च संक्षारकता आणि उच्च व्हॅक्यूमच्या कठोर परिस्थितीशी बळकटपणे जुळवून घेत, हे एचिंग आणि डिपॉझिशन गॅसेस सारख्या वायूंवर प्रक्रिया करण्यासाठी अपवादात्मक सहिष्णुता प्रदर्शित करते. म्हणून, सिंगल क्रिस्टल सिलिकॉन शॉवरहेडचा वापर सेमीकंडक्टर क्लीनिंग प्रक्रिया, ऑक्सिडेशन प्रक्रिया, डिपॉझिशन प्रक्रिया आणि एचिंग प्रक्रियांमध्ये मोठ्या प्रमाणावर केला जातो.
सिंगल क्रिस्टल सिलिकॉन शॉवरहेडच्या पृष्ठभागावर अत्यंत उच्च सपाटपणा आणि गुळगुळीतपणा दोन्ही आहे याची खात्री करण्यासाठी सेमीकोरेक्स प्रगत पृष्ठभाग उपचार तंत्र वापरते. दरम्यान, चॅनेल स्ट्रक्चर आणि गॅस पाथच्या प्रमाणित डिझाइनवर अवलंबून राहून, सिंगल क्रिस्टल सिलिकॉन शॉवरहेडची पृष्ठभाग समान व्यासाच्या अनेक छिद्रांसह समान रीतीने वितरित केली जाते (किमान व्यास 0.2 मिलीमीटरपर्यंत पोहोचू शकतो). सिंगल क्रिस्टल सिलिकॉन शॉवरहेडचा छिद्र व्यास सहिष्णुता मायक्रोमीटर स्तरावर तंतोतंत नियंत्रित केली जाते आणि छिद्राची आतील भिंत गुळगुळीत आणि बुरांपासून मुक्त असणे आवश्यक आहे, ज्यामुळे संरचनात्मक आणि प्रक्रिया पैलूंमधून प्रक्रिया गॅसची वितरण अचूकता आणि एकसमानता सुनिश्चित होते.
Semicorex विविध क्लायंटच्या गरजा पूर्ण करण्यासाठी तज्ञ कस्टमायझेशन सेवा प्रदान करते. त्याच्या क्लायंटच्या विविध गरजांनुसार, ते त्यांच्या प्रतिक्रिया कक्षांचे आकारमान आणि स्वरूप फिट करण्यासाठी देखावा उपाय सानुकूलित करू शकते. ऑप्टिमाइझ केलेले डिझाइन वेफर्सना संपूर्ण प्रतिक्रिया प्रक्रियेदरम्यान वायूशी संपूर्ण आणि सातत्यपूर्ण संपर्क साधण्यास सक्षम करते आणि गॅस संपूर्ण प्रतिक्रिया कक्षेत समान रीतीने विखुरला जाईल याची हमी देते. हे शेवटी उत्पादन कार्यक्षमता आणि उत्पादनाची गुणवत्ता वाढवते.