सिलिकॉन शील्ड रिंग

सेमिकोरेक्स सिलिकॉन शील्ड रिंग हे एचिंग प्रक्रियेतील एक महत्त्वपूर्ण अर्धसंवाहक घटक आहे. त्याचे प्राथमिक कार्य इलेक्ट्रोडला वेढणे आणि जास्त प्रमाणात प्लाझ्मा गळती रोखणे हे आहे. सामग्रीची शुद्धता 9N (99.9999999%) पेक्षा जास्त असल्यास, शील्ड रिंग सिंगल-क्रिस्टल आणि मल्टी-क्रिस्टल दोन्हीद्वारे बनवता येते.सिलिकॉन, अल्ट्रा-क्लीन ऑपरेशन आणि प्रगत सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेसह विश्वसनीय सुसंगतता सुनिश्चित करणे.

सीसीपी/आयसीपी एचिंग प्रक्रियेत अचूक प्लाझ्मा नियंत्रण प्रभावी, एकसमान एचिंग दर आणि वेफर गुणवत्तेसाठी आवश्यक आहे. इच्छित नक्षी क्षेत्राच्या बाहेरील अनियंत्रित प्लाझ्मा गळतीमुळे पृष्ठभागाची धूप आणि दूषितता निर्माण होऊ शकते किंवा चेंबरमधील घटकांचे नुकसान होऊ शकते. सिलिकॉन शील्ड रिंग हा या समस्येवर एक प्रभावी, सोपा उपाय आहे, जो इलेक्ट्रोडच्या बाहेरील परिमितीवर संरक्षणात्मक अडथळा निर्माण करण्यासाठी तयार केला जातो, प्लाझ्माला लक्ष्य क्षेत्राच्या बाहेर पसरण्यापासून प्रतिबंधित करतो आणि कोरीव काम केवळ इच्छित क्षेत्रापर्यंत मर्यादित ठेवतो. सिलिकॉन शील्ड रिंग प्लाझ्मा वितरण स्थिर करण्यासाठी आणि वेफर पृष्ठभागावर अधिक एकसमान ऊर्जा सक्षम करण्यासाठी बाह्य इलेक्ट्रोड म्हणून देखील कार्य करते.

सिलिकॉनचे थर्मल आणि इलेक्ट्रिकल गुणधर्म हेचिंग शील्ड रिंगच्या कार्यक्षमतेस समर्थन देतात. उच्च प्रक्रिया तापमानास त्याचा प्रतिकार दीर्घकाळापर्यंत प्लाझ्मा एक्सपोजर दरम्यान स्ट्रक्चरल अखंडता प्रदान करतो आणि त्याची विद्युत चालकता घटकाला इलेक्ट्रोड सिस्टममधील घटक म्हणून योग्यरित्या कार्य करण्यास अनुमती देते. एकत्रितपणे, हे ऍप्लिकेशन्स प्लाझ्मा बंदिवास वाढवतात आणि उर्जेची एकसमानता सुधारतात, ज्यामुळे वेफर्समध्ये पुनरावृत्ती करता येण्याजोग्या इच प्रोफाइलची परवानगी मिळते.

यांत्रिक सहिष्णुता हे सिलिकॉन एचिंग शील्ड रिंगचे आणखी एक उल्लेखनीय वैशिष्ट्य आहे. घट्ट सहिष्णुतेसाठी उत्पादित केल्यामुळे, ते इलेक्ट्रोडभोवती अचूक स्थान निश्चित करते आणि चेंबरमधील अंतर आणि भूमिती राखते. ही यांत्रिक अचूकता वैयक्तिक धावांमधील कमी परिवर्तनशीलतेसाठी पुनरावृत्ती करण्यायोग्य प्रक्रिया परिस्थिती निर्माण करते आणि उच्च-व्हॉल्यूम सेमीकंडक्टर उत्पादनास अनुमती देते. सामग्रीमध्ये प्लाझ्मा वातावरणासह उत्कृष्ट सुसंगतता आहे; म्हणून त्याची रचना कमी केल्याने ते सामान्यत: दीर्घ सेवा आयुष्य आणि प्रक्रियेच्या कार्यक्षमतेत स्थिरता प्रदान करण्यास अनुमती देते.

टिकाऊपणा आणि खर्च परिणामकारकता हे दोन अधिक मौल्यवान फायदे आहेत. चेंबरच्या अनावश्यक भागांना प्लाझ्मापासून संरक्षित करून, शील्ड रिंग इतर गंभीर घटकांचा पोशाख कमी करते, ज्यामुळे देखभालीचे प्रयत्न कमी होतात आणि एकूण ऑपरेशनल अपटाइम वाढतो. दीर्घ सेवा आयुष्य आणि कमी वारंवार बदलणे हे सेमीकंडक्टर फॅबसाठी उत्पादकता वाढवण्यासाठी आणि त्याद्वारे ऑपरेटिंग खर्च कमी करण्यासाठी एक किफायतशीर उपाय बनवते.

दसिलिकॉनशील्ड रिंग प्रत्येक टूल कॉन्फिगरेशन आणि प्रक्रियेच्या वैशिष्ट्यांसाठी देखील सानुकूलित केली जाऊ शकते कारण ते अनेक आकार आणि भूमितींमध्ये उपलब्ध आहेत जे मेक बनवणारे विविध प्लाझ्मा एचिंग चेंबर्स सामावून घेतात, तरीही इष्टतम तंदुरुस्त साध्य करतात. याव्यतिरिक्त, अल्ट्रा-क्लीन मॅन्युफॅक्चरिंग मानकांसाठी कण निर्मिती आणखी कमी करण्यासाठी पृष्ठभागावरील उपचार आणि पॉलिशिंगचा वापर केला जाऊ शकतो.