गॅस इनलेट रिंग्सचा वापर वेफर एज आणि परिमिती झाकण्यासाठी केला जातो, चेंबरच्या गंभीर घटकांचे संरक्षण करण्यासाठी स्वच्छ, निष्क्रिय आणि संरक्षित वातावरण तयार करण्यासाठी आणि डिपॉझिशन चेंबरमध्ये त्यांचे उपयुक्त आयुष्य वाढवते, त्यामुळे ते डिपॉझिशन किंवा वेफर प्रक्रियेदरम्यान प्लाझ्मा आणि उच्च तापमानाच्या संपर्कात येतात. , त्यामुळे मजबूत प्लाझ्मा टिकाऊपणा आणि उच्च शुद्धता अंतिम वेफर उत्पन्नासाठी महत्त्वपूर्ण आहेत.
सेमिकोरेक्स CVD SiC कोटेड रिंग विशेषतः या मागणी असलेल्या एपिटॅक्सी उपकरणांच्या ऍप्लिकेशन्ससाठी तयार केल्या आहेत.