फोकस रिंग किंवा एज रिंग्स वेफर एज किंवा परिमितीभोवती नक्षी एकसारखेपणा सुधारण्यासाठी डिझाइन केल्या आहेत.
सेमीकोरेक्स फोकस रिंग सिलिकॉन कार्बाईड लेपित आहेत रासायनिक बाष्प साठा (CVD) वापरून उत्कृष्ट उष्णता प्रतिरोध प्रदान करते, अगदी सातत्यपूर्ण एपि लेयर जाडी आणि प्रतिकारासाठी थर्मल एकसमानता आणि टिकाऊ रासायनिक प्रतिकार, जे प्लाझ्मा एचिंग किंवा कोरड्या एचिंग प्रक्रियेत अत्यंत वातावरणाचा सामना करण्यासाठी तयार केले जाते. .
Semicorex SiC फोकस रिंग हा उच्च-शुद्धता असलेला सिलिकॉन कार्बाइड रिंग घटक आहे जो सेमीकंडक्टर उत्पादनामध्ये प्लाझ्मा वितरण आणि वेफर प्रक्रियेची एकरूपता ऑप्टिमाइझ करण्यासाठी डिझाइन केलेला आहे. सेमीकोरेक्स निवडणे म्हणजे सातत्यपूर्ण गुणवत्ता, प्रगत साहित्य अभियांत्रिकी आणि जगभरातील आघाडीच्या सेमीकंडक्टर फॅबद्वारे विश्वासार्ह कामगिरी सुनिश्चित करणे.*
पुढे वाचाचौकशी पाठवा