फोकस रिंग किंवा एज रिंग्स वेफर एज किंवा परिमितीभोवती कोरीव एकसारखेपणा सुधारण्यासाठी डिझाइन केल्या आहेत.
सेमिकोरेक्स फोकस रिंग सिलिकॉन कार्बाईड लेपित आहेत रासायनिक वाष्प संचय (CVD) वापरून उत्कृष्ट उष्णता प्रतिरोध प्रदान करतात, अगदी सातत्यपूर्ण एपि लेयर जाडी आणि प्रतिकारासाठी थर्मल एकसमानता आणि टिकाऊ रासायनिक प्रतिकार, जे प्लाझ्मा एचिंग किंवा ड्राय एचिंग प्रक्रियेमध्ये अत्यंत वातावरणाचा सामना करण्यासाठी तयार केले जातात. .
सेमीकंडक्टर प्रक्रियेसाठी सेमिकोरेक्स टिकाऊ फोकस रिंग्स सेमीकंडक्टर प्रक्रियेमध्ये वापरल्या जाणार्या प्लाझ्मा इच चेंबर्सच्या अत्यंत वातावरणाचा सामना करण्यासाठी डिझाइन केल्या आहेत. आमच्या फोकस रिंग्स दाट, पोशाख-प्रतिरोधक सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) कोटिंगसह उच्च-शुद्धतेच्या ग्रेफाइटच्या बनलेल्या आहेत. SiC कोटिंगमध्ये उच्च गंज आणि उष्णता प्रतिरोधक गुणधर्म तसेच उत्कृष्ट थर्मल चालकता आहे. आमच्या फोकस रिंगच्या सेवा आयुष्यात सुधारणा करण्यासाठी आम्ही रासायनिक वाष्प डिपॉझिशन (CVD) प्रक्रियेचा वापर करून ग्रेफाइटवर पातळ थरांत SiC लावतो.
पुढे वाचाचौकशी पाठवासेमीकोरेक्स प्लाझ्मा प्रोसेसिंग फोकस रिंग विशेषतः सेमीकंडक्टर उद्योगातील प्लाझ्मा एच प्रोसेसिंगच्या उच्च मागण्या पूर्ण करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहे. आमचे प्रगत, उच्च-शुद्धतेचे सिलिकॉन कार्बाइड लेपित घटक अत्यंत वातावरणाचा सामना करण्यासाठी तयार केलेले आहेत आणि सिलिकॉन कार्बाइड स्तर आणि एपिटॅक्सी सेमीकंडक्टरसह विविध अनुप्रयोगांमध्ये वापरण्यासाठी योग्य आहेत.
पुढे वाचाचौकशी पाठवासेमीकोरेक्स प्रगत, उच्च-शुद्धता असलेल्या SiC फोकस रिंग्स प्लाझ्मा इच (किंवा कोरड्या इच) चेंबर्समध्ये अत्यंत वातावरणाचा सामना करण्यासाठी तयार केल्या जातात. आम्ही सेमीकंडक्टर उद्योगांवर लक्ष केंद्रित करतो जसे की सिलिकॉन कार्बाइड स्तर आणि एपिटॅक्सी सेमीकंडक्टर. आमच्या उत्पादनांचा किमतीचा चांगला फायदा आहे आणि त्यामध्ये अनेक युरोपियन आणि अमेरिकन बाजारांचा समावेश होतो. आम्ही चीनमध्ये तुमचे दीर्घकालीन भागीदार बनण्यास उत्सुक आहोत.
पुढे वाचाचौकशी पाठवा