फोकस रिंग किंवा एज रिंग्स वेफर एज किंवा परिमितीभोवती नक्षी एकसारखेपणा सुधारण्यासाठी डिझाइन केल्या आहेत.
सेमीकोरेक्स फोकस रिंग सिलिकॉन कार्बाईड लेपित आहेत रासायनिक बाष्प साठा (CVD) वापरून उत्कृष्ट उष्णता प्रतिरोध प्रदान करते, अगदी सातत्यपूर्ण एपि लेयर जाडी आणि प्रतिकारासाठी थर्मल एकसमानता आणि टिकाऊ रासायनिक प्रतिकार, जे प्लाझ्मा एचिंग किंवा कोरड्या एचिंग प्रक्रियेत अत्यंत वातावरणाचा सामना करण्यासाठी तयार केले जाते. .