सेमिकोरेक्स आरटीपी वाहक हे रासायनिक वाष्प संचय (सीव्हीडी) प्रक्रियेचा वापर करून सिलिकॉन कार्बाइड लेपित आहे, जे आरटीए, आरटीपी किंवा कठोर रासायनिक साफसफाईसाठी खरोखर स्थिर आहे. सेमीकंडक्टर प्रक्रियेच्या केंद्रस्थानी, एपिटॅक्सी ससेप्टर्स, प्रथम डिपॉझिशन वातावरणाच्या अधीन असतात, म्हणून त्यात उच्च उष्णता आणि गंज प्रतिरोधक असतो. SiC कोटेड कॅरियरमध्ये उच्च थर्मल चालकता आणि उत्कृष्ट उष्णता वितरण गुणधर्म देखील आहेत.
● उच्च शुद्धता SiC लेपित ग्रेफाइट
● उत्कृष्ट उष्णता प्रतिरोध आणि रासायनिक प्रतिकार
● उच्च थर्मल एकरूपता
● उत्कृष्ट पोशाख प्रतिकार