सेमीकोरेक्सची आरटीपी ग्रेफाइट कॅरियर प्लेट सेमीकंडक्टर वेफर प्रोसेसिंग ऍप्लिकेशन्ससाठी योग्य उपाय आहे, ज्यामध्ये एपिटॅक्सियल ग्रोथ आणि वेफर हाताळणी प्रक्रिया समाविष्ट आहे. आमचे उत्पादन उत्कृष्ट उष्णता प्रतिरोधकता आणि थर्मल एकरूपता प्रदान करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहे, उच्च उष्णता आणि गंज प्रतिरोधकतेसह, एपिटॅक्सी ससेप्टर्स डिपॉझिशन वातावरणाच्या अधीन आहेत याची खात्री करून.
आमच्या उत्पादनामध्ये उच्च-शुद्धता असलेल्या SiC-कोटेड ग्रेफाइटचे वैशिष्ट्य आहे, जे उत्कृष्ट उष्णता वितरण गुणधर्म प्रदान करते, SiC-कोटेड वाहक एक गुळगुळीत पृष्ठभाग असल्याची खात्री करून, क्रॅक आणि डेलेमिनेशनपासून मुक्त आहे. आमची RTP ग्रेफाइट वाहक प्लेट बारीक सिलिकॉन कार्बाइड लेपित आहे, पृष्ठभाग गुळगुळीत आणि कोणत्याही दोषांपासून मुक्त असल्याची खात्री करून. हे उत्पादन कठोर रासायनिक साफसफाईसाठी अत्यंत टिकाऊ आहे आणि क्रॅक आणि विघटन होणार नाही याची खात्री करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहे.
आम्ही आमच्या स्पर्धकांशी जुळू शकत नसलेल्या किंमतीचा फायदा देऊ करतो आणि आम्ही चीनमध्ये तुमचे दीर्घकालीन भागीदार बनण्यासाठी वचनबद्ध आहोत.
आमच्या RTP ग्रेफाइट वाहक प्लेटसह, आपण उत्कृष्ट कार्यप्रदर्शन, उत्कृष्ट उष्णता प्रतिरोधकता आणि थर्मल एकरूपतेची खात्री बाळगू शकता. SiC-कोटेड वाहक उच्च तापमानाचा सामना करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहे आणि रासायनिक साफसफाईसाठी अत्यंत प्रतिरोधक आहे, याची खात्री करून ते अनेक वर्षे टिकते. आमचे उत्पादन देखील वापरण्यास सोपे असण्यासाठी डिझाइन केलेले आहे, ते नवीन आणि अनुभवी वापरकर्त्यांसाठी आदर्श बनवते.
Semicorex वर, आम्ही आमच्या ग्राहकांना उच्च-गुणवत्तेची उत्पादने आणि सेवा देण्यासाठी वचनबद्ध आहोत. आम्ही फक्त सर्वोत्कृष्ट साहित्य वापरतो आणि आमची उत्पादने गुणवत्ता आणि कार्यप्रदर्शनाची सर्वोच्च मानके पूर्ण करण्यासाठी डिझाइन केलेली आहेत. आमची RTP ग्रेफाइट कॅरियर प्लेट अपवाद नाही. तुमच्या सेमीकंडक्टर वेफर प्रोसेसिंग गरजांसाठी आम्ही तुम्हाला कशी मदत करू शकतो याबद्दल अधिक जाणून घेण्यासाठी आजच आमच्याशी संपर्क साधा.
RTP ग्रेफाइट वाहक प्लेटचे मापदंड
CVD-SIC कोटिंगची मुख्य वैशिष्ट्ये |
||
SiC-CVD गुणधर्म |
||
क्रिस्टल स्ट्रक्चर |
FCC β फेज |
|
घनता |
g/cm ³ |
3.21 |
कडकपणा |
विकर्स कडकपणा |
2500 |
धान्य आकार |
μm |
२~१० |
रासायनिक शुद्धता |
% |
99.99995 |
उष्णता क्षमता |
J kg-1 K-1 |
640 |
उदात्तीकरण तापमान |
℃ |
2700 |
फेलेक्सरल सामर्थ्य |
MPa (RT 4-पॉइंट) |
415 |
तरुणांचे मॉड्यूलस |
Gpa (4pt बेंड, 1300℃) |
430 |
थर्मल विस्तार (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
थर्मल चालकता |
(W/mK) |
300 |
आरटीपी ग्रेफाइट कॅरियर प्लेटची वैशिष्ट्ये
उच्च शुद्धता SiC लेपित ग्रेफाइट
उत्कृष्ट उष्णता प्रतिरोध आणि थर्मल एकरूपता
गुळगुळीत पृष्ठभागासाठी बारीक SiC क्रिस्टल लेपित
रासायनिक साफसफाईच्या विरूद्ध उच्च टिकाऊपणा
मटेरियल डिझाइन केले आहे जेणेकरून क्रॅक आणि डेलेमिनेशन होणार नाही.