एपिटॅक्सियल ग्रोथसाठी SiC लेपित RTP वाहक प्लेट

एपिटॅक्सियल ग्रोथसाठी सेमीकोरेक्स SiC कोटेड RTP कॅरियर प्लेट सेमीकंडक्टर वेफर प्रोसेसिंग ऍप्लिकेशन्ससाठी योग्य उपाय आहे. उच्च-गुणवत्तेचे कार्बन ग्रेफाइट ससेप्टर्स आणि ग्रेफाइट, सिरॅमिक्स इत्यादींच्या पृष्ठभागावर MOCVD द्वारे प्रक्रिया केलेल्या क्वार्ट्ज क्रूसिबलसह, हे उत्पादन वेफर हाताळणी आणि एपिटॅक्सियल ग्रोथ प्रक्रियेसाठी आदर्श आहे. SiC कोटेड वाहक उच्च थर्मल चालकता आणि उत्कृष्ट उष्णता वितरण गुणधर्म सुनिश्चित करते, ज्यामुळे ते RTA, RTP किंवा कठोर रासायनिक साफसफाईसाठी एक विश्वासार्ह पर्याय बनते.

चौकशी पाठवा

उत्पादन वर्णन

एपिटॅक्सियल ग्रोथसाठी आमची SiC कोटेड RTP वाहक प्लेट डिपॉझिशन वातावरणातील सर्वात कठीण परिस्थितींना तोंड देण्यासाठी डिझाइन केलेली आहे. त्याच्या उच्च उष्णता आणि गंज प्रतिरोधकतेसह, एपिटॅक्सी ससेप्टर्स एपिटॅक्सियल वाढीसाठी योग्य निक्षेपण वातावरणाच्या अधीन असतात. वाहकावरील सूक्ष्म SiC क्रिस्टल कोटिंग गुळगुळीत पृष्ठभाग आणि रासायनिक साफसफाईच्या विरूद्ध उच्च टिकाऊपणा सुनिश्चित करते, तर सामग्री क्रॅक आणि विघटन टाळण्यासाठी इंजिनियर केलेली असते.
एपिटॅक्सियल ग्रोथसाठी आमच्या SiC कोटेड RTP कॅरियर प्लेटबद्दल अधिक जाणून घेण्यासाठी आजच आमच्याशी संपर्क साधा.

एपिटॅक्सियल ग्रोथसाठी SiC कोटेड RTP वाहक प्लेटचे मापदंड

CVD-SIC कोटिंगची मुख्य वैशिष्ट्ये
SiC-CVD गुणधर्म
क्रिस्टल स्ट्रक्चर	FCC β फेज
घनता	g/cm ³	3.21
कडकपणा	विकर्स कडकपणा	2500
धान्य आकार	μm	२~१०
रासायनिक शुद्धता	%	99.99995
उष्णता क्षमता	J kg-1 K-1	640
उदात्तीकरण तापमान	℃	2700
फेलेक्सरल सामर्थ्य	MPa (RT 4-पॉइंट)	415
तरुणांचे मॉड्यूलस	Gpa (4pt बेंड, 1300℃)	430
थर्मल विस्तार (C.T.E)	10-6K-1	4.5
थर्मल चालकता	(W/mK)	300

एपिटॅक्सियल ग्रोथसाठी SiC कोटेड RTP वाहक प्लेटची वैशिष्ट्ये

उच्च शुद्धता SiC लेपित ग्रेफाइट
उत्कृष्ट उष्णता प्रतिरोधकता आणि थर्मल एकरूपता
गुळगुळीत पृष्ठभागासाठी बारीक SiC क्रिस्टल लेपित
रासायनिक साफसफाईच्या विरूद्ध उच्च टिकाऊपणा
मटेरियल डिझाइन केले आहे जेणेकरून क्रॅक आणि डेलेमिनेशन होणार नाही.