MOCVD एपिटॅक्सियल ग्रोथसाठी RTP वाहक

एमओसीव्हीडी एपिटॅक्सियल ग्रोथसाठी सेमीकोरेक्स आरटीपी कॅरियर सेमीकंडक्टर वेफर प्रोसेसिंग ऍप्लिकेशन्ससाठी आदर्श आहे, ज्यामध्ये एपिटॅक्सियल ग्रोथ आणि वेफर हाताळणी प्रक्रियेचा समावेश आहे. कार्बन ग्रेफाइट ससेप्टर्स आणि क्वार्ट्ज क्रूसिबल्सवर MOCVD द्वारे ग्रेफाइट, सिरॅमिक्स इ.च्या पृष्ठभागावर प्रक्रिया केली जाते. आमच्या उत्पादनांना चांगला किमतीचा फायदा आहे आणि ते युरोपियन आणि अमेरिकन बाजारपेठेतील अनेक भाग व्यापतात. आम्ही चीनमध्ये तुमचे दीर्घकालीन भागीदार बनण्यास उत्सुक आहोत.

चौकशी पाठवा

उत्पादन वर्णन

सेमिकोरेक्स एमओसीव्हीडी एपिटॅक्सियल ग्रोथसाठी आरटीपी वाहक पुरवते जे वेफर्सला समर्थन देण्यासाठी वापरले जाते, जे आरटीए, आरटीपी किंवा कठोर रासायनिक साफसफाईसाठी खरोखर स्थिर आहे. प्रक्रियेच्या केंद्रस्थानी, एपिटॅक्सी ससेप्टर्स, प्रथम डिपॉझिशन वातावरणाच्या अधीन असतात, म्हणून त्यात उच्च उष्णता आणि गंज प्रतिकार असतो. SiC कोटेड कॅरियरमध्ये उच्च थर्मल चालकता आणि उत्कृष्ट उष्णता वितरण गुणधर्म देखील आहेत.
एमओसीव्हीडी एपिटॅक्सियल ग्रोथसाठी आमचा आरटीपी वाहक थर्मल प्रोफाइलची समानता सुनिश्चित करून सर्वोत्कृष्ट लॅमिनार गॅस प्रवाह पॅटर्न प्राप्त करण्यासाठी डिझाइन केले आहे. हे वेफर चिपवर उच्च-गुणवत्तेची एपिटॅक्सियल वाढ सुनिश्चित करून कोणत्याही दूषित किंवा अशुद्धतेचा प्रसार रोखण्यास मदत करते.
MOCVD एपिटॅक्सियल ग्रोथसाठी आमच्या RTP कॅरियरबद्दल अधिक जाणून घेण्यासाठी आजच आमच्याशी संपर्क साधा.

MOCVD एपिटॅक्सियल ग्रोथसाठी RTP कॅरियरचे पॅरामीटर्स

CVD-SIC कोटिंगची मुख्य वैशिष्ट्ये
SiC-CVD गुणधर्म
क्रिस्टल स्ट्रक्चर	FCC β फेज
घनता	g/cm ³	3.21
कडकपणा	विकर्स कडकपणा	2500
धान्य आकार	μm	२~१०
रासायनिक शुद्धता	%	99.99995
उष्णता क्षमता	J kg-1 K-1	640
उदात्तीकरण तापमान	℃	2700
फेलेक्सरल सामर्थ्य	MPa (RT 4-पॉइंट)	415
तरुणांचे मॉड्यूलस	Gpa (4pt बेंड, 1300℃)	430
थर्मल विस्तार (C.T.E)	10-6K-1	4.5
थर्मल चालकता	(W/mK)	300

MOCVD एपिटॅक्सियल ग्रोथसाठी RTP कॅरियरची वैशिष्ट्ये

उच्च शुद्धता SiC लेपित ग्रेफाइट
उत्कृष्ट उष्णता प्रतिरोधकता आणि थर्मल एकरूपता
गुळगुळीत पृष्ठभागासाठी बारीक SiC क्रिस्टल लेपित
रासायनिक साफसफाईच्या विरूद्ध उच्च टिकाऊपणा
मटेरियल डिझाइन केले आहे जेणेकरून क्रॅक आणि डेलेमिनेशन होणार नाही.