MOCVD साठी SiC Graphite RTP वाहक प्लेट

MOCVD साठी Semicorex SiC Graphite RTP वाहक प्लेट उत्कृष्ट उष्णता प्रतिरोधकता आणि थर्मल एकरूपता देते, ज्यामुळे सेमीकंडक्टर वेफर प्रोसेसिंग ऍप्लिकेशन्ससाठी ते योग्य उपाय बनते. उच्च-गुणवत्तेच्या SiC कोटेड ग्रेफाइटसह, हे उत्पादन एपिटॅक्सियल वाढीसाठी सर्वात कठोर निक्षेपण वातावरणाचा सामना करण्यासाठी इंजिनियर केलेले आहे. उच्च थर्मल चालकता आणि उत्कृष्ट उष्णता वितरण गुणधर्म RTA, RTP किंवा कठोर रासायनिक साफसफाईसाठी विश्वसनीय कामगिरी सुनिश्चित करतात.

चौकशी पाठवा

उत्पादन वर्णन

आमची SiC Graphite RTP वाहक प्लेट MOCVD साठी MOCVD एपिटॅक्सियल ग्रोथ हे वेफर हाताळणी आणि एपिटॅक्सियल ग्रोथ प्रक्रियेसाठी योग्य उपाय आहे. गुळगुळीत पृष्ठभाग आणि रासायनिक साफसफाईच्या विरूद्ध उच्च टिकाऊपणासह, हे उत्पादन कठोर डिपॉझिशन वातावरणात विश्वसनीय कामगिरी सुनिश्चित करते.
MOCVD साठी आमच्या SiC ग्रेफाइट RTP वाहक प्लेटची सामग्री क्रॅक आणि डिलेमिनेशन टाळण्यासाठी इंजिनियर केलेली आहे, तर उत्कृष्ट उष्णता प्रतिरोध आणि थर्मल एकरूपता RTA, RTP किंवा कठोर रासायनिक साफसफाईसाठी सातत्यपूर्ण कामगिरी सुनिश्चित करते.
MOCVD साठी आमच्या SiC Graphite RTP वाहक प्लेटबद्दल अधिक जाणून घेण्यासाठी आजच आमच्याशी संपर्क साधा.

MOCVD साठी SiC Graphite RTP वाहक प्लेटचे मापदंड

CVD-SIC कोटिंगची मुख्य वैशिष्ट्ये
SiC-CVD गुणधर्म
क्रिस्टल स्ट्रक्चर	FCC β फेज
घनता	g/cm ³	3.21
कडकपणा	विकर्स कडकपणा	2500
धान्य आकार	μm	२~१०
रासायनिक शुद्धता	%	99.99995
उष्णता क्षमता	J kg-1 K-1	640
उदात्तीकरण तापमान	℃	2700
फेलेक्सरल सामर्थ्य	MPa (RT 4-पॉइंट)	415
तरुणांचे मॉड्यूलस	Gpa (4pt बेंड, 1300℃)	430
थर्मल विस्तार (C.T.E)	10-6K-1	4.5
थर्मल चालकता	(W/mK)	300

MOCVD साठी SiC Graphite RTP वाहक प्लेटची वैशिष्ट्ये

उच्च शुद्धता SiC लेपित ग्रेफाइट
उत्कृष्ट उष्णता प्रतिरोधकता आणि थर्मल एकरूपता
गुळगुळीत पृष्ठभागासाठी बारीक SiC क्रिस्टल लेपित
रासायनिक साफसफाईच्या विरूद्ध उच्च टिकाऊपणा
मटेरियल डिझाइन केले आहे जेणेकरून क्रॅक आणि डेलेमिनेशन होणार नाही.