RTP RTA SiC लेपित वाहक

सेमिकोरेक्स RTP RTA SiC कोटेड वाहक पुरवते जे वेफर्सला सपोर्ट करण्यासाठी वापरले जाते, जे RTA, RTP किंवा कठोर रासायनिक साफसफाईसाठी खरोखर स्थिर आहे. उच्च-शुद्धता सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) कोटेड ग्रेफाइट बांधकाम असलेले RTP RTA SiC कोटेड वाहक उच्च उष्णता प्रतिरोधकता, सुसंगत epi थर जाडी आणि प्रतिकारासाठी थर्मल एकरूपता आणि टिकाऊ रासायनिक प्रतिकार प्रदान करते. फाइन SiC क्रिस्टल कोटिंग एक स्वच्छ, गुळगुळीत पृष्ठभाग प्रदान करते, हाताळण्यासाठी महत्त्वपूर्ण आहे कारण मूळ वेफर्स त्यांच्या संपूर्ण क्षेत्रामध्ये अनेक ठिकाणी ससेप्टरशी संपर्क साधतात.
Semicorex येथे, आम्ही उच्च-गुणवत्तेचे, किफायतशीर RTP RTA SiC कोटेड वाहक प्रदान करण्यावर लक्ष केंद्रित करतो, आम्ही ग्राहकांच्या समाधानाला प्राधान्य देतो आणि किफायतशीर उपाय प्रदान करतो. आम्ही तुमचा दीर्घकालीन भागीदार होण्यासाठी, उच्च-गुणवत्तेची उत्पादने आणि अपवादात्मक ग्राहक सेवा देण्यासाठी उत्सुक आहोत.

RTP RTA SiC कोटेड कॅरियरचे पॅरामीटर्स

RTP RTA SiC कोटेड कॅरियरची वैशिष्ट्ये

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट आणि सिलिकॉन कार्बाइड या दोन्ही थरांची घनता चांगली आहे आणि ते उच्च तापमान आणि संक्षारक कार्य वातावरणात चांगली संरक्षणात्मक भूमिका बजावू शकतात.
- सिंगल क्रिस्टल ग्रोथसाठी वापरल्या जाणार्‍या सिलिकॉन कार्बाइड लेपित ससेप्टरची पृष्ठभागाची सपाटता खूप जास्त असते.
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट आणि सिलिकॉन कार्बाइड लेयरमधील थर्मल विस्तार गुणांकातील फरक कमी करा, क्रॅकिंग आणि डेलेमिनेशन टाळण्यासाठी बाँडिंग ताकद प्रभावीपणे सुधारा.
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट आणि सिलिकॉन कार्बाइड या दोन्ही थरांमध्ये उच्च थर्मल चालकता आणि उत्कृष्ट उष्णता वितरण गुणधर्म आहेत.
- उच्च हळुवार बिंदू, उच्च तापमान ऑक्सिडेशन प्रतिरोध, गंज प्रतिकार.