सिलिकॉन पेडेस्टल बोट

सेमीकोरेक्स सिलिकॉन पेडेस्टल बोट ही एक अल्ट्रा-क्लीन वेफर वाहक आहे जी उच्च तापमानातील सेमीकंडक्टर प्रक्रिया जसे की ऑक्सिडेशन, डिफ्यूजन आणि LPCVD (कमी दाब रासायनिक वाष्प निक्षेप) यांना समर्थन देण्यासाठी उच्च शुद्धता आणि अचूकतेसह तयार केली गेली आहे. हे वेफर वाहक 9N (99.9999999%) पासून बनवले आहेउच्च-शुद्धता सिलिकॉनअपवादात्मक स्वच्छता, विस्तार स्थिरतेचे थर्मल गुणांक आणि वेफर सपोर्टसाठी यांत्रिक अचूकता आणि अल्ट्रा-क्लीन वातावरणात सातत्यपूर्ण प्रक्रिया नियंत्रण सुनिश्चित करण्यासाठी.

सेमीकंडक्टर उपकरण भूमिती सतत आकुंचन पावत असल्याने, अल्ट्रा-क्लीन आणि थर्मली सुसंगत वेफर हाताळणी घटकांची अशी मागणी कधीच नव्हती. सिलिकॉन पेडेस्टल बोट 1100°C आणि 1250°C दरम्यान काम करणाऱ्या प्रगत भट्टी प्रणालींमध्ये वापरण्यासाठी उच्च मितीय अचूकतेसह आणि अतुलनीय शुद्धतेसह या मागण्या पूर्ण करते.

सिलिकॉन बोट स्ट्रक्चर ग्राहकांच्या गरजा पूर्ण करण्यासाठी सानुकूलित केले जाऊ शकते, ज्यामध्ये ग्रूव्ह बार आकार, खोबणी दात लांबी, आकार, झुकणारा कोन आणि एकूण वेफर लोडिंग क्षमता समाविष्ट आहे. उच्च-तापमानाच्या सिलिकॉन बोटी सिलिकॉन वेफर्सशी संपर्काचे नुकसान प्रभावीपणे कमी करू शकतात, प्रक्रिया उत्पन्न सुधारू शकतात. त्याची उच्च-ताप ​​"स्लिप-फ्री टॉवर्स" डिझाइन वेफर्सला आधार देणाऱ्या दाताच्या टोकालाच सपोर्ट करते. सिलिकॉन कार्बाइडच्या तुलनेत, सिलिकॉन तुलनेने कमी कठीण आहे, ज्यामुळे वेफर्सचे यांत्रिक नुकसान कमी होते, ज्यामुळे जाळीची गुणवत्ता सुधारते आणि उत्पादन खर्च प्रभावीपणे कमी होतो.

मध्ये पेडेस्टल बोट उपलब्ध आहेमोनोक्रिस्टलाइन किंवा पॉलीक्रिस्टलाइन सिलिकॉनसिलिकॉन नसलेल्या सामग्रीशी संबंधित दूषित होण्याचे धोके दूर करण्यासाठी. प्लॅटफॉर्म सक्रियपणे वापरल्या जाणाऱ्या वेफर्ससारखीच रासायनिक रचना सामायिक करते, जे उच्च तापमान प्रक्रियेदरम्यान अवांछित प्रतिक्रिया किंवा आयन प्रसार कमी करते. सतत उच्च वेफर गुणवत्ता आणि पुनरावृत्ती उत्पादन चक्राद्वारे उच्च उपकरण उत्पादनासाठी सामग्रीची एकसमानता कण आणि धातूच्या अशुद्धतेची भौतिक ओळख लक्षणीयरीत्या कमी करते.

सेमीकोरेक्स सिलिकॉन पेडेस्टल बोटमध्ये उभ्या सपोर्ट स्ट्रक्चर्ससह अचूकपणे डिझाइन केलेले वेफर स्लॉट्स आहेत, हे सुनिश्चित करतात की वेफर्स हीटिंग सायकल दरम्यान पूर्णपणे संरेखित आणि अंतरावर राहतील. तिची मितीय स्थिरता उत्कृष्ट आहे, हे सुनिश्चित करते की पेडेस्टल बोट अत्यंत तापमानात वाकणार नाही, वाकणार नाही किंवा हलणार नाही, प्रत्येक वेफरवर चांगले तापमान आणि गॅस वितरण प्रदान करते. या मितीय स्थिरतेचा ऑक्सिडेशन आणि डिफ्यूजन दरम्यान चित्रपटाच्या जाडीच्या एकसमानतेवर त्वरित, सकारात्मक प्रभाव पडतो आणि कमी दोषांची संख्या तसेच चांगल्या प्रक्रियेची पुनरावृत्ती होण्यास मदत होते.

सिलिकॉन पेडेस्टल बोटचा प्राथमिक फायदा म्हणजे त्याचे ऑप्टिमाइझ केलेले यांत्रिक आणि थर्मल गुणधर्म. SiC किंवा क्वार्ट्जच्या तुलनेत सिलिकॉनची कडकपणा वेफरच्या कंपनामुळे किंवा गरम विस्तारादरम्यान हालचालींमुळे सूक्ष्म स्क्रॅच आणि कण निर्मिती कमी करण्यास मदत करेल. हे विशेषतः बॅकसाइड-संवेदनशील वेफर्ससाठी खरे आहे, जेथे वेफर पृष्ठभागाची अखंडता उत्पन्न आणि डिव्हाइस कार्यक्षमतेसाठी महत्त्वपूर्ण आहे.

पेडेस्टल बोटमध्ये चांगली थर्मल चालकता असते आणि थर्मल विस्ताराचा कमी गुणांक असतो जो एकाधिक हीटिंग आणि कूलिंग सायकलसह आकार आणि संरचनात्मक सुदृढता राखून उष्णता हस्तांतरण वैशिष्ट्ये प्रदान करतो. मजबूत डिझाइन अत्यंत भट्टीच्या परिस्थितीत कमीतकमी विकृतीसह दीर्घ आयुष्य देखील प्रदान करते.

Semicorex विविध उपकरणांच्या कॉन्फिगरेशनसाठी सानुकूल डिझाइन प्रदान करते, ज्यामध्ये वेफर व्यास, स्लॉट संख्या, पेडेस्टलची उंची आणि भूमिती भिन्नता यांचा समावेश आहे. सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेतील सर्वोच्च मानकांची पूर्तता करण्यासाठी प्रत्येक उत्पादनाची शुद्धता, मितीय मोजमाप आणि थर्मल चालकता चाचणीसाठी तपासणी केली जाते.

सिलिकॉन पेडेस्टल बोट ऑक्सिडेशन आणि डिफ्यूजन प्रक्रियांशी सुसंगत आहे तसेच LPCVD आणि ॲनिलिंग ऍप्लिकेशन्ससह अतुलनीय तापमान एकसमानता आणि प्रदूषण नियंत्रण आवश्यक आहे. सिलिकॉन पेडेस्टल बोट इतर सिलिकॉन फर्नेस घटकांसह सुसंगत आहे जसे की इंजेक्टर ट्यूब, लाइनर ट्यूबरिंग सामग्री आणि कॅरेलिंग सामग्री, लाइनर ट्यूबरिंग मॅचिंग. प्रणाली