सिलिकॉन वेफर बोट

सेमिकोरेक्स सिलिकॉन वेफर बोट स्ट्रक्चर सानुकूलित करू शकते, ज्यामध्ये ग्रूव्ह रॉडचा आकार, खोबणीची दात लांबी, आकार, झुकणारा कोन आणि एकूण वेफर लोडिंग क्षमता समाविष्ट आहे आणि ग्राहकांच्या गरजेनुसार उत्पादन केले जाऊ शकते. उच्च-तापमानाच्या सिलिकॉन बोटी सिलिकॉन वेफर्सशी संपर्काचे नुकसान प्रभावीपणे कमी करू शकतात आणि प्रक्रिया उत्पन्न सुधारू शकतात. त्याची उच्च-ताप ​​"स्लिप-फ्री टॉवर्स" डिझाइन वेफर्सला आधार देणाऱ्या दाताच्या टोकालाच सपोर्ट करते. च्या तुलनेतसिलिकॉन कार्बाइड, सिलिकॉनमध्ये तुलनेने कमी कडकपणा आहे, ज्यामुळे वेफर्सचे यांत्रिक नुकसान कमी होते, ज्यामुळे जाळी पास दर सुधारतो आणि उत्पादन खर्च प्रभावीपणे कमी होतो. फ्यूज्ड सिलिकॉन बोट अनेक भागांनी बनलेली असते: दात, बेस प्लेट आणि टॉप प्लेट, जे एकत्र जोडलेले असतात. त्यामुळे उत्पादन खर्च कमी होतो. आंशिक नुकसान झाल्यास, खराब झालेले भाग संपूर्ण सिलिकॉन बोट न बदलता बदलले जाऊ शकतात, वापरादरम्यान मालकीच्या खर्चात लक्षणीय घट करते. याव्यतिरिक्त, सिलिकॉन बोटमध्ये पॉलिसिलिकॉन जमा करण्यासाठी मोठी वरची मर्यादा आहे, जी प्रभावीपणे पीएम उपकरणांची वारंवारता कमी करू शकते आणि उत्पादन क्षमता सुधारू शकते.

सेमीकोरेक्स सिलिकॉन वेफर बोट ही एक नाविन्यपूर्ण, उद्देशाने डिझाइन केलेली, वेफर वाहक आहे. हे विशेषतः सेमीकंडक्टर उद्योगात वापरल्या जाणाऱ्या उच्च-तापमान भट्टी प्रक्रियेसाठी तयार केले आहे, ज्यामध्ये 1200 आणि 1250 °C दरम्यान तापमानात ऑक्सिडेशन आणि घट प्रक्रिया समाविष्ट आहे. सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) मटेरियलमध्ये उपलब्ध नसलेले कार्यक्षमतेचे फायदे वैशिष्ट्यीकृत करून, सिलिकॉन वेफर बोट सेमीकंडक्टर उत्पादनासाठी आवश्यक असलेल्या कठोर प्रक्रियांशी संबंधित फायदे प्रदान करते. प्रथम, सिलिकॉन सामग्रीची अति-उच्च शुद्धता लक्षणीय आहे; खरं तर, दसिलिकॉन साहित्य9N पेक्षा जास्त (99.9999999%) ची अति-उच्च-शुद्धता पातळी प्राप्त करते, अशा प्रकारे कोणतीही धातू किंवा परदेशी अशुद्धता वेफर प्रक्रियेला दूषित करणार नाही याची खात्री करते. हे अग्रगण्य-एज सेमीकंडक्टर उपकरण उत्पादनासाठी महत्त्वपूर्ण आहे जेथे कार्यक्षमतेची विश्वासार्हता आणि उत्पन्न दूषिततेमुळे खूप प्रभावित होते. सिलिकॉन वेफर बोट ऑक्सिडेशन आणि रिडक्शन प्रक्रियेसाठी अत्यंत उच्च तापमानाच्या संपर्कात असलेल्या वेफर्सच्या हाताळणीसाठी सर्वात प्रगत उद्योग आवश्यकतांसाठी उच्च पातळीच्या शुद्धतेसह एक अति-स्वच्छ वातावरण प्रदान करते.

चा आणखी एक फायदासिलिकॉन साहित्यSiC मटेरियलच्या तुलनेत त्याची कमी कडकपणा गुणधर्म आहे. SiC बार किंवा बोट कडकपणा आणि मजबुतीसाठी ओळखल्या जातात, परंतु त्याच गुणधर्मामुळे वेफर प्रक्रियेदरम्यान अडचणी येऊ शकतात. उच्च तापमानात, वेफर्स सूक्ष्म हलतील; बोटीच्या आत असताना ते किंचित उसळी घेतील, किंचित सरकतील आणि धार लावतील. कठोर, SiC सामग्रीमुळे वेफरच्या मागील बाजूस कण किंवा ओरखडे निर्माण होण्याचा धोका जास्त असतो कारण वेफर आणि बोटचे गुणधर्म या उच्च-तापमान प्रक्रियेच्या परिस्थितीत परस्परसंवाद करतात.

SiC च्या संबंधात सिलिकॉनच्या तुलनेने मऊ वर्णाचा फायदा घेऊन सिलिकॉन वेफर बोट ही चिंता कमी करते. थर्मल सायकल दरम्यान वेफर्स बोटीशी संपर्क साधतात तेव्हा कडकपणा कमी झाल्यामुळे घर्षण आणि यांत्रिक ताण कमी होतो. परिणामी, कण कमी वेळा निर्माण होतात आणि मागील बाजूस ओरखडे पडण्याचा धोका जवळजवळ शून्यावर कमी होतो. शिवाय, पृष्ठभागावरील दोष कमी करून, सिलिकॉन वेफर बोट थेट जाळीच्या गुणवत्तेत सुधारणा करते आणि प्रक्रिया केलेल्या वेफर्सचा एकूण पात्रता दर वाढवते. सेमीकंडक्टर फॅब्ससाठी जे जास्तीत जास्त गुणवत्ता नियंत्रणासह उत्पादन सुधारू इच्छितात, ही कामगिरीची स्थिती सिलिकॉन बोटला आकर्षक पर्याय बनवते.

सिलिकॉन उच्च तापमानात चांगली स्थिरता आणि यांत्रिक सामर्थ्य प्रदान करते, ज्यामुळे बोट पुनरावृत्ती झालेल्या भट्टीच्या चक्रात विश्वसनीयरित्या सर्व्ह करू शकते. सामग्री गरम आणि थंड होण्याच्या चक्रादरम्यान वारिंगला प्रतिकार करते आणि अशा प्रकारे, वेगवान भट्टीच्या चक्रातही अचूक वेफर प्लेसमेंट आणि पोझिशनिंग सहनशीलता राखते. ही थर्मल मजबुतता विश्वासार्ह प्रक्रिया परिणाम प्रदान करते जे धावांमधील कमीतकमी फरकासह उच्च व्हॉल्यूम उत्पादनासाठी पुरेसे सुसंगत असतात. सिलिकॉन वेफर बोट सुसंगत वेफर पोझिशनिंग आणि प्लेसमेंट सुनिश्चित करण्यासाठी उच्च मितीय अचूकतेसह बांधली गेली आहे. गुळगुळीत पृष्ठभाग, जवळची भूमिती आणि घट्ट सहनशीलता तयार करण्यासाठी प्रगत मशीनिंग आणि पॉलिशिंग वापरून बोट तयार केली जाते.