TaC-लेपित ग्रेफाइट वेफर ससेप्टर्स

आधुनिक सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेच्या सतत प्रगतीमुळे, फिल्म एकसमानता, क्रिस्टलोग्राफिक गुणवत्ता आणि प्रक्रिया स्थिरतेच्या दृष्टीने एपिटॅक्सियल वेफर्सची आवश्यकता अधिकाधिक कठोर बनली आहे. या कारणासाठी, उच्च-कार्यक्षमता आणि टिकाऊ वापरTaC-लेपित ग्रेफाइट वेफर ससेप्टर्सस्थिर निक्षेप आणि उच्च-गुणवत्तेची एपिटेक्सियल वाढ सुनिश्चित करण्यासाठी उत्पादन प्रक्रियेत महत्त्वपूर्ण आहे.

Semicorex TaC-लेपित ग्रेफाइट वेफर ससेप्टर्सचे फायदे

1. उत्कृष्ट साहित्य निवड

(1) मॅट्रिक्स साहित्य

सेमिकोरेक्सने प्रीमियम उच्च-शुद्धता वापरलीग्रेफाइटवेफर ससेप्टर्सचे मॅट्रिक्स म्हणून, जे उत्कृष्ट थर्मल चालकता, उच्च-तापमान प्रतिरोध, तसेच यांत्रिक शक्ती आणि कडकपणा प्रदान करते. त्याचे थर्मल विस्ताराचे गुणांक TaC कोटिंगशी अत्यंत जुळतात, प्रभावीपणे घट्ट आसंजन सुनिश्चित करते आणि कोटिंगला सोलणे किंवा स्पॅलिंगपासून प्रतिबंधित करते.

(2) लेप सामग्री

टँटलम कार्बाइड हे अत्यंत उच्च वितळ बिंदू (अंदाजे 3880℃), उत्कृष्ट थर्मल चालकता, उत्कृष्ट रासायनिक स्थिरता आणि उत्कृष्ट यांत्रिक सामर्थ्य असलेली उच्च-कार्यक्षम सामग्री आहे. विशिष्ट कार्यप्रदर्शन पॅरामीटर्स खालीलप्रमाणे आहेत:

2. अपवादात्मक कोटिंग कामगिरी

सेमिकोरेक्स अत्याधुनिक सीव्हीडी तंत्रज्ञानाचा एकसमान आणि दृढतेने पालन करते.TaC कोटिंगग्रेफाइट मॅट्रिक्सवर, उच्च तापमान आणि रासायनिक गंज ऑपरेटिंग परिस्थितींमुळे कोटिंग क्रॅक किंवा सोलण्याचा धोका प्रभावीपणे कमी करते. याव्यतिरिक्त, सेमीकोरेक्सचे अचूक प्रक्रिया तंत्रज्ञान TaC-कोटेड ग्रेफाइट वेफर ससेप्टर्ससाठी नॅनोमीटर-स्तरीय पृष्ठभागाची सपाटता प्राप्त करते, आणि त्यांची कोटिंग सहनशीलता मायक्रोमीटर स्तरावर नियंत्रित केली जाते, जे वेफर एपिटॅक्सियल डिपॉझिशनसाठी इष्टतम प्लॅटफॉर्म प्रदान करते.

3. सेमीकंडक्टर-ग्रेड स्वच्छता पातळी

ग्रेफाइट मॅट्रिक्सचा थेट वापर मॉलिक्युलर बीम एपिटॅक्सी (एमबीई), केमिकल वाफ डिपॉझिशन (सीव्हीडी), आणि मेटल-ऑरगॅनिक केमिकल व्हेपर डिपॉझिशन (एमओसीव्हीडी) सारख्या प्रक्रियांमध्ये केला जाऊ शकत नाही. TaC कोटिंग्जचा वापर प्रभावीपणे ग्रेफाइट मॅट्रिक्स आणि रसायने यांच्यातील अभिक्रियामुळे होणारे वेफरचे दूषित होण्यापासून टाळते, त्यामुळे अंतिम डिपॉझिशन कार्यक्षमतेवर परिणाम टाळतो. रिॲक्शन चेंबरमध्ये सेमीकंडक्टर-स्तरीय स्वच्छता सुनिश्चित करण्यासाठी, प्रत्येक सेमीकोरेक्स TaC-कोटेड ग्रेफाइट वेफर ससेप्टर ज्याला सेमीकंडक्टर वेफर्सच्या थेट संपर्कात असणे आवश्यक आहे, व्हॅक्यूम पॅकेजिंगपूर्वी अल्ट्रासोनिक साफसफाई केली जाते.