CVD रासायनिक वाष्प निक्षेप भट्टी

CVD आणि CVI साठी डिझाइन केलेल्या सेमिकोरेक्स CVD रासायनिक वाफ डिपॉझिशन फर्नेसचा वापर सब्सट्रेटवर सामग्री जमा करण्यासाठी केला जातो. प्रतिक्रिया तापमान 2200 डिग्री सेल्सियस पर्यंत. मास फ्लो कंट्रोल्स आणि मॉड्युलेटिंग व्हॉल्व्ह एन, एच, एआर, सीओ2, मिथेन, सिलिकॉन टेट्राक्लोराइड, मिथाइल ट्रायक्लोरोसिलेन आणि अमोनिया सारख्या अभिक्रियाक आणि वाहक वायूंचे समन्वय करतात. जमा केलेल्या सामग्रीमध्ये सिलिकॉन कार्बाइड, पायरोलाइटिक कार्बन, बोरॉन नायट्राइड, झिंक सेलेनाइड आणि झिंक सल्फाइड यांचा समावेश होतो. CVD रासायनिक वाष्प निक्षेप भट्टीमध्ये क्षैतिज आणि उभ्या दोन्ही रचना असतात.

अर्ज:सी/सी संमिश्र सामग्रीसाठी SiC कोटिंग, ग्रेफाइटसाठी SiC कोटिंग, फायबरसाठी SiC, BN आणि ZrC कोटिंग आणि इ.

सेमिकोरेक्स सीव्हीडी रासायनिक वाष्प निक्षेप भट्टीची वैशिष्ट्ये

1. दीर्घकालीन वापरासाठी उच्च-गुणवत्तेच्या सामग्रीपासून बनविलेले मजबूत डिझाइन;

2. मास फ्लो कंट्रोलर आणि उच्च-गुणवत्तेच्या वाल्वच्या वापराद्वारे अचूकपणे नियंत्रित गॅस वितरण;

3. सुरक्षित आणि विश्वसनीय ऑपरेशनसाठी अति-तापमान संरक्षण आणि गॅस गळती शोधणे यासारख्या सुरक्षा वैशिष्ट्यांसह सुसज्ज;

4.एकाधिक तापमान नियंत्रण क्षेत्रे वापरणे, उत्तम तापमान एकरूपता;

5. चांगला सीलिंग प्रभाव आणि उत्कृष्ट अँटी-दूषित कार्यप्रदर्शनासह विशेषतः डिझाइन केलेले डिपॉझिशन चेंबर;

6. एकसमान गॅस प्रवाहासह एकाधिक डिपॉझिशन चॅनेल वापरणे, डेड कॉर्नर आणि परिपूर्ण डिपॉझिशन पृष्ठभागाशिवाय;

7. यात डांबर, घन धूळ आणि सेंद्रिय वायूंवर उपचार आहेत

*वरील पॅरामीटर्स प्रक्रियेच्या आवश्यकतांनुसार समायोजित केले जाऊ शकतात, ते स्वीकृती मानक, तपशील तपशील म्हणून नाहीत. तांत्रिक प्रस्ताव आणि करारांमध्ये नमूद केले जाईल.