फ्यूज्ड क्वार्ट्ज पेडेस्टल

सेमीकंडक्टर फॅब्रिकेशनमध्ये, फ्यूज्ड क्वार्ट्ज पेडेस्टल क्वार्ट्ज बोटसाठी आधार संरचना म्हणून काम करते, ज्यामध्ये वेफर्स असतात. स्थिर तापमान राखून, ते एकसमान पातळ-फिल्म जमा होण्यास मदत करते, जे सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या कार्यक्षमतेसाठी आणि विश्वासार्हतेसाठी एक महत्त्वपूर्ण घटक आहे. पेडेस्टल हे सुनिश्चित करते की प्रक्रिया कक्षातील थर्मल आणि प्रकाश वितरण समान आहे, ज्यामुळे डिपॉझिशन प्रक्रियेची एकूण गुणवत्ता वाढते.

फ्यूज्ड क्वार्ट्ज मटेरियलचे फायदे

1.उच्च तापमान प्रतिकार

फ्यूज्ड क्वार्ट्ज पेडेस्टलमध्ये अंदाजे 1730 डिग्री सेल्सिअस सॉफ्टनिंग पॉइंट आहे, ज्यामुळे ते 1100°C ते 1250°C या तापमानात दीर्घकाळापर्यंत वापर सहन करू शकते. शिवाय, ते 1450°C पर्यंत तापमानात अल्पकालीन संपर्क सहन करू शकते.

2.गंज प्रतिकार

हायड्रोफ्लोरिक ऍसिडचा अपवाद वगळता फ्यूज्ड क्वार्ट्ज पेडेस्टल बहुतेक ऍसिडसाठी रासायनिकदृष्ट्या निष्क्रिय आहे. त्याची आम्ल प्रतिरोधकता सिरॅमिक्सपेक्षा 30 पट आणि स्टेनलेस स्टीलपेक्षा 150 पट जास्त आहे. भारदस्त तापमानात, इतर कोणतीही सामग्री फ्यूज्ड क्वार्ट्जच्या रासायनिक स्थिरतेशी जुळू शकत नाही, ज्यामुळे ते कठोर रासायनिक वातावरणासाठी एक आदर्श पर्याय बनते.

3. थर्मल स्थिरता

फ्यूज्ड क्वार्ट्ज पेडेस्टलचे एक वैशिष्ट्य म्हणजे त्याचे किमान थर्मल विस्तार गुणांक. हे गुणधर्म क्रॅक न करता तीव्र तापमान बदलांना तोंड देण्यास अनुमती देते. उदाहरणार्थ, ते जलद गतीने 1100°C पर्यंत गरम केले जाऊ शकते आणि नंतर खोलीच्या तपमानावर नुकसान न होता पाण्यात विसर्जित केले जाऊ शकते - उच्च-ताण उत्पादन प्रक्रियेसाठी एक आवश्यक वैशिष्ट्य.

उत्पादन प्रक्रिया

फ्यूज्ड क्वार्ट्ज पेडेस्टलची उत्पादन प्रक्रिया सर्वोच्च गुणवत्ता मानके सुनिश्चित करण्यासाठी काळजीपूर्वक नियंत्रित केली जाते. 10,000 किंवा त्याहून अधिक क्लीनरूम वातावरणात आयोजित केलेल्या थर्मोफॉर्मिंग आणि वेल्डिंग प्रक्रियेद्वारे पेडेस्टल्स तयार केले जातात. अल्ट्राप्युअर पाण्याने त्यानंतरची साफसफाई (18 MΩ)पुढे उत्पादनाची शुद्धता आणि कार्यप्रदर्शन सुनिश्चित करते. सेमीकंडक्टर फॅब्रिकेशनच्या कठोर आवश्यकता पूर्ण करण्यासाठी प्रत्येक फ्यूज्ड क्वार्ट्ज पेडेस्टलची क्लास 1,000 किंवा उच्च क्लीनरूममध्ये कठोर तपासणी, साफसफाई आणि पॅकेजिंग केली जाते.

उच्च शुद्धता अपारदर्शक क्वार्ट्ज सामग्री

उष्णता आणि प्रकाश प्रभावीपणे अवरोधित करण्यासाठी, फ्यूज्ड क्वार्ट्ज पेडेस्टल उच्च-शुद्धतेच्या अपारदर्शक क्वार्ट्ज सामग्रीचा वापर करते. या सामग्रीचे अद्वितीय गुणधर्म प्रक्रियेच्या कक्षेत स्थिर आणि एकसमान तापमान राखण्याची पेडेस्टलची क्षमता वाढवतात, ज्यामुळे वेफर्सवर पातळ-फिल्म ठेवण्याची सातत्यपूर्ण गुणवत्ता सुनिश्चित होते.

अनुप्रयोगांची विस्तृत श्रेणी

फ्यूज्ड क्वार्ट्ज पेडेस्टलचे अपवादात्मक गुणधर्म सेमीकंडक्टर उद्योगातील विविध अनुप्रयोगांसाठी ते योग्य बनवतात. ALD प्रक्रियांमध्ये, ते अणू स्तरावर पातळ फिल्मच्या वाढीच्या अचूक नियंत्रणास समर्थन देते, प्रगत सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या निर्मितीसाठी आवश्यक आहे. LPCVD प्रक्रियेदरम्यान, पेडेस्टलची थर्मल स्थिरता आणि प्रकाश-ब्लॉकिंग क्षमता एकसमान फिल्म डिपॉझिशनमध्ये योगदान देतात, डिव्हाइसची कार्यक्षमता आणि उत्पन्न सुधारतात.

प्रसार प्रक्रियेत, फ्यूज्ड क्वार्ट्ज पेडेस्टलचा उच्च-तापमान प्रतिरोध आणि रासायनिक जडत्व अर्धसंवाहक सामग्रीचे विश्वसनीय आणि सातत्यपूर्ण डोपिंग सुनिश्चित करते. सेमीकंडक्टर उपकरणांचे विद्युत गुणधर्म परिभाषित करण्यासाठी या प्रक्रिया महत्त्वपूर्ण आहेत आणि इष्टतम परिणाम प्राप्त करण्यासाठी फ्यूज्ड क्वार्ट्ज सारख्या उच्च-गुणवत्तेच्या सामग्रीचा वापर आवश्यक आहे.