काचेच्या कार्बन कोटिंगला वाटले

सेमीकोरेक्स ग्लासी कार्बन कोटिंग सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सियल अणुभट्ट्यांमध्ये अंतर्गत इन्सुलेशन लेयर म्हणून कार्य करते असे वाटले. प्रगत थर्मल वातावरणासाठी डिझाइन केलेली ही एक उच्च-कार्यक्षमता इन्सुलेशन सामग्री आहे. हे उत्पादन त्याच्या हलके आणि उत्कृष्ट थर्मल इन्सुलेशन गुणधर्मांमुळे उत्कृष्ट सोल्यूशन्स देऊन विशिष्ट सेमीकंडक्टर उच्च-तापमान उत्पादन आव्हानांवर मात करते.ग्रेफाइट वाटले, काचेच्या कार्बन कोटिंगद्वारे पृष्ठभागाच्या अखंडतेसह आणि रासायनिक जडत्व सह एकत्रित.

बेस मटेरियल एक उच्च शुद्धता आहेग्रेफाइट वाटलेकमी थर्मल चालकता उच्च तापमान स्थिरता आणि हलके वजन निवडले. सामान्य ग्रेफाइटमध्ये सामान्यत: पृष्ठभाग फायबर शेडिंग आणि उन्नत तापमानात कण निर्मिती असते जे संवेदनशील एपिटॅक्सियल सिस्टममध्ये प्रक्रियेच्या वातावरणाला दूषित करू शकते. या समस्येचे निराकरण करण्यासाठी, ग्रॅफाइटची पृष्ठभाग एकसमानपणे काचेच्या कार्बनच्या थराने लेपित आहे-त्याच्या रासायनिक जडत्व, कमी गॅस पारगम्यता आणि अपवादात्मक थर्मल स्थिरतेसाठी ओळखल्या जाणार्‍या कार्बनचा एक दाट, एक सच्छिद्र प्रकार.

काचेचे कार्बन एक ग्राफिट केलेले कार्बन आहे जे ग्लास आणि सिरेमिक्सच्या गुणधर्मांना जोडते. स्फटिकासारखे ग्रेफाइटच्या उलट, हे एक अनाकलनीय, जवळजवळ 100% एसपी 2 संकरित कार्बन मटेरियल आहे, जे फिनोलिक राळ, फुरफ्यूरिल अल्कोहोल राळ इत्यादी, जड गॅस वातावरणामध्ये पॉलिमराइज्ड सेंद्रिय पूर्ववर्तींच्या उच्च-तापमानात तयार केले जाते. कारण ते संपूर्ण काळे आहे आणि काचेसारखे गुळगुळीत पृष्ठभाग आहे, त्याला काचेचे कार्बन म्हणतात.

ग्लासी कार्बन कोटिंग भट्टीच्या कणांची निर्मिती दूर करू शकते, सीलबंद पृष्ठभाग छिद्र प्रदान करू शकते, उत्कृष्ट डिमोल्डिंग गुणधर्म असू शकते आणि पारगम्यता कमी करू शकते, ज्यामुळे सेमीकंडक्टर उद्योगातील सतत कास्टिंग मोल्ड्स आणि उत्पादनांसाठी ही सामग्री योग्य बनते. या सामग्रीमध्ये सेमीकंडक्टर उद्योगात विस्तृत अनुप्रयोग आहेत, विशेषत: सिंगल क्रिस्टल सिलिकॉन पुलिंग उपकरणे घटक, एपिटॅक्सियल ग्रोथ घटक, सतत कास्टिंग मोल्ड्स, ग्लास सीलिंग जिग्स इ. सारख्या ग्रेफाइट भागांमध्ये

काचेच्या कार्बनमध्ये जड वायू किंवा व्हॅक्यूममध्ये 3000 डिग्री सेल्सियस पर्यंत तापमानाचा प्रतिकार उच्च असतो आणि इतर सर्व सिरेमिक आणि धातूच्या उच्च तापमान सामग्रीच्या विपरीत, ग्लासी कार्बनची शक्ती 2700 के पर्यंत वाढत्या तापमानासह वाढते आणि ती ठिसूळ होत नाही आणि अत्यंत उच्च थर्मल शॉक प्रतिरोधकता आहे, त्यामुळे कमी गरम आणि थंड वेळा कोणतीही समस्या नाही. याव्यतिरिक्त, काचेच्या कार्बनमध्ये कमी वस्तुमान, कमी उष्णता शोषण आणि कमी थर्मल विस्तार आहे, म्हणून हे जवळजवळ सर्व उच्च तापमान अनुप्रयोगांसाठी योग्य आहे.

काचेच्या कार्बन कोटिंगमध्ये ग्रेफाइटच्या पृष्ठभागाच्या छिद्रांवर सील करण्यात महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावते, ऑपरेशन दरम्यान कण आणि कार्बन धूळ यांचे प्रकाशन लक्षणीय प्रमाणात कमी करते. हे विशेषतः एसआयसी एपिटॅक्सियल ग्रोथ प्रक्रियेमध्ये गंभीर आहे, जेथे अगदी कमीतकमी दूषितपणामुळे वेफर गुणवत्ता आणि डिव्हाइस कामगिरीची तडजोड देखील होऊ शकते. गुळगुळीत, कठोर काचेच्या कार्बन शेलसह वाटलेल्या सच्छिद्र संरचनेला एन्केप्युलेट करून, कोटिंग प्रतिक्रिया चेंबरमध्ये स्वच्छ आणि स्थिर थर्मल वातावरण सुनिश्चित करते.

ग्लासी कार्बन कोटिंगच्या मुख्य फायद्यांमध्ये हे समाविष्ट आहे:

कमी कण शेडिंग: दाट कोटिंग प्रभावीपणे सैल तंतू आणि कणांमध्ये लॉक करते, ज्यामुळे वेफर्स आणि अणुभट्टी घटकांच्या दूषिततेस प्रतिबंध होतो.

उच्च थर्मल स्थिरता: ग्रेफाइट वाटले आणि काचेचे कार्बन दोन्ही जड किंवा व्हॅक्यूम वातावरणात 2000 डिग्री सेल्सियसपेक्षा जास्त तापमानाचा प्रतिकार करू शकतात, ज्यामुळे उत्पादन उच्च-तापमान एसआयसी प्रक्रियेसाठी आदर्श बनवते.

रासायनिक जडत्व: काचेच्या कार्बन पृष्ठभाग बहुतेक ids सिडस् आणि संक्षारक वायूंना प्रतिरोधक असतात, कठोर परिस्थितीत इन्सुलेशन लेयरचे ऑपरेशनल लाइफ वाढवते.

सुधारित प्रक्रियेची सुसंगतता: कमीतकमी कण निर्मिती अधिक स्थिर आणि पुनरावृत्ती करण्यायोग्य एपिटॅक्सियल ग्रोथ वातावरणामध्ये योगदान देते, जे उच्च-गुणवत्तेच्या एसआयसी वेफर्सच्या निर्मितीसाठी आवश्यक आहे.

ग्लासी कार्बन कोटिंगचे अनुप्रयोग प्रामुख्याने एसआयसी एपिटॅक्सियल ग्रोथ फर्नेसेसपर्यंत विस्तारित केले जातात, जेथे ते हॉट झोनमध्ये थर्मल इन्सुलेशन लेयर म्हणून वापरले जाते. उत्पादन सामान्यत: वरच्या किंवा खालच्या इन्सुलेशन स्टॅकमध्ये अस्तर सामग्री म्हणून स्थापित केले जाते, जेथे ते थर्मल संरक्षण आणि स्वच्छता आश्वासन दोन्ही प्रदान करते.