ग्रेफाइट इलेक्ट्रोड

सेमीकोरेक्स ग्रेफाइट इलेक्ट्रोड हा अर्धसंवाहक थर्मल ऍप्लिकेशन्समध्ये वापरण्यासाठी उच्च-शुद्धता, अचूक उत्पादित ग्रेफाइट घटक आहे, जेथे विद्युत चालकता, थर्मल स्थिरता आणि मितीय अचूकता सर्वोपरि आहे. खरं तर, या प्रकारच्या इलेक्ट्रोड्सचा वापर उच्च-तापमान भट्टी, एपिटॅक्सी अणुभट्ट्या आणि थर्मल प्रोसेसिंग चेंबरमध्ये केला जातो, स्थिर विद्युत प्रवाह, उष्णता हस्तांतरण आणि तापमान आणि वातावरणाच्या आक्रमक परिस्थितीत स्थिरता सुलभ करते. सेमीकोरेक्स ग्रेफाइट इलेक्ट्रोड्सच्या अत्यंत शुद्धता, घन संरचनाची एकसमानता आणि उच्च यांत्रिक गुणधर्मांमुळे, ते सेमीकंडक्टर ऍप्लिकेशन्सच्या मागणीमध्ये गरम घटक म्हणून विश्वसनीय थर्मल कार्यक्षमता प्रदान करू शकतात.

आमचे ग्रेफाइट उत्कृष्ट कार्यप्रदर्शन एकरूपतेची हमी देते. प्रथम, कार्बनायझेशन प्रक्रियेदरम्यान, आमच्या भट्टीत फक्त 115 क्यूबिक मीटर असते. आमची तांत्रिक टीम प्रत्येक भट्टीच्या वेगवेगळ्या भागात ग्रेफाइट उत्पादनांच्या तापमान क्षेत्रावर लक्ष ठेवते. सुरुवातीच्या कमी-तापमानाच्या टप्प्यावर (0-200°C), आम्ही तापमान ±10°C च्या आत आणि उच्च तापमानावर (600°C च्या वर), ±1°C च्या आत नियंत्रित करतो. आम्ही केवळ वेगवेगळ्या ग्रेफाइट कणांमधील तापमान क्षेत्राचे निरीक्षण करत नाही, तर प्रत्येक वैयक्तिक ग्रेफाइटच्या तुकड्याच्या पृष्ठभागाचे आणि अंतर्गत तापमानाचेही निरीक्षण करतो, ते ±3°C च्या आत नियंत्रित करतो. आम्ही प्रत्येक कार्बनीकरण भट्टीत 8 तापमान बिंदूंचे निरीक्षण करतो.

आमच्या मध्ये अल्ट्रा परफॉर्मन्सग्रेफाइट

आमचे ग्रेफाइट उत्कृष्ट कार्यप्रदर्शन एकरूपतेची हमी देते. प्रथम, कार्बनायझेशन प्रक्रियेदरम्यान, आमच्या भट्टीत फक्त 115 क्यूबिक मीटर असते. आमची तांत्रिक टीम प्रत्येक भट्टीच्या वेगवेगळ्या भागात ग्रेफाइट उत्पादनांच्या तापमान क्षेत्रावर लक्ष ठेवते. सुरुवातीच्या कमी-तापमानाच्या टप्प्यावर (0-200°C), आम्ही तापमान ±10°C च्या आत आणि उच्च तापमानावर (600°C च्या वर), ±1°C च्या आत नियंत्रित करतो. आम्ही केवळ वेगवेगळ्या ग्रेफाइट कणांमधील तापमान क्षेत्राचे निरीक्षण करत नाही, तर प्रत्येक वैयक्तिक ग्रेफाइटच्या तुकड्याच्या पृष्ठभागाचे आणि अंतर्गत तापमानाचेही निरीक्षण करतो, ते ±3°C च्या आत नियंत्रित करतो. आम्ही प्रत्येक कार्बनीकरण भट्टीत 8 तापमान बिंदूंचे निरीक्षण करतो.

दुसरे म्हणजे, ग्राफिटायझेशन प्रक्रियेदरम्यान, उदाहरण म्हणून 500 किलोग्रॅम बॅच घेऊन, आम्ही 8 तापमान बिंदूंचे निरीक्षण करतो. ग्राफिटायझेशननंतर, एकसमानता सुनिश्चित करण्यासाठी आम्ही यादृच्छिकपणे नमुने घेतो आणि X, Y आणि Z अक्षांसह 24 गुणांची विनाशकारी चाचणी करतो. उद्योगातील बऱ्याच कंपन्या फक्त X-अक्षाची किंवा जास्तीत जास्त XY-अक्षाची चाचणी करतात, सामान्य उत्पादक फक्त 6-8 गुणांची चाचणी करतात आणि अधिक चांगल्या कंपन्या 12 गुणांची चाचणी करतात. आम्ही 24 गुणांची चाचणी करतो.

सेमीकंडक्टर थर्मल फील्डमध्ये, ग्रेफाइट इलेक्ट्रोड हा हीटिंग असेंब्लीचा एक महत्त्वाचा भाग आहे, जो विद्युत प्रवाहाला हीटिंग झोनमध्ये निर्देशित करतो आणि ऑक्सिडेशन, डिफ्यूजन, LPCVD किंवा एपिटॅक्सी सारख्या विशिष्ट प्रक्रियेमध्ये तापमानाचे नियंत्रित वितरण करण्यास परवानगी देतो. ग्रॅफाइट इलेक्ट्रोडने 2000 डिग्री सेल्सिअस पेक्षा जास्त तापमानात एक विश्वासार्ह ऑपरेशनल भूमिका धारण केली पाहिजे आणि ऑक्सिडेशन, वार्पिंग किंवा हीटिंग साइटला दूषित करताना ते केले पाहिजे.

सेमीकोरेक्स ग्रेफाइट इलेक्ट्रोड्समध्ये उत्कृष्ट विद्युत चालकता असते, जी कमीत कमी नुकसानासह प्रभावी वीज वितरण सुलभ करते आणि त्यांच्याकडे उत्कृष्ट थर्मल चालकता असते, ज्यामुळे भट्टीमध्ये जलद एकसमान उष्णता हस्तांतरण होते. कमी थर्मल विस्तार आणि उच्च यांत्रिक शक्ती यांचे संयोजन थर्मल सायकलिंग दरम्यान विकृती आणि क्रॅक कमी करते, सेवा आयुष्याच्या दीर्घ कालावधीत स्थिर वर्तन देते. संपर्क पृष्ठभागावर सातत्यपूर्ण संपर्क आणि नगण्य विद्युत प्रतिकार सुनिश्चित करण्यासाठी प्रत्येक इलेक्ट्रोडला कठोर मितीय सहिष्णुता आणि बारीक पृष्ठभाग पूर्ण करण्यासाठी मशीन केले जाते.

सेमीकंडक्टर प्रक्रियेच्या विशिष्ट आवश्यकता लक्षात घेऊन, सेमिकोरेक्स कोणत्याही फर्नेस कॉन्फिगरेशन आणि पॉवर स्पेसिफिकेशनमध्ये बसण्यासाठी कस्टम इलेक्ट्रोड डिझाइन इंजिनियर करू शकते. वेगवेगळे व्यास, लांबी, कनेक्शनचे प्रकार किंवा पृष्ठभाग फिनिश उपलब्ध केले जाऊ शकतात. आवश्यक असेल तेव्हा, कोटिंग सामग्री, जसे की SiC किंवा पायरोलिटिक कार्बन, उच्च-ऑक्सिजन किंवा प्रतिक्रियाशील वायू वातावरणात ऑक्सिडेशन प्रतिरोध आणि सेवा जीवनाला समर्थन देण्यासाठी लागू केले जाऊ शकते.

च्या उच्च शुद्धताग्रेफाइट साहित्य99.999% कार्बन पेक्षा जास्त प्रमाणात धातूची अशुद्धता (आणि वायूची अशुद्धता) आश्चर्यकारकपणे कमी पातळी सुनिश्चित करते. अशा कमी पातळीच्या अशुद्धतेमुळे थर्मल प्रक्रियेदरम्यान सेमीकंडक्टर वेफर्स दूषित होण्यास मदत होते. मशीनिंग आणि पॉलिश केलेल्या पृष्ठभागाच्या फिनिशच्या महत्त्वपूर्ण खोलीसह, सेमीकोरेक्स ग्रेफाइट इलेक्ट्रोड्स अत्याधुनिक वेफर फॅब्रिकेशन तंत्रज्ञानाची यांत्रिक आणि रासायनिक स्थिरता दोन्ही पूर्ण करतात.

डिफ्यूजन फर्नेसेस, एपिटॅक्सियल रिॲक्टर्स किंवा उच्च-तापमान प्रक्रिया उपकरणांमध्ये वापरले असले तरीही, सेमिकोरेक्स ग्रेफाइट इलेक्ट्रोड सर्वात जास्त मागणी असलेल्या थर्मल वातावरणात अतुलनीय कामगिरी प्रदान करते. उच्च शुद्धता, अचूक भूमिती आणि प्रगत सामग्री प्रक्रिया एकत्रित करून, Semicorex एक इलेक्ट्रोड सोल्यूशन प्रदान करते जे स्थिर वर्तमान वहन, सातत्यपूर्ण गरम आणि पुढील पिढीच्या सेमीकंडक्टर उत्पादनासाठी आवश्यक दीर्घकालीन ऑपरेशनल विश्वासार्हता सुनिश्चित करते.