हॉट झोनसाठी ग्रेफाइट हीटर

एकसमान तापमान वितरण:हॉट झोनसाठी ग्रेफाइट हीटर त्याच्या एकसमान हीटिंग वैशिष्ट्यांसाठी प्रसिद्ध आहे, जे सूक्ष्म सामग्री प्रक्रिया आणि अचूक मशीनिंगच्या संयोजनाद्वारे प्राप्त केले जाते. ही एकजिनसीता संपूर्ण गरम पृष्ठभागावर सातत्यपूर्ण तापमान प्रोफाइल सुनिश्चित करते, थर्मल ग्रेडियंट्स कमी करते ज्यामुळे असमान वेफर प्रक्रिया, कमी उत्पन्न आणि विसंगत उपकरण कार्यप्रदर्शन होऊ शकते.

अपवादात्मक गंज प्रतिकार:हॉट झोनसाठी ग्रेफाइट हीटर उच्च-तापमान सेमीकंडक्टर प्रक्रियेमध्ये सामान्यतः आढळणाऱ्या विविध संक्षारक वायू आणि रसायनांना उल्लेखनीय प्रतिकार दर्शवतो. ही अंतर्निहित जडत्व दीर्घकालीन हीटर स्थिरता आणि कार्यप्रदर्शन सुनिश्चित करते, दूषित होण्याचे धोके कमी करते आणि ऑपरेशनल आयुर्मान वाढवते.

सुपीरियर ऑक्सिडेशन प्रतिरोध:पारंपारिक ग्रेफाइटच्या विपरीत, हॉट झोनसाठी ग्रेफाइट हीटर उच्च तापमानातही ऑक्सिडेशनसाठी उत्कृष्ट प्रतिकार सादर करतो. हीटरची अखंडता राखण्यासाठी आणि प्रोसेसिंग चेंबरमध्ये कण दूषित होण्यापासून रोखण्यासाठी हे वैशिष्ट्य महत्त्वपूर्ण आहे.

अतिउच्च रासायनिक शुद्धता:सेमीकंडक्टर प्रक्रिया वातावरणात अवांछित दूषित पदार्थांचा परिचय होण्याचा धोका कमी करून, अति-उच्च शुद्धता पातळी प्राप्त करण्यासाठी हॉट झोनसाठी ग्रेफाइट हीटरची प्रक्रिया केली जाते. नाजूक सेमीकंडक्टर सामग्रीची अखंडता राखण्यासाठी आणि फॅब्रिकेटेड उपकरणांच्या इच्छित इलेक्ट्रिकल आणि ऑप्टिकल गुणधर्मांची खात्री करण्यासाठी ही अपवादात्मक शुद्धता आवश्यक आहे.

उच्च यांत्रिक सामर्थ्य आणि स्थिरता:हॉट झोनसाठी ग्रेफाइट हीटरमध्ये उच्च तापमानात उत्कृष्ट यांत्रिक सामर्थ्य आणि मितीय स्थिरता आहे, ज्यामुळे थर्मल सायकलिंग आणि यांत्रिक तणावासह उच्च-तापमान ऑपरेशनच्या कडकपणाचा सामना करण्यास सक्षम हीटर घटकांची निर्मिती सक्षम होते.