इलेक्ट्रॉनिक-ग्रेड पॉलिसिलिकॉनच्या निर्मितीमध्ये, विशेषतः सिंगल क्रिस्टल फर्नेसच्या हीटिंग सिस्टममध्ये ग्रेफाइट सीड चंक महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावते.
च्या सामग्रीची वैशिष्ट्येग्रेफाइटबियांचा तुकडा
कार्यक्षमता आणि संरचनेचा परिचय
सेमीकोरेक्स ग्रेफाइट सीड चंक रासायनिक वाफ जमा (CVD) प्रक्रियेदरम्यान सिलिकॉन रॉड्ससाठी माउंटिंग आणि सपोर्ट स्ट्रक्चर म्हणून काम करते. या ऍप्लिकेशन्समध्ये, ट्रायक्लोरोसिलेन (TCS) सारखे अत्यंत शुद्ध केलेले सिलेन वायू सिलिकॉन रॉड्सच्या उपस्थितीत आणले जातात आणि गरम केले जातात. रॉड्स, इलेक्ट्रिकली गरम केल्या जातात, अणुभट्टीमध्ये ग्रेफाइट सीड चंकद्वारे सुरक्षितपणे ठेवल्या जातात, ज्याला कधीकधी ग्रेफाइट इलेक्ट्रोड म्हणून संबोधले जाते.
उच्च सामर्थ्य आणि सूक्ष्म धान्य रचना
चे एक परिभाषित वैशिष्ट्यग्रेफाइटबियाण्यांचा तुकडा ही त्याची बारीक धान्य रचना आणि उल्लेखनीय ताकद आहे. हा गुणधर्म सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेच्या वैशिष्ट्यपूर्ण उच्च-तापमानाच्या परिस्थितीमध्ये आलेला यांत्रिक ताण सहन करू शकतो याची खात्री देतो. त्याचे मजबूत बांधकाम एक विश्वासार्ह समर्थन प्रणाली प्रदान करते, संपूर्ण डिपॉझिशन प्रक्रियेदरम्यान सिलिकॉन रॉडची अखंडता राखते.
थर्मल गुणधर्म आणि कार्यक्षमता
ग्रेफाइट सीड चंक त्याच्या किमान थर्मल जडत्वाने ओळखला जातो, जलद गरम आणि कार्यक्षम उच्च-तापमान प्रतिकार सक्षम करते. हे उत्कृष्ट थर्मल शॉक प्रतिरोध प्रदर्शित करते, ज्यामुळे ते त्याच्या संरचनात्मक अखंडतेशी तडजोड न करता तापमानात अचानक बदल सहन करू देते. शिवाय, त्याचे विस्तीर्ण किरणोत्सर्ग क्षेत्र आणि उच्च तापदायक कार्यक्षमता स्थिर कामगिरीमध्ये योगदान देते, ज्यामुळे ते उच्च-तापमान अनुप्रयोगांमध्ये अपरिहार्य बनते.
इलेक्ट्रिकल आणि थर्मल चालकता
त्याच्या थर्मल गुणधर्मांव्यतिरिक्त, दग्रेफाइटसीड चंक उत्कृष्ट विद्युत आणि थर्मल चालकता देते. हे गुणधर्म प्रभावी उष्णता वितरण आणि विद्युत कार्यप्रदर्शन सुलभ करतात, सिंगल क्रिस्टल फर्नेसच्या सातत्यपूर्ण ऑपरेशनसाठी महत्त्वपूर्ण आहेत. भागाची वीज कार्यक्षमतेने चालवण्याची क्षमता हे सुनिश्चित करते की सिलिकॉन रॉड एकसमान गरम केले जातात, उच्च-गुणवत्तेचे पॉलिसिलिकॉन प्राप्त करण्यासाठी एक महत्त्वपूर्ण घटक.
गंज प्रतिकार आणि राख सामग्री
ग्रेफाइट सीड चंक त्याच्या उत्कृष्ट गंज प्रतिरोधकतेसाठी देखील ओळखला जातो, ज्यामुळे ते कठोर रासायनिक वातावरणात विश्वसनीयरित्या कार्य करू शकते. त्याची कमी राख सामग्री, विशेषत: 5 भाग प्रति दशलक्ष (ppm) वर उपलब्ध आहे, संवेदनशील सेमीकंडक्टर प्रक्रियांमध्ये दूषित होण्याचे धोके कमी करते. इलेक्ट्रॉनिक-ग्रेड पॉलिसिलिकॉनची गुणवत्ता राखण्यासाठी ही शुद्धता महत्त्वाची आहे.
प्रक्रियेत अष्टपैलुत्व
ग्रॅफाइट सीड चंकची भौतिक अष्टपैलुत्व विविध अनुप्रयोग आवश्यकता पूर्ण करून, विविध आकारांमध्ये प्रक्रिया करण्यास अनुमती देते. ही अनुकूलता सुनिश्चित करते की ते विविध उत्पादन सेटअपच्या विशिष्ट गरजा पूर्ण करू शकते, सेमीकंडक्टर उद्योगात त्याची उपयुक्तता वाढवते.
चे अर्जग्रेफाइटबियांचा तुकडा
सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये भूमिका
ग्रेफाइट सीड चंक हा सेमीकंडक्टर उत्पादन उद्योगाचा अविभाज्य भाग आहे, विशेषत: सिंगल क्रिस्टल सिलिकॉनच्या उत्पादनात. हे सिंगल क्रिस्टल फर्नेसमध्ये वापरले जाते जेथे सिलिकॉन रॉड्सला आधार देण्याची आणि गरम करण्याची क्षमता CVD प्रक्रियेसाठी महत्त्वपूर्ण आहे. हा अनुप्रयोग उच्च-गुणवत्तेचा इलेक्ट्रॉनिक-ग्रेड पॉलिसिलिकॉन तयार करतो याची खात्री करतो, जे सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या निर्मितीसाठी आवश्यक आहे.
पॉलिसिलिकॉन उत्पादन वाढवणे
सिलिकॉन रॉड्ससाठी स्थिर आणि कार्यक्षम हीटिंग प्रदान करून, ग्रेफाइट सीड चंक पॉलीसिलिकॉनचे उत्पादन लक्षणीयरीत्या वाढवते. त्याचे उत्कृष्ट थर्मल आणि इलेक्ट्रिकल गुणधर्म सातत्यपूर्ण गुणवत्ता आणि उच्च उत्पन्न सुनिश्चित करतात, जे आधुनिक इलेक्ट्रॉनिक्स उत्पादनाच्या मागणी पूर्ण करण्यासाठी महत्त्वपूर्ण आहेत.
विविध औद्योगिक प्रक्रियांसाठी अनुकूलता
दग्रेफाइटसीड चंकची वेगवेगळ्या कॉन्फिगरेशनमध्ये आकार देण्याची क्षमता सेमीकंडक्टर उत्पादनाच्या पलीकडे असलेल्या औद्योगिक प्रक्रियांच्या श्रेणीसाठी योग्य बनवते. त्याची अष्टपैलुत्व आणि मजबुतता उच्च-तापमान स्थिरता आणि कार्यक्षम थर्मल व्यवस्थापन आवश्यक असलेल्या कोणत्याही अनुप्रयोगामध्ये एक मालमत्ता बनवते.