क्षैतिज क्वार्ट्ज वेफर बोट्स

क्षैतिज क्वार्ट्ज वेफर बोट्ससामान्यतः सेमीकंडक्टर वेफर्स हीट ट्रीटमेंट उपकरणांच्या फर्नेस ट्यूबमध्ये क्षैतिजरित्या धरून ठेवा, बाह्य हीटिंग उपकरणांद्वारे गरम केले जातात. ते थर्मल ऑक्सिडेशन, उच्च-तापमान प्रसार, ॲनिलिंग आणि रासायनिक वाफ जमा (CVD) प्रक्रियांसारख्या उच्च-तापमान संक्षारक सेमीकंडक्टर उष्णता उपचार प्रक्रियेची मागणी करण्यासाठी मोठ्या प्रमाणावर वापरले जातात.

सेमीकोरेक्स क्षैतिज क्वार्ट्ज वेफर बोट्सची कार्ये

1. स्थिर होल्डिंग आणि सुरक्षित करणे

सेमीकोरेक्स क्षैतिज क्वार्ट्ज वेफर बोट्समध्ये उत्कृष्ट लोड-बेअरिंग क्षमता असते आणि अनेक सेमीकंडक्टर वेफर्ससाठी सतत स्थिर समर्थन देऊ शकतात. आणि त्यांचे ऑप्टिमाइझ केलेले बाह्य डिझाइन आणि तंतोतंत स्लॉट संरचना प्रत्येकाची खात्री देतेवेफरक्षैतिज क्वार्ट्ज वेफर बोट्सवर पूर्णपणे फिट आणि घट्टपणे सुरक्षित आहे, ज्यामुळे वाहतूक आणि उत्पादन प्रक्रियेदरम्यान थरथरणे, विस्थापन आणि झुकण्यामुळे होणारे वेफर स्क्रॅच आणि टक्कर लक्षणीयरीत्या कमी होतात.

2.प्रक्रिया एकरूपता सहाय्य

क्षैतिज क्वार्ट्ज वेफर बोट्सच्या समान अंतराच्या स्लॉटची रचना अर्धसंवाहक वेफर्सच्या व्यवस्थित प्लेसमेंटसाठी परवानगी देते, अशा प्रकारे उच्च-तापमान भट्टीमध्ये स्थिर आणि गुळगुळीत वायू प्रवाह क्षेत्र तयार करते. स्ट्रक्चरल डिझाईन प्रत्येक वेफर पृष्ठभागावर सातत्यपूर्ण वायू संपर्क आणि प्रतिक्रिया दर प्राप्त करते, ज्यामुळे असमान गरम आणि विभेदक वायू संपर्कामुळे उद्भवणारे विविध दोष प्रभावीपणे कमी होतात, जसे की अपूर्ण वेफर ऑक्सिडेशन, असमान पातळ-फिल्म जमा करणे आणि डोपिंग एकाग्रता विचलन.

3. दीर्घकाळ टिकणारे सेवा जीवन

क्वार्ट्ज सामग्रीच्या उत्कृष्ट उच्च-तापमान प्रतिकारामुळे, सेमीकोरेक्स क्षैतिज क्वार्ट्ज वेफर बोटी विकृत किंवा वितळल्याशिवाय 1100-1200℃ उच्च तापमानाचा सामना करू शकतात.क्वार्ट्जऑक्सिजन, नायट्रोजन आणि हायड्रोजन क्लोराईड यांसारख्या अर्धसंवाहक प्रक्रियांमध्ये वापरल्या जाणाऱ्या वायूंसाठी रासायनिकदृष्ट्या निष्क्रिय आहे. ही अपवादात्मक रासायनिक जडत्व प्रक्रिया वायूंपासून गंज होण्याचा धोका कमी करू शकते, सेवा आयुष्य मोठ्या प्रमाणात वाढवते आणि उपकरणे बदलण्याची वेळ आणि खर्च कमी करते.