आतील मार्गदर्शक ट्यूब

सेमीकोरेक्स इनर गाईड ट्यूब ही अचूक-अभियांत्रिकी आहेकार्बन/कार्बन (C/C) घटकप्रगत उच्च-तापमान थर्मल फील्ड अनुप्रयोगांसाठी डिझाइन केलेले, विशेषत: उच्च-शुद्धता सिलिकॉन क्रिस्टल्सच्या वाढीसाठी. क्रिस्टल ग्रोथ फर्नेसेसमधील एक महत्त्वपूर्ण घटक म्हणून, हा घटक थर्मल ग्रेडियंटला आकार देण्यामध्ये आणि स्थिर करण्यात मध्यवर्ती भूमिका बजावतो, इष्टतम क्रिस्टल निर्मिती आणि सातत्यपूर्ण सामग्रीची गुणवत्ता सुनिश्चित करतो.

उच्च-घनता कार्बन फायबर-प्रबलित कार्बन कंपोझिटपासून निर्मित, इनर गाइड ट्यूब अत्यंत परिस्थितीत अपवादात्मक संरचनात्मक अखंडता आणि थर्मल स्थिरता प्रदान करते. ≥1.35 g/cm³ च्या घनतेसह आणि ≥110 MPa च्या लवचिक सामर्थ्यासह, ते भारदस्त तापमानाच्या दीर्घकाळ संपर्कात असताना देखील यांत्रिक मजबुती राखते. सेमीकंडक्टर-ग्रेड सिलिकॉन उत्पादनामध्ये हे गुणधर्म आवश्यक आहेत, जेथे थर्मल स्थितीतील किरकोळ चढउतार देखील क्रिस्टल एकरूपता आणि दोष दरांवर लक्षणीय परिणाम करू शकतात.

मुख्य कार्यक्षमता: अचूक ग्रेडियंट नियंत्रण

C/C आतील मार्गदर्शक ट्यूबची प्राथमिक भूमिका म्हणजे अचूक ग्रेडियंट तापमान फील्ड तयार करणे. सिलिकॉन क्रिस्टल वाढीच्या प्रक्रियेदरम्यान, ते थेट वितळण्याच्या वर स्थित आहे:

डायरेक्ट गॅस फ्लो: सिलिकॉन ऑक्साईड (SiO) वाष्प वितळलेल्या पृष्ठभागावरून कार्यक्षमतेने वाहून जातात, क्रिस्टलमधील ऑक्सिजन दूषित होण्यापासून प्रतिबंधित करून, ते निष्क्रिय आर्गॉन वायूच्या प्रवाहाचे मार्गदर्शन करते.

थर्मल शील्डिंग: हे क्रुसिबल भिंतींमधून थेट उष्णतेच्या किरणोत्सर्गापासून वाढत्या क्रिस्टलचे संरक्षण करते, उच्च-गती, उच्च-गुणवत्तेच्या क्रिस्टल पुलिंगसाठी आवश्यक अक्षीय तापमान ग्रेडियंट स्थापित करते.

ऊर्जा कार्यक्षमता: मेल्ट झोनमध्ये उष्णता केंद्रित करून आणि भट्टीच्या वरच्या घटकांना इन्सुलेट करून, एकूण वीज वापर लक्षणीयरीत्या कमी करते.

तांत्रिक तपशील आणि साहित्य उत्कृष्टता

आमच्या आतील मार्गदर्शक ट्यूब्स उच्च-घनता वापरून तयार केल्या जातातकार्बन/कार्बन संमिश्र, पारंपारिक ग्रेफाइटला एक उत्कृष्ट पर्याय प्रदान करते. सेमीकंडक्टर व्हॅक्यूम फर्नेसच्या अत्यंत परिस्थितीसाठी भौतिक गुणधर्म ऑप्टिमाइझ केले जातात:

घनता: ≥ 1.35 g/cm³

फ्लेक्सरल स्ट्रेंथ: ≥ 110 MPa

थर्मल विस्ताराचे गुणांक (CTE): ≤ 1.0 × 10⁻⁶ /K

थर्मल चालकता (खोलीचे तापमान): ≤ 10 W/(m·K)

उद्योग

जसजसा उद्योग मोठ्या आकाराच्या वेफर (300mm आणि 450mm) कडे जातो तसतसे थर्मल फील्डवरील मागणी झपाट्याने वाढते. आमच्या आतील मार्गदर्शक ट्यूब्स मुख्य CZ फर्नेस ब्रँडशी सुसंगत आहेत आणि भूमिती आणि कोटिंगच्या संदर्भात सानुकूलित केल्या जाऊ शकतात.