TaC कोटिंगसह MOCVD ससेप्टर

TaC कोटिंगसह Semicorex MOCVD ससेप्टर काळजीपूर्वक निवडलेल्या ग्रेफाइटपासून बनविलेले आहे, उच्च कार्यक्षमता आणि टिकाऊपणा सुनिश्चित करण्यासाठी त्याच्या अपवादात्मक गुणधर्मांसाठी निवडले आहे. ग्रेफाइट त्याच्या उत्कृष्ट थर्मल आणि इलेक्ट्रिकल चालकतेसाठी तसेच MOCVD प्रक्रियेच्या वैशिष्ट्यपूर्ण उच्च तापमानाला तोंड देण्याच्या क्षमतेसाठी ओळखले जाते. या MOCVD ससेप्टरचे मुख्य वैशिष्ट्य त्याच्या TaC कोटिंगमध्ये आहे. टँटलम कार्बाइड ही एक रेफ्रेक्ट्री सिरेमिक सामग्री आहे जी त्याच्या अपवादात्मक कडकपणा, रासायनिक जडत्व आणि थर्मल स्थिरतेसाठी प्रसिद्ध आहे. ग्रेफाइट ससेप्टरला TaC सह कोटिंग करून, आम्ही एक घटक प्राप्त करतो जो केवळ MOCVD प्रक्रियेच्या मागणीच्या परिस्थितीला तोंड देत नाही तर सिस्टमची एकूण कार्यक्षमता आणि टिकाऊपणा देखील वाढवतो.

TaC कोटिंगसह MOCVD ससेप्टर कोटिंग आणि ग्रेफाइट सब्सट्रेट दरम्यान मजबूत बंधन सुनिश्चित करते. ग्रेफाइटची काळजीपूर्वक निवड यात महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावते. TaC कोटिंगसह आमच्या MOCVD ससेप्टरमध्ये वापरलेल्या ग्रेफाइटचे थर्मल विस्ताराचे गुणांक (CTE) TaC कोटिंगशी जवळून जुळते. CTE मूल्यांमधील ही जवळची जुळणी MOCVD प्रक्रियेमध्ये जलद गरम आणि थंड होण्याच्या चक्रादरम्यान उद्भवू शकणारे थर्मल ताण कमी करते. परिणामी, TaC कोटिंग ग्रेफाइट सब्सट्रेटला अधिक घट्टपणे चिकटते, यांत्रिक अखंडता आणि ससेप्टरची आयुर्मान लक्षणीयरीत्या वाढवते.

टीएसी कोटिंगसह एमओसीव्हीडी ससेप्टर अत्यंत टिकाऊ आहे आणि एमओसीव्हीडी प्रक्रियेतील यांत्रिक ताण आणि कठोर परिस्थितींचा सामना करू शकतो. ही टिकाऊपणा उच्च-उत्पादनाच्या एपिटॅक्सियल वाढीसाठी आवश्यक अचूक भूमिती आणि पृष्ठभागाची गुणवत्ता राखण्यासाठी आवश्यक आहे. मजबूत TaC कोटिंग ससेप्टरचे ऑपरेशनल लाइफ देखील वाढवते, बदलण्याची वारंवारता कमी करते आणि MOCVD सिस्टमच्या मालकीची एकूण किंमत कमी करते.

TaC ची थर्मल स्थिरता TaC कोटिंगसह MOCVD ससेप्टरला कार्यक्षम MOCVD प्रक्रियेसाठी आवश्यक असलेल्या उच्च तापमानांवर कार्य करण्यास अनुमती देते. याचा अर्थ असा की TaC कोटिंगसह MOCVD ससेप्टर कमी-तापमानाच्या GaN वाढीपासून ते उच्च-तापमान SiC एपिटॅक्सीपर्यंत, विविध अनुप्रयोगांसाठी त्यांची MOCVD प्रणाली ऑप्टिमाइझ करू पाहणाऱ्या सेमीकंडक्टर उत्पादकांसाठी एक मौल्यवान घटक बनवून, डिपॉझिशन प्रक्रियेच्या विस्तृत श्रेणीस समर्थन देऊ शकतो.

TaC कोटिंगसह Semicorex MOCVD ससेप्टर सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सीत लक्षणीय प्रगती दर्शवते. ग्रेफाइट आणि TaC चे गुणधर्म एकत्र करून, आम्ही एक ससेप्टर विकसित केला आहे जो आधुनिक MOCVD प्रक्रियेच्या मागणीची पूर्तता करत नाही तर त्यापेक्षा जास्त आहे. ग्रेफाइट सब्सट्रेट आणि TaC कोटिंग यांच्यातील थर्मल विस्तार (CTE) चे जवळून जुळणारे गुणांक मजबूत बंधन सुनिश्चित करतात, तर अपवादात्मक कडकपणा, रासायनिक जडत्व आणि TaC ची थर्मल स्थिरता अतुलनीय संरक्षण आणि टिकाऊपणा प्रदान करते. याचा परिणाम असा ससेप्टर बनतो जो उत्कृष्ट कार्यप्रदर्शन प्रदान करतो, एपिटॅक्सियल वाढीची गुणवत्ता वाढवतो आणि MOCVD सिस्टमचे ऑपरेशनल आयुष्य वाढवतो. सेमीकंडक्टर उत्पादक उच्च उत्पादन, कमी खर्च आणि अधिक प्रक्रिया लवचिकता प्राप्त करण्यासाठी TaC कोटिंगसह आमच्या MOCVD ससेप्टरवर अवलंबून राहू शकतात, ज्यामुळे सेमीकंडक्टर उत्पादनात तांत्रिक नावीन्य आणि उत्कृष्टता याच्या शोधात ते एक आवश्यक घटक बनतात.