मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन एपिटॅक्सियल ससेप्टर

Semicorex Monocrystalline Silicon Epitaxial Susceptor हे उच्च शुद्ध SiC सह लेपित केलेले ग्रेफाइट उत्पादन आहे, ज्यामध्ये उच्च उष्णता आणि गंज प्रतिरोधक आहे. CVD सिलिकॉन कार्बाइड लेपित वाहक प्रक्रियांमध्ये वापरले जाते जे सेमीकंडक्टर वेफर्सवर एपिटॅक्सियल लेयर बनवते, ज्यामध्ये उच्च थर्मल चालकता आणि उत्कृष्ट उष्णता वितरण गुणधर्म असतात.
आमचा मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन एपिटॅक्सियल ससेप्टर सर्वोत्तम लॅमिनार गॅस फ्लो पॅटर्न प्राप्त करण्यासाठी, थर्मल प्रोफाइलची समानता सुनिश्चित करण्यासाठी डिझाइन केले आहे. हे वेफर चिपवर उच्च-गुणवत्तेची एपिटॅक्सियल वाढ सुनिश्चित करून कोणत्याही दूषित किंवा अशुद्धतेचा प्रसार रोखण्यास मदत करते.
आमच्या मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन एपिटॅक्सियल ससेप्टरबद्दल अधिक जाणून घेण्यासाठी आजच आमच्याशी संपर्क साधा.

मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन एपिटॅक्सियल ससेप्टरचे पॅरामीटर्स

मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन एपिटॅक्सियल ससेप्टरची वैशिष्ट्ये

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट आणि सिलिकॉन कार्बाइड या दोन्ही थरांची घनता चांगली आहे आणि ते उच्च तापमान आणि संक्षारक कार्य वातावरणात चांगली संरक्षणात्मक भूमिका बजावू शकतात.
- सिंगल क्रिस्टल ग्रोथसाठी वापरल्या जाणार्‍या सिलिकॉन कार्बाइड लेपित ससेप्टरची पृष्ठभागाची सपाटता खूप जास्त असते.
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट आणि सिलिकॉन कार्बाइड लेयरमधील थर्मल विस्तार गुणांकातील फरक कमी करा, क्रॅकिंग आणि डेलेमिनेशन टाळण्यासाठी बाँडिंग ताकद प्रभावीपणे सुधारा.
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट आणि सिलिकॉन कार्बाइड या दोन्ही थरांमध्ये उच्च थर्मल चालकता आणि उत्कृष्ट उष्णता वितरण गुणधर्म आहेत.
- उच्च हळुवार बिंदू, उच्च तापमान ऑक्सिडेशन प्रतिरोध, गंज प्रतिकार.