वेफर उत्पादन

जसजसे तंत्रज्ञान प्रगत होत जाते, तशी मागणी वाढत जातेवेफर्सवाढणे सुरू आहे. सध्या, देशांतर्गत बाजारात सिलिकॉन वेफर्सचे मुख्य प्रवाहाचे आकार 100 मिमी, 150 मिमी आणि 200 मिमी आहेत. सिलिकॉनचा व्यास वाढवणेवेफर्स300mm सिलिकॉन वेफर्सची मागणी वाढून प्रत्येक चिपची उत्पादन किंमत कमी करू शकते. तथापि, मोठे व्यास मुख्य पॅरामीटर्सवर कठोर आवश्यकता लादतात, जसे की वेफर पृष्ठभाग सपाटपणा, ट्रेस अशुद्धता नियंत्रण, अंतर्गत दोष आणि ऑक्सिजन सामग्री. परिणामी, चिप उत्पादनामध्ये वेफर उत्पादन हे संशोधनाचे मुख्य केंद्र बनले आहे.

वेफर मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये जाण्यापूर्वी, मूळ क्रिस्टल स्ट्रक्चर समजून घेणे आवश्यक आहे.

सामग्रीच्या अंतर्गत आण्विक संघटनेतील फरक हा त्यांच्यातील फरक करण्यासाठी एक महत्त्वपूर्ण घटक आहे. सिलिकॉन आणि जर्मेनियम यांसारख्या स्फटिकासारखे पदार्थ, अणू ठराविक नियतकालिक संरचनेत मांडलेले असतात, तर प्लॅस्टिकसारख्या स्फटिक नसलेल्या पदार्थांमध्ये या क्रमबद्ध व्यवस्थेचा अभाव असतो. सिलिकॉन हे वेफर्ससाठी प्राथमिक साहित्य म्हणून त्याच्या अद्वितीय रचना, अनुकूल रासायनिक गुणधर्म, नैसर्गिक विपुलता आणि इतर फायद्यांमुळे उदयास आले आहे.

क्रिस्टलीय पदार्थांमध्ये अणू संघटनेचे दोन स्तर असतात. प्रथम स्तर वैयक्तिक अणूंची रचना आहे, एक युनिट सेल बनवते जी ठराविक काळाने संपूर्ण क्रिस्टलमध्ये पुनरावृत्ती होते. दुसरा स्तर या युनिट पेशींच्या एकूण व्यवस्थेचा संदर्भ देते, ज्याला जाळीची रचना म्हणतात, जेथे अणू जाळीच्या आत विशिष्ट स्थान व्यापतात. युनिट सेलमधील अणूंची संख्या, त्यांची सापेक्ष स्थिती आणि त्यांच्यामधील बंधनकारक ऊर्जा सामग्रीचे विविध गुणधर्म निर्धारित करतात. सिलिकॉन क्रिस्टल स्ट्रक्चरचे वर्गीकरण डायमंड स्ट्रक्चर म्हणून केले जाते, ज्यामध्ये कर्णाच्या लांबीच्या एक चतुर्थांश भाग कर्णाच्या बाजूने ऑफसेट केलेल्या चेहर्यावरील-केंद्रित क्यूबिक जाळीच्या दोन सेट असतात.

क्रिस्टल्समधील नियतकालिकता आणि सममितीची वैशिष्ट्ये सार्वत्रिक त्रिमितीय आयताकृती समन्वय प्रणाली वापरण्याऐवजी अणूंच्या स्थानांचे वर्णन करण्यासाठी एक सोपी पद्धत आवश्यक आहे. क्रिस्टलमधील अणू वितरणाचे त्याच्या जाळीच्या कालखंडावर आधारित अधिक चांगल्या प्रकारे वर्णन करण्यासाठी, आम्ही तीन मार्गदर्शक तत्त्वांनुसार एकक सेल निवडतो. हा एकक सेल प्रभावीपणे क्रिस्टलची नियतकालिकता आणि सममिती प्रतिबिंबित करतो आणि सर्वात लहान पुनरावृत्ती युनिट म्हणून काम करतो. एकदा युनिट सेलमधील अणू निर्देशांक निश्चित केल्यावर, संपूर्ण क्रिस्टलमध्ये कणांच्या सापेक्ष स्थानांचा आपण सहजपणे अंदाज लावू शकतो. युनिट सेलच्या तीन किनारी वेक्टरवर आधारित समन्वय प्रणाली स्थापित करून, आम्ही क्रिस्टल स्ट्रक्चरचे लक्षणीय वर्णन करण्याची प्रक्रिया सुलभ करू शकतो.

क्रिस्टल प्लेनची व्याख्या क्रिस्टलमधील अणू, आयन किंवा रेणूंच्या व्यवस्थेद्वारे तयार केलेली सपाट पृष्ठभाग म्हणून केली जाते. याउलट, क्रिस्टल दिशा या अणु व्यवस्थेच्या विशिष्ट अभिमुखतेचा संदर्भ देते.

मिलर निर्देशांक वापरून क्रिस्टल प्लेनचे प्रतिनिधित्व केले जाते. सामान्यतः, कंस () क्रिस्टल समतल दर्शवतात, चौरस कंस [] क्रिस्टल दिशा दर्शवतात, कोन कंस <> क्रिस्टल दिशांचे कुटुंब दर्शवतात आणि कुरळे कंस {} क्रिस्टल समतलांचे कुटुंब दर्शवतात. सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये, सिलिकॉन वेफर्ससाठी सर्वाधिक वापरले जाणारे क्रिस्टल प्लेन (100), (110) आणि (111) आहेत. प्रत्येक क्रिस्टल प्लेनमध्ये अद्वितीय वैशिष्ट्ये असतात, ज्यामुळे ते वेगवेगळ्या उत्पादन प्रक्रियेसाठी योग्य असतात.

उदाहरणार्थ, (100) क्रिस्टल विमाने प्रामुख्याने एमओएस उपकरणांच्या निर्मितीमध्ये त्यांच्या अनुकूल पृष्ठभागाच्या गुणधर्मांमुळे वापरली जातात, जे थ्रेशोल्ड व्होल्टेजवर नियंत्रण ठेवण्यास सुलभ करतात. याव्यतिरिक्त, (100) क्रिस्टल प्लेनसह वेफर्स प्रक्रियेदरम्यान हाताळण्यास सोपे असतात आणि तुलनेने सपाट पृष्ठभाग असतात, ज्यामुळे ते मोठ्या प्रमाणात एकात्मिक सर्किट तयार करण्यासाठी आदर्श बनतात. याउलट, (111) क्रिस्टल विमाने, ज्यांची अणु घनता जास्त असते आणि वाढीचा खर्च कमी असतो, बहुतेकदा द्विध्रुवीय उपकरणांमध्ये वापरला जातो. बीज क्रिस्टलची योग्य दिशा निवडून वाढीच्या प्रक्रियेदरम्यान क्रिस्टल दिशा काळजीपूर्वक व्यवस्थापित करून ही विमाने साध्य करता येतात.

(100) क्रिस्टल समतल Y-Z अक्षाच्या समांतर आहे आणि X-अक्षाला एकक मूल्य 1 असलेल्या बिंदूवर छेदते. (110) क्रिस्टल समतल X आणि Y दोन्ही अक्षांना छेदते, तर (111) क्रिस्टल समतल छेदते सर्व तीन अक्ष: X, Y आणि Z.

संरचनात्मक दृष्टीकोनातून, (100) क्रिस्टल समतल चौरस आकार बनवते, तर (111) क्रिस्टल समतल त्रिकोणी आकार घेते. वेगवेगळ्या क्रिस्टल प्लेनमधील संरचनेतील फरकांमुळे, वेफर तोडण्याची पद्धत देखील भिन्न असते. <100> बाजूने असणारे वेफर्स चौरस आकारात मोडतात किंवा काटकोनात (90°) ब्रेक तयार करतात, तर <111> बाजूने असणारे वेफर्स त्रिकोणी तुकड्यांमध्ये मोडतात.

क्रिस्टल्सच्या अंतर्गत रचनांशी संबंधित अद्वितीय रासायनिक, विद्युत आणि भौतिक गुणधर्म लक्षात घेता, वेफरचे विशिष्ट क्रिस्टल अभिमुखता त्याच्या एकूण कार्यक्षमतेवर लक्षणीय परिणाम करते. परिणामी, तयारी प्रक्रियेदरम्यान क्रिस्टल अभिमुखतेवर कठोर नियंत्रण राखणे महत्वाचे आहे.

सेमिकोरेक्स उच्च-गुणवत्तेची ऑफर करतेसेमीकंडक्टर वेफर्स. आपल्याकडे काही चौकशी असल्यास किंवा अतिरिक्त तपशीलांची आवश्यकता असल्यास, कृपया आमच्याशी संपर्क साधण्यास अजिबात संकोच करू नका.

संपर्क फोन # +86-13567891907

ईमेल: sales@semicorex.com