एल्युमिना मटेरियलचा परिचय

एल्युमिना सिरेमिकघटकांमध्ये उत्कृष्ट गुणधर्म आहेत जसे की उच्च कडकपणा, उच्च यांत्रिक सामर्थ्य, सुपर वेअर रेझिस्टन्स, उच्च तापमान प्रतिरोध, उच्च प्रतिरोधकता आणि चांगले इलेक्ट्रिकल इन्सुलेशन कामगिरी. ते व्हॅक्यूम आणि उच्च तापमानासारख्या विशेष वातावरणात सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगच्या जटिल कामगिरी आवश्यकता पूर्ण करू शकतात. सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग प्रॉडक्शन लाइनमध्ये ते एक अपरिवर्तनीय आणि महत्वाची भूमिका निभावतात. त्यांचे अनुप्रयोग जवळजवळ सर्व सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग उपकरणे समाविष्ट करतात आणि सेमीकंडक्टर उत्पादन उपकरणांचे मुख्य घटक आहेत. सेमीकंडक्टर उद्योगाच्या सतत विकासासह, औद्योगिक साखळीतील एल्युमिना सिरेमिक घटकांचे महत्त्व अधिक प्रख्यात होईल.

चिप वैशिष्ट्य आकार कमी होत असताना, सेमीकंडक्टर उपकरणांना घटकांवर अधिक कठोर आवश्यकता असते आणि त्याची घनता, एकसारखेपणा, गंज प्रतिरोध इत्यादी जास्त असणे आवश्यक आहे. अलिकडच्या वर्षांत, देशांतर्गत आणि परदेशी विद्वानांनी एल्युमिना सिरेमिक सामग्रीची सिंटरिंग परिस्थिती सुधारण्यासाठी विविध प्रकारच्या नवीन प्रक्रिया विकसित केल्या आहेत, जेणेकरून ते स्वत: ची प्रचार करणारे उच्च-तापमान सिन्टरिंग, फ्लॅश सिन्टरिंग, कोल्ड सिंटरिंग आणि ऑसीलेटिंग प्रेशर सिन्टरिंग यासारख्या कमी सिन्टरिंग तापमानात सामग्रीचे वेगवान घनता प्राप्त करू शकतील. त्यापैकी, कोल्ड सिन्टरिंग म्हणजे पावडरमध्ये एक क्षणिक सॉल्व्हेंट जोडणे आणि कणांमधील पुनर्रचना आणि प्रसार वाढविण्यासाठी एक मोठा दबाव (350 ~ 500 एमपीए) लागू करणे, जेणेकरून सिरेमिक पावडर कमी तापमानात (120 ~ 300 ℃) आणि एक लहान वेळ कमी करणे शक्य होईल.

सध्या, ग्लोबल इंटिग्रेटेड सर्किट मॅन्युफॅक्चरिंग प्रक्रिया 3-नॅनोमीटर स्तरावर अधिक प्रगत प्रक्रियेसाठी विकसित झाली आहे. सेमीकंडक्टर उपकरणे आणि सेमीकंडक्टर उपकरणे सुस्पष्टता घटक सतत विकसित करणे आणि श्रेणीसुधारित करणे आवश्यक आहे आणि डाउनस्ट्रीम मॅन्युफॅक्चरिंग गरजा पूर्ण करण्यासाठी प्रक्रिया सुधारणे आवश्यक आहेत. एकदा सेमीकंडक्टर उपकरणे अद्यतनित झाल्यानंतर, घटकांसाठी नवीन उपकरणांच्या विशिष्ट आवश्यकता समक्रमितपणे बदलतील. सेमीकंडक्टर तंत्रज्ञानाच्या विकासासह, एल्युमिना सिरेमिक घटकांच्या कार्यक्षमतेची आवश्यकता जास्त आणि जास्त वाढत आहे, ज्यात उच्च पोशाख प्रतिरोध, उच्च तापमान प्रतिरोध आणि चांगले विद्युत इन्सुलेशन यांचा समावेश आहे. उद्योगाच्या ट्रेंडमध्ये उच्च शुद्धता, बारीक रचना एल्युमिना पावडर सामग्री आणि प्रगत तयारी तंत्रज्ञानाचा अवलंब करावा लागतो.

एल्युमिना सिरेमिक्ससेमीकंडक्टर फील्डमध्ये वापरताना खूप उच्च शुद्धतेची आवश्यकता असते, सामान्यत: 99.5%पेक्षा जास्त. सेमीकंडक्टर फील्डमध्ये, एल्युमिना सिरेमिक भाग सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या मुख्य भागांपैकी एक आहेत. त्यापैकी बहुतेक वेफरच्या जवळच्या चेंबरमध्ये वापरले जातात. सेमीकंडक्टर उपकरणांमध्ये, ते वापराद्वारे वर्गीकृत केले जातात आणि प्रामुख्याने कुंडलाकार सिलेंडर्स, एअरफ्लो मार्गदर्शक, लोड-बेअरिंग फिक्स्ड, हाताने पकडलेले गॅस्केट्स, मॉड्यूल इ. मध्ये विभागले जातात.

एचिंग प्रक्रियेमध्ये, प्लाझ्मा एचिंग दरम्यान वेफरचे दूषितपणा कमी करण्यासाठी, उच्च-शुद्धता एल्युमिना कोटिंग्ज किंवा मजबूत गंज प्रतिरोधकसह एल्युमिना सिरेमिक्सची निवड एचिंग चेंबर आणि चेंबर अस्तरसाठी संरक्षक सामग्री म्हणून केली जाते.

प्लाझ्मा साफसफाईच्या प्रक्रियेत, फ्लोरिन आणि क्लोरीन सारख्या अत्यधिक प्रतिक्रियाशील हॅलोजन घटक असलेल्या संक्षारक वायू वापरल्या जातात. गॅस नोजल सहसा एल्युमिना सिरेमिकपासून बनलेले असते, ज्यास गॅस आणि उप-उत्पादनांवर प्रक्रिया करण्यासाठी उच्च प्लाझ्मा प्रतिरोध, डायलेक्ट्रिक सामर्थ्य आणि प्रक्रिया करण्यासाठी मजबूत गंज प्रतिकार असणे आवश्यक असते. त्याच वेळी, गॅस प्रवाह अचूकपणे नियंत्रित करण्यासाठी अंतर्गत सुस्पष्टता छिद्र रचना वापरली जाते.

सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग प्रक्रियेमध्ये, वेफरला उच्च-तापमान उपचार होऊ शकतात, जसे की एचिंग, आयन इम्प्लांटेशन इ. एल्युमिना वेफर कॅरियरमध्ये चांगली थर्मल चालकता असते आणि वेफरद्वारे तयार होणारी उष्णता प्रभावीपणे विखुरली आणि निर्यात करू शकते, ज्यामुळे वेफरला थर्मल नुकसानीपासून संरक्षण मिळेल.

वेफर्सच्या हाताळणीत, एल्युमिना सिरेमिकपासून बनविलेले सिरेमिक रोबोटिक आर्म वापरले जाईल. हे रोबोटच्या हाताच्या बरोबरीचे वेफर हँडलिंग रोबोटवर स्थापित केले जाईल. वेफरला नियुक्त केलेल्या ठिकाणी नेण्यासाठी जबाबदार आहे आणि त्याची पृष्ठभाग वेफरच्या थेट संपर्कात आहे. इतर कणांद्वारे वेफर्स दूषित होण्यास अत्यंत संवेदनशील असल्याने ते सामान्यत: व्हॅक्यूम वातावरणात केले जातात. या वातावरणात, बहुतेक सामग्रीच्या रोबोटिक शस्त्रांना सामान्यत: कार्य पूर्ण करणे कठीण होते. रोबोटिक शस्त्रांना उच्च तापमान, पोशाख-प्रतिरोधक आणि उच्च कठोरपणा प्रतिरोधक असणे आवश्यक आहे. कामकाजाच्या परिस्थितीच्या आवश्यकतेमुळे, ते सामान्यत: अत्यंत उच्च-शुद्धता एल्युमिना सिरेमिक सामग्रीपासून बनविलेले असतात आणि सिरेमिक भागांच्या अचूकतेची आणि पृष्ठभागाच्या उग्रपणाची हमी आवश्यक असते.

सेमीकोरेक्स उच्च-गुणवत्तेची ऑफर देतेएल्युमिना सिरेमिक भागसेमीकंडक्टरमध्ये, एसआयसी कोटिंग्ज आणि टीएसी कोटिंग्जसह. आपल्याकडे काही चौकशी असल्यास किंवा अतिरिक्त तपशीलांची आवश्यकता असल्यास, कृपया आमच्याशी संपर्क साधण्यास अजिबात संकोच करू नका.

फोन # +86-13567891907 वर संपर्क साधा

ईमेल: sales@semicorex.com