सेमीकंडक्टर शॉवरहेड्स

दगॅस वितरण प्लेट, बर्‍याचदा "शॉवरहेड" म्हणून ओळखले जाते, हे पारंपारिक शॉवरहेडसारखे असू शकते, परंतु त्याची किंमत शेकडो हजारो पर्यंत पोहोचू शकते, जे बाथरूमच्या शॉवरपेक्षा लक्षणीय आहे.

गॅस वितरण प्लेटच्या पृष्ठभागावर शेकडो किंवा अगदी हजारो लहान, तंतोतंत व्यवस्था केलेल्या छिद्र आहेत, ज्यात बारीक विणलेल्या न्यूरल नेटवर्कसारखे दिसतात. हे डिझाइन गॅस प्रवाह आणि इंजेक्शन कोनांवर अचूक नियंत्रण करण्यास अनुमती देते, हे सुनिश्चित करते की वेफर प्रोसेसिंग क्षेत्राचा प्रत्येक भाग प्रक्रिया गॅसमध्ये समान रीतीने "आंघोळ" आहे. हे केवळ उत्पादन कार्यक्षमता वाढवित नाही तर उत्पादनाची गुणवत्ता देखील सुधारते.

गॅस वितरण प्लेट साफसफाई, एचिंग आणि जमा यासारख्या मुख्य प्रक्रियेसाठी अविभाज्य आहे. हे सेमीकंडक्टर प्रक्रियेच्या अचूकतेवर आणि अंतिम उत्पादनांच्या गुणवत्तेवर थेट प्रभाव पाडते, ज्यामुळे ते विविध गॅस वितरण अनुप्रयोगांमध्ये एक महत्त्वपूर्ण घटक बनते.

वेफर प्रतिक्रिया प्रक्रियेदरम्यान, पृष्ठभागशॉवरहेडमायक्रोपोरेस (छिद्र 0.2-6 मिमी) सह दाटपणे झाकलेले आहे. तंतोतंत डिझाइन केलेल्या चॅनेलची रचना आणि गॅस मार्गाद्वारे, विशेष प्रक्रिया गॅस एकसमान गॅस प्लेटवरील हजारो लहान छिद्रांमधून जाणे आवश्यक आहे आणि नंतर वेफर पृष्ठभागावर समान रीतीने जमा करणे आवश्यक आहे. वेफरच्या वेगवेगळ्या क्षेत्रातील फिल्म लेयरला उच्च एकरूपता आणि सुसंगतता सुनिश्चित करणे आवश्यक आहे. म्हणूनच, स्वच्छता आणि गंज प्रतिकार करण्यासाठी अत्यंत उच्च आवश्यकतेव्यतिरिक्त, गॅस वितरण प्लेटमध्ये गॅस वितरण प्लेटवरील लहान छिद्रांच्या छिद्रांच्या सुसंगततेवर आणि लहान छिद्रांच्या आतील भिंतीवरील बुरुजची कठोर आवश्यकता आहे. जर छिद्र आकार सहनशीलता आणि सुसंगतता मानक विचलन खूप मोठे असेल किंवा कोणत्याही आतील भिंतीवर बुरुज असतील तर जमा केलेल्या फिल्म लेयरची जाडी वेगळी असेल, जी उपकरणांच्या प्रक्रियेच्या उत्पन्नावर थेट परिणाम करेल.

गॅस वितरण प्लेटची सामग्री कधीकधी ठिसूळ सामग्री असते (जसे की सिंगल क्रिस्टल सिलिकॉन, क्वार्ट्ज ग्लास, सिरेमिक्स), जी बाह्य शक्तीच्या क्रियेखाली मोडणे सोपे आहे. हे मायक्रोपोरच्या व्यासाच्या 50 पट आत एक अल्ट्रा-खोल छिद्र देखील आहे आणि कटिंगची परिस्थिती थेट पाळली जाऊ शकत नाही. याव्यतिरिक्त, कटिंग उष्णता प्रसारित करणे सोपे नाही आणि चिप काढणे कठीण आहे आणि चिप ब्लॉकेजमुळे ड्रिल बिट सहजपणे तुटलेले आहे. म्हणून, त्याची प्रक्रिया आणि तयारी खूप कठीण आहे.

याव्यतिरिक्त, प्लाझ्मा-सहाय्य प्रक्रियेमध्ये (जसे की पीईसीव्हीडी आणि ड्राय एचिंग), इलेक्ट्रोडचा एक भाग म्हणून शॉवर हेड देखील प्लाझ्माच्या एकसमान वितरणास प्रोत्साहित करण्यासाठी आरएफ वीज पुरवठ्याद्वारे एकसमान विद्युत क्षेत्र तयार करणे आवश्यक आहे, ज्यामुळे एचिंग किंवा डिपॉझिटची एकसारखेपणा सुधारेल.

सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग प्रक्रियेमध्ये वापरल्या जाणार्‍या वायू उच्च तापमान, उच्च दाब किंवा संक्षारक असू शकतात, शॉवरहेड सहसा गंज-प्रतिरोधक सामग्रीपासून बनलेले असते. वास्तविक उत्पादनात, वेगवेगळ्या वापराच्या परिस्थितीमुळे आणि वास्तविक आवश्यक अचूकतेमुळे, गॅस वितरण प्लेट त्याच्या भौतिक रचनानुसार खालील दोन श्रेणींमध्ये विभागली जाऊ शकते:

(१) मेटल गॅस वितरण प्लेट

मेटल गॅस वितरण प्लेट्सच्या सामग्रीमध्ये अ‍ॅल्युमिनियम मिश्र धातु, स्टेनलेस स्टील आणि निकेल मेटल समाविष्ट आहे, त्यापैकी बहुतेक प्रमाणात वापरल्या जाणार्‍या मेटल गॅस वितरण प्लेट सामग्री अ‍ॅल्युमिनियम मिश्र धातु आहे, कारण त्यात चांगली थर्मल चालकता आणि मजबूत गंज प्रतिरोध आहे. हे मोठ्या प्रमाणात उपलब्ध आणि प्रक्रिया करणे सोपे आहे.

(२) नॉन-मेटलिक गॅस वितरण प्लेट

नॉन-मेटलिक गॅस वितरण प्लेट्सच्या सामग्रीमध्ये सिंगल क्रिस्टल सिलिकॉन, क्वार्ट्ज ग्लास आणि सिरेमिक सामग्रीचा समावेश आहे. त्यापैकी सामान्यत: वापरल्या जाणार्‍या सिरेमिक सामग्री म्हणजे सीव्हीडी-एसआयसी, एल्युमिना सिरेमिक्स, सिलिकॉन नायट्राइड सिरेमिक्स इ.

सेमीकोरेक्स उच्च-गुणवत्तेची ऑफर देतेसीव्हीडी sic शॉवरहेड्ससेमीकंडक्टर उद्योगात. आपल्याकडे काही चौकशी असल्यास किंवा अतिरिक्त तपशीलांची आवश्यकता असल्यास, कृपया आमच्याशी संपर्क साधण्यास अजिबात संकोच करू नका.

फोन # +86-13567891907 वर संपर्क साधा

ईमेल: sales@semicorex.com