सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमधील प्रमुख सिरेमिक घटक

सेमीकंडक्टर उपकरणांमध्ये चेंबर्स आणि चेंबर असतात आणि बहुतेक सिरेमिक्स वेफर्सच्या जवळ असलेल्या चेंबरमध्ये वापरले जातात. सिरेमिक भाग, मुख्य उपकरणांच्या पोकळींमध्ये मोठ्या प्रमाणात वापरल्या जाणार्‍या महत्त्वपूर्ण घटक, एल्युमिना सिरेमिक्स, अ‍ॅल्युमिनियम नायट्राइड सिरेमिक्स आणि सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक्स सारख्या प्रगत सिरेमिक सामग्रीचा वापर करून अचूक प्रक्रियेद्वारे तयार केलेले सेमीकंडक्टर उपकरणे घटक आहेत. प्रगत सिरेमिक मटेरियलमध्ये सामर्थ्य, सुस्पष्टता, विद्युत गुणधर्म आणि गंज प्रतिरोधात उत्कृष्ट कामगिरी आहे आणि व्हॅक्यूम आणि उच्च तापमानासारख्या विशेष वातावरणात सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगच्या जटिल कामगिरीची आवश्यकता पूर्ण करू शकते. सेमीकंडक्टर उपकरणांचे प्रगत सिरेमिक मटेरियल घटक प्रामुख्याने चेंबरमध्ये वापरले जातात आणि त्यातील काही वेफरशी थेट संपर्कात असतात. ते एकात्मिक सर्किट मॅन्युफॅक्चरिंगमधील मुख्य अचूक घटक आहेत आणि पाच श्रेणींमध्ये विभागले जाऊ शकतात: कुंडलाकार सिलेंडर्स, एअरफ्लो मार्गदर्शक, लोड-बेअरिंग आणि निश्चित प्रकार, ग्रिपर गॅस्केट आणि मॉड्यूल. हा लेख प्रामुख्याने पहिल्या श्रेणीबद्दल बोलतो: कुंडलाकार सिलेंडर्स.

रिंग्ज आणि सिलेंडर्स

1. मोइर रिंग्ज: प्रामुख्याने पातळ फिल्म जमा उपकरणांमध्ये वापरला जातो. प्रक्रिया चेंबरमध्ये स्थित, ते वेफरच्या थेट संपर्कात येतात, गॅस मार्गदर्शन, इन्सुलेशन आणि गंज प्रतिकार वाढवितात.

2. गार्ड रिंग्ज: मुख्यतः पातळ फिल्म जमा उपकरणे आणि एचरमध्ये वापरली जाते. प्रक्रिया चेंबरमध्ये स्थित, ते इलेक्ट्रोस्टेटिक चक आणि सिरेमिक हीटर सारख्या की मॉड्यूल घटकांचे संरक्षण करतात.

. प्रक्रिया चेंबरमध्ये स्थित, ते स्थिर करतात आणि प्लाझ्मा सुटण्यापासून प्रतिबंधित करतात.

4. फोकसिंग रिंग्ज: प्रामुख्याने पातळ फिल्म जमा उपकरणे, एचर आणि आयन रोपण उपकरणांमध्ये वापरली जाते. प्रक्रिया चेंबरमध्ये स्थित, ते चेंबरमध्ये प्लाझ्मावर लक्ष केंद्रित करून वेफरपासून 20 मिमीपेक्षा कमी आहेत.

5. संरक्षणात्मक कव्हर्स: मुख्यतः पातळ फिल्म जमा उपकरणे आणि एचरमध्ये वापरली जाते. प्रक्रिया चेंबरमध्ये स्थित, ते प्रक्रिया अवशेष सील आणि शोषून घेतात.

6. ग्राउंडिंग रिंग्ज: मुख्यतः पातळ फिल्म जमा उपकरणे आणि एचरमध्ये वापरली जाते. चेंबरच्या बाहेर स्थित, ते घटक सुरक्षित आणि समर्थन देतात.

7. लाइनर: प्रामुख्याने प्रोसेस चेंबरमध्ये असलेल्या इचर्समध्ये वापरलेले, ते गॅस मार्गदर्शन वाढवते आणि अधिक एकसमान चित्रपटाची निर्मिती सुनिश्चित करते.

8. इन्सुलेशन सिलिंडर: प्रामुख्याने पातळ फिल्म जमा उपकरणे, एचर्स आणि आयन इम्प्लॅन्टर्समध्ये वापरली जाते, हे प्रक्रिया चेंबरमध्ये स्थित आहे आणि उपकरणांच्या तापमान नियंत्रण कामगिरीमध्ये सुधारणा करते.

9. थर्माकोपल प्रोटेक्शन ट्यूब: प्रामुख्याने विविध सेमीकंडक्टर फ्रंट-एंड उपकरणांमध्ये वापरले जाते, ते चेंबरच्या बाहेर स्थित आहे आणि तुलनेने स्थिर तापमान आणि रासायनिक वातावरणात थर्माकोपल्सचे संरक्षण करते.

सेमीकोरेक्स उच्च-गुणवत्तेची ऑफर देतेसिरेमिक उत्पादनेअर्धसंवाहक मध्ये. आपल्याकडे काही चौकशी असल्यास किंवा अतिरिक्त तपशीलांची आवश्यकता असल्यास, कृपया आमच्याशी संपर्क साधण्यास अजिबात संकोच करू नका.

फोन # +86-13567891907 वर संपर्क साधा

ईमेल: sales@semicorex.com