सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोट

वेफर मॅन्युफॅक्चरिंगमधील प्रत्येक उच्च-तापमान प्रक्रियेच्या मागे एक मूक परंतु महत्त्वपूर्ण खेळाडू आहे: वेफर बोट. वेफर प्रक्रियेदरम्यान सिलिकॉन वेफरशी थेट संपर्क साधणारा कोर कॅरियर म्हणून, त्याची सामग्री, स्थिरता आणि स्वच्छता थेट अंतिम चिप उत्पन्न आणि प्रक्रियेच्या स्थिरतेशी संबंधित आहे. विविध वाहक सामग्रीपैकी,सिलिकॉन कार्बाइड (एसआयसी)बोटी हळूहळू पारंपारिक क्वार्ट्ज सोल्यूशन्सची जागा घेत आहेत, प्रगत प्रक्रिया आणि उच्च-अंत उपकरणांसाठी पसंतीचे समाधान बनतात.

सिक वेफर बोटी का?

7nm च्या खाली प्रक्रिया नोड्सच्या प्रगतीमुळे आणि उच्च-तापमान प्रक्रियेच्या विंडोच्या विस्तारासह, पारंपारिक क्वार्ट्ज वेफर बोट्स थर्मल स्थिरता, कण नियंत्रण आणि आयुष्यमान व्यवस्थापनाच्या दृष्टीने वाढत्या प्रमाणात संघर्ष करीत आहेत.

सिलिकॉन कार्बाईड वेफर बोटी, तथापि, खालील फायद्यांमुळे हळूहळू महत्त्व मिळवित आहेत:

1. उच्च तापमानात स्टेबलः

ते 1350-1600 डिग्री सेल्सियस दीर्घकालीन ऑपरेटिंग तापमान ऑफर करतात, सीव्हीडी, प्रसार आणि ne नीलिंग सारख्या मुख्य प्रवाहातील प्रक्रिया सहजपणे हाताळतात. 1800 डिग्री सेल्सिअस तापमानात थोडक्यात एक्सपोजर देखील मऊ किंवा विकृती दर्शवित नाही, ज्यामुळे त्यांना सिंगल क्रिस्टल सिलिकॉन कार्बाइड फर्नेसेस सारख्या उच्च-अंत उपकरणांसाठी योग्य बनते.

2. कमी विस्तार आणि उच्च थर्मल शॉक स्थिरता:

थर्मल विस्ताराच्या कमी गुणांकांसह, ते थर्मल तणावामुळे उद्भवणार्‍या स्ट्रक्चरल क्रॅकिंग कमीतकमी वेगवान तापमानात वाढ आणि कमी होण्यास प्रतिकार करू शकतात. ते उच्च-तापमान, जटिल वातावरणात (जसे की हायड्रोजन, नायट्रोजन, अमोनिया आणि फ्लोराईड्स) उत्कृष्ट मॉर्फोलॉजी आणि कामगिरी राखतात.

3. क्लीन पृष्ठभाग आणि अत्यंत कमी दूषित होणे:

कमीतकमी धातूच्या अशुद्धीसह उच्च सामग्रीची शुद्धता. कमी पृष्ठभागावरील उग्रपणा, सिलिकॉन वेफर्सच्या दुय्यम दूषिततेस प्रतिबंधित करणे; 0.1μm च्या खाली आरएसह उत्कृष्ट पृष्ठभागावरील उग्रपणा नियंत्रण, कण शेडिंग दडपते आणि प्रगत प्रक्रियेच्या क्लीनरूम आवश्यकता पूर्ण करते;

4. एक-तुकडा मोल्डिंग, सुस्पष्टता-मशीन्ड वेफर बोट स्ट्रक्चर्स थेट मोल्डलेसद्वारे तयार केल्या जाऊ शकतात3 डी प्रिंटिंग, मोल्डची आवश्यकता दूर करणे, सानुकूलन कार्यक्षमतेत लक्षणीय सुधारणा करणे; पाच-अक्ष मशीनिंग आणि वायर-कटिंग तंत्रज्ञानासह एकत्रित, बोटीचे दात बुर मुक्त आहेत, जे वेफर्सवर स्क्रॅच प्रतिबंधित करतात आणि गुळगुळीत स्वयंचलित हाताळणी सुनिश्चित करतात;

5. उच्च सामर्थ्य आणि दीर्घ आयुष्य: 

एकच बोट उच्च लोड-बेअरिंग सामर्थ्याने अभिमान बाळगते आणि एकाच वेळी डझनभर ते शेकडो 12 इंच वेफर्सना समर्थन देऊ शकते. पारंपारिक क्वार्ट्ज बोटींच्या तुलनेत, बोटीचे सरासरी आयुष्य 5-10 पट जास्त असते, ज्यामुळे उपकरणे बदलण्याची वारंवारता आणि मालकीची एकूण किंमत कमी होते.

अनुप्रयोग परिदृश्य

ची विस्तृत अनुकूलतासिलिकॉन कार्बाईड वेफर बोटीनवीन ऊर्जा साहित्य, एलईडी मॅन्युफॅक्चरिंग आणि अणुऊर्जा संशोधनासह विविध उच्च-तापमान प्रक्रियेच्या परिस्थितीपर्यंत अर्धसंवाहक क्षेत्राच्या पलीकडे त्यांचा अनुप्रयोग वाढवितो.

सेमीकंडक्टर उद्योग

हे ऑक्सिडेशन, डिफ्यूजन, सीव्हीडी जमा आणि आयन रोपण यासारख्या मुख्य प्रक्रियेसाठी योग्य आहे, ज्यामुळे ते उप -7 एनएम प्रक्रियेच्या ओळींसाठी एक अपरिहार्य उच्च-तापमान वाहक आहे.

फोटोव्होल्टिक उद्योग

टॉपकॉन आणि एचजेटी सारख्या उदयोन्मुख बॅटरी तंत्रज्ञानामध्ये, वेफर बोटींचा वापर एलपीसीव्हीडी आणि ne नीलिंग सारख्या उच्च-तापमान भट्टी प्रक्रियेत केला जातो, ज्यामुळे ऊर्जा कार्यक्षमता आणि रूपांतरण दर सुधारण्यास मदत होते.

तृतीय-पिढीतील सेमीकंडक्टर

एलईडी मधील जीएएन आणि एसआयसी एपिटॅक्सियल ग्रोथ प्रक्रियेसाठी ते नीलम किंवा सिलिकॉन कार्बाइड सबस्ट्रेट्सचे समर्थन करतात. ते उच्च-वारंवारता उर्जा उपकरणांच्या निर्मितीस समर्थन देणार्‍या एनएचए आणि एचसीएल सारख्या संक्षारक वायूंचा प्रतिकार करतात.

नवीन ऊर्जा साहित्य आणि संशोधन उच्च-तापमान व्यासपीठ

लिथियम बॅटरी कॅथोड मटेरियलच्या सिंटरिंग प्रतिक्रियेचे आणि अणु उद्योग सामग्रीच्या उष्णतेचा प्रतिकार, गंज प्रतिरोध आणि स्वच्छता एकत्रित करते.

सेमीकोरेक्स उच्च-शुद्धता प्रदान करतेसानुकूलित sic वेफर बोटी? आपल्याकडे काही चौकशी असल्यास किंवा अतिरिक्त तपशीलांची आवश्यकता असल्यास, कृपया आमच्याशी संपर्क साधण्यास अजिबात संकोच करू नका.

फोन # +86-13567891907 वर संपर्क साधा

ईमेल: sales@semicorex.com