CVD भट्टी चर्चा

ए म्हणजे कायCVD भट्टी?

CVD (रासायनिक वाष्प निक्षेपण) भट्टी ही एक प्रकारची भट्टी आहे ज्याचा उपयोग अर्धसंवाहक उद्योगात विविध पदार्थांच्या पातळ फिल्म्स सब्सट्रेटवर ठेवण्यासाठी केला जातो. प्रक्रिया व्हॅक्यूम किंवा कमी-दाब वातावरणात केली जाते, प्रतिक्रियाशील वायूचा वापर करून जो सब्सट्रेट सामग्रीसह इच्छित पातळ फिल्म तयार करतो. मायक्रोचिप, सोलर सेल आणि इतर इलेक्ट्रॉनिक उपकरणे तयार करण्यासाठी CVD फर्नेस हे एक महत्त्वाचे साधन आहे.

सीव्हीडी भट्टी कशी कार्य करते?

CVD भट्टीचेंबरमध्ये कमी-दाब वातावरण तयार करून आणि चेंबरमध्ये प्रतिक्रियाशील वायूचा परिचय करून कार्य करते. वायू सब्सट्रेट सामग्रीवर प्रतिक्रिया देतो आणि सब्सट्रेटच्या पृष्ठभागावर एक पातळ फिल्म तयार करतो. ही प्रक्रिया उच्च तापमानात केली जाते, विशेषत: 500°C ते 1200°C दरम्यान, जमा केल्या जाणार्‍या सामग्रीच्या प्रकारानुसार.

सब्सट्रेट सामग्री भट्टीच्या चेंबरच्या आत ठेवली जाते आणि चेंबर सील केले जाते. प्रतिक्रियाशील वायू नंतर चेंबरमध्ये आणला जातो आणि उच्च तापमानाला गरम केला जातो. गॅस रेणू सब्सट्रेट सामग्रीसह प्रतिक्रिया देतात आणि परिणामी उत्पादन थरच्या पृष्ठभागावर एक पातळ फिल्म बनवते.

सीव्हीडी फर्नेसचे अनुप्रयोग काय आहेत?

CVD भट्टीसेमीकंडक्टर उद्योगात अनुप्रयोगांची विस्तृत श्रेणी आहे, यासह:

1. मायक्रोचिप फॅब्रिकेशनमध्ये वापरल्या जाणार्‍या सिलिकॉन डायऑक्साइड, सिलिकॉन नायट्राइड आणि इतर डायलेक्ट्रिक मटेरियलचे संचय.

2. मायक्रोचिपच्या उत्पादनात वापरल्या जाणार्‍या पॉलिसिलिकॉन आणि इतर प्रवाहकीय पदार्थांचे संचय.

3.मायक्रोचिपच्या विविध स्तरांमध्‍ये एकमेकांशी जोडण्‍यात वापरण्‍यात आलेल्‍या अॅल्युमिनियम आणि तांबे यांसारख्या मेटल फिल्म्सचे डिपॉझिशन.

4. सौर पेशींच्या निर्मितीसाठी पातळ फिल्म्स जमा करणे.

5. पोशाख-प्रतिरोधक भाग आणि साधनांच्या उत्पादनासाठी कोटिंग्जचे डिपॉझिशन.

अनुमान मध्ये,CVD भट्टीसेमीकंडक्टर उद्योगासाठी हे एक महत्त्वाचे साधन आहे, जे मायक्रोचिप, सौर पेशी आणि इतर इलेक्ट्रॉनिक उपकरणांचे उत्पादन सक्षम करते. हे चेंबरमध्ये कमी-दाबाचे वातावरण तयार करून आणि एक पातळ फिल्म तयार करण्यासाठी सब्सट्रेट सामग्रीवर प्रतिक्रिया देणारा प्रतिक्रियाशील वायू सादर करून कार्य करते. त्याचे ऍप्लिकेशन्स विशाल आणि वैविध्यपूर्ण आहेत, ज्यामुळे ते आधुनिक तंत्रज्ञानासाठी एक महत्त्वपूर्ण साधन बनले आहे.