SiC-कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टर्स का निवडावे?

ग्रेफाइट ससेप्टरMOCVD उपकरणातील आवश्यक भागांपैकी एक आहे, वेफर सब्सट्रेटचा वाहक आणि हीटर आहे. थर्मल स्थिरता आणि थर्मल एकरूपतेचे गुणधर्म वेफर एपिटॅक्सियल वाढीच्या गुणवत्तेत निर्णायक भूमिका बजावतात, जे थेट स्तर सामग्रीची एकसमानता आणि शुद्धता निर्धारित करते, परिणामी त्याची गुणवत्ता थेट एपिटॅक्सीच्या तयारीवर परिणाम करते. दरम्यानच्या काळात, वापराच्या संख्येत वाढ आणि कामकाजाच्या परिस्थितीत बदल झाल्यामुळे, ते गमावणे खूप सोपे आहे आणि ते उपभोग्य वस्तूंचे आहे. ग्रेफाइटची उत्कृष्ट थर्मल चालकता आणि स्थिरता यामुळे त्याचा चांगला फायदा होतोMOCVD उपकरणांसाठी आधारभूत घटक. मात्र, केवळ शुद्ध ग्रेफाइट वापरल्यास काही समस्यांना सामोरे जावे लागेल. उत्पादन प्रक्रियेत संक्षारक वायू आणि धातूचे सेंद्रिय अवशेष असतील आणि ग्रेफाइट बेस गंजून पावडर टाकेल, ज्यामुळे वायूचे सेवा आयुष्य मोठ्या प्रमाणात कमी होते.ग्रेफाइट संवेदक, आणि खाली पडलेल्या ग्रेफाइट पावडरमुळे चिपचे प्रदूषण देखील होईल, त्यामुळे बेस तयार करण्याच्या प्रक्रियेत देखील बेस तयार करताना या समस्यांचे निराकरण करणे आवश्यक आहे. कोटिंग तंत्रज्ञान पृष्ठभागाच्या पावडरचे निर्धारण प्रदान करू शकते, थर्मल चालकता वाढवू शकते आणि थर्मल वितरण समान करू शकते, जे या समस्येचे निराकरण करण्यासाठी मुख्य तंत्रज्ञान बनते. या समस्येचे निराकरण करण्यासाठी मुख्य तंत्रज्ञान आहे. च्या अनुप्रयोग वातावरण आणि आवश्यकतांनुसारग्रेफाइट ससेप्टर्स, पृष्ठभागाच्या कोटिंगमध्ये खालील वैशिष्ट्ये असावीत.

उच्च घनता आणि पूर्ण रॅपिंग: संपूर्णपणे ग्रेफाइट बेस उच्च तापमानात, संक्षारक कार्य वातावरणात आहे, पृष्ठभाग पूर्णपणे गुंडाळलेला असणे आवश्यक आहे, तर कोटिंगमध्ये चांगली संरक्षणात्मक भूमिका निभावण्यासाठी चांगली घनता असणे आवश्यक आहे.

पृष्ठभागाची चांगली सपाटता: सिंगल क्रिस्टलच्या वाढीसाठी वापरल्या जाणार्‍या ग्रेफाइट बेसला पृष्ठभागाची खूप जास्त सपाटता आवश्यक असते, कोटिंग तयार झाल्यानंतर बेसचा मूळ सपाटपणा राखला गेला पाहिजे, म्हणजे कोटिंग पृष्ठभाग एकसमान असणे आवश्यक आहे.

चांगली बाँडिंग स्ट्रेंथ: ग्रेफाइट बेस आणि कोटिंग मटेरियलमधील थर्मल एक्सपेन्शन गुणांकातील फरक कमी केल्याने त्यांच्यामधील बाँडिंगची ताकद प्रभावीपणे सुधारू शकते आणि उच्च आणि कमी तापमानाच्या थर्मल चक्रानंतर कोटिंगला तडे जाणे सोपे नाही.

उच्च थर्मल चालकता: उच्च गुणवत्तेच्या चिप वाढीसाठी ग्रेफाइट बेसपासून जलद आणि एकसमान उष्णता आवश्यक आहे, म्हणून कोटिंग सामग्रीमध्ये उच्च थर्मल चालकता असावी.

उच्च वितळण्याचा बिंदू, उच्च तापमान ऑक्सिडेशन आणि गंज प्रतिरोधक: कोटिंग उच्च तापमान आणि गंजलेल्या कार्य वातावरणात स्थिरपणे कार्य करण्यास सक्षम असावे.