2023-06-19
सिलिकॉन-ऑन-इन्सुलेटर (SOI) हे नॅनोटेक्नॉलॉजीच्या युगात विद्यमान मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन सामग्री बदलण्यासाठी उपायांपैकी एक म्हणून ओळखले जाते आणि मूरच्या कायद्याचा ट्रेंड राखण्यासाठी हे एक प्रमुख साधन आहे. सिलिकॉन-ऑन-इन्सुलेटर, एक सब्सट्रेट तंत्रज्ञान जे पारंपारिक बल्क सब्सट्रेट सिलिकॉनला "इंजिनिअर्ड" सब्सट्रेटसह बदलते, 30 वर्षांहून अधिक काळ लष्करी आणि अंतराळ इलेक्ट्रॉनिक्स प्रणालींसारख्या विशिष्ट अनुप्रयोगांमध्ये वापरले जात आहे, जेथे SOI ला त्याच्या उत्कृष्टतेमुळे अद्वितीय फायदे आहेत. रेडिएशन प्रतिरोध आणि उच्च-गती वैशिष्ट्ये.
SOI साहित्य हा SOI तंत्रज्ञानाच्या विकासाचा पाया आहे आणि SOI तंत्रज्ञानाचा विकास SOI सामग्रीच्या सतत प्रगतीवर अवलंबून आहे. कमी किमतीच्या, उच्च-गुणवत्तेच्या SOI साहित्याचा अभाव ही मोठ्या प्रमाणावर औद्योगिक उत्पादनात प्रवेश करण्यासाठी SOI तंत्रज्ञानाची प्राथमिक अडचण आहे. अलिकडच्या वर्षांत, SOI मटेरियल तयार करण्याच्या तंत्रज्ञानाच्या परिपक्वतेसह, SOI तंत्रज्ञानाच्या विकासास प्रतिबंध करणारी सामग्री समस्या हळूहळू सोडवली जात आहे, ज्यामध्ये शेवटी दोन प्रकारचे SOI साहित्य तयार करण्याचे तंत्रज्ञान समाविष्ट आहे, म्हणजे, Speration-by-oxygen implantation (SIMOX) आणि बाँडिंग तंत्रज्ञान. बाँडिंग तंत्रज्ञानामध्ये पारंपारिक बाँड आणि इच बॅक (बीईएसओआय) तंत्रज्ञान आणि स्मार्ट-कट तंत्रज्ञानाचा समावेश आहे ज्यामध्ये हायड्रोजन आयन इंजेक्शन आणि बाँडिंग यांचा समावेश आहे. 2005 मध्ये डॉ. मेंग चेन यांनी प्रस्तावित केलेले ऑक्सिजन पृथक्करण आणि बाँडिंग. नवीन तंत्रज्ञान ऑक्सिजन इंजेक्शन अलगाव आणि बाँडिंग एकत्र करते.