हाय-एंड इलेक्ट्रोस्टॅटिक चकसाठी पृष्ठभाग उपचार

दइलेक्ट्रोस्टॅटिक चकसेमीकंडक्टर उत्पादन क्षेत्रात एकसमान इलेक्ट्रोस्टॅटिक डिस्चार्ज, उष्णता वाहक आणि वेफर शोषण आणि फिक्सेशन यांसारखी अनेक कार्ये करते. उच्च व्हॅक्यूम, मजबूत प्लाझ्मा आणि विस्तृत तापमान श्रेणी यासारख्या अत्यंत ऑपरेटिंग परिस्थितीत वेफर्स स्थिरपणे शोषून घेणे हे ESC चे मुख्य कार्य आहे.

त्यांची कार्यप्रदर्शन बाह्य रचना किंवा मूलभूत सामग्रीचे सूत्र नसून पृष्ठभागावरील उपचार प्रक्रिया आहे. व्यावसायिक पृष्ठभाग उपचाराशिवाय, ऑपरेशन दरम्यान खालील समस्यांना सामोरे जावे लागेल:

1. प्लाझ्मा इरोशन आणि मेटल आयन दूषित होणे

असुरक्षित सिरॅमिक पृष्ठभाग हे एचिंग किंवा CVD प्रक्रियेच्या सेटिंग्जमध्ये प्लाझ्मा इरोशनसाठी असुरक्षित असतात. या प्रकारच्या इरोशनचा परिणाम थेट मेटल आयन सोडण्यात किंवा सिरॅमिक कणांच्या शेडिंगमध्ये होऊ शकतो, ज्यामुळे वेफर दूषित होते.

2. असमान थर्मल चालकता आणि warpage विकृती

खडबडीत पृष्ठभाग किंवा खराब उपचारांमुळे वेफर आणि द मध्ये असमान संपर्क होतोESC, उष्णता वाहक अडथळा आणते आणि सीडी एकरूपता प्रभावित करते.

3. अस्थिर इलेक्ट्रोस्टॅटिक शोषण

इलेक्ट्रोस्टॅटिक चकच्या पृष्ठभागाच्या इन्सुलेशन कार्यक्षमतेचे किंवा चालकतेचे चुकीचे नियंत्रण सहजपणे अपुरे शोषण बल किंवा जास्त शोषण होऊ शकते, शेवटी थेट वेफर प्रक्रियेच्या उत्पन्नावर परिणाम करते.

हाय-एंड ESCs ची पृष्ठभाग बहुतेक वेळा संमिश्र मल्टी-लेयर स्ट्रक्चर डिझाइनचा अवलंब करते, खरे उच्च-कार्यक्षमता एकीकरण साध्य करण्यासाठी कोटिंग्सद्वारे कार्यात्मक क्षेत्रांचे अचूकपणे नियमन करते.

हाय-एंड ESC चे सामान्य पृष्ठभाग उपचार तंत्रज्ञान:

1.फ्लोरोपॉलिमर नॉन-ॲडेसिव्ह कोटिंग्ज (जसे की PTFE आणि PFA)

अशा प्रकारचे कोटिंग विशेषतः कमी-तापमान प्रक्रियेच्या वातावरणासाठी योग्य आहे कारण त्याच्या कमी पृष्ठभागावर मुक्त ऊर्जा आहे, ज्यामुळे फोटोरेसिस्ट अवशेषांचे शोषण प्रभावीपणे प्रतिबंधित होते.

2. डायमंड-लाइक कार्बन (DLC) कोटिंग्ज

उच्च कडकपणा, प्लाझ्मा प्रतिरोधकता आणि कमी घर्षण गुणांक सह, ते कोरीव उपकरणांमध्ये अँटी-इरोशन आणि अँटी-पार्टिकल डिटेचमेंट ऍप्लिकेशनसाठी योग्य आहेत.

3. PVD प्रवाहकीय सिरेमिक फिल्म (जसे की CrSiN आणि TiN)

या प्रकारचे कोटिंग विशिष्ट क्षेत्रात स्थिर प्रवाहकीय मार्ग तयार करू शकते आणि त्याद्वारे पृष्ठभागावरील शुल्काच्या एकसमान विसर्जनावर तंतोतंत नियंत्रण करून स्थानिक चार्ज जमा होण्याची समस्या प्रभावीपणे टाळता येते.

4. संमिश्र थर्मल प्रवाहकीय कोटिंग्ज (जसे की डायमंड पावडर आणि फ्लोरोपॉलिमर हायब्रिड कोटिंग)

या प्रकारचे कोटिंग थर्मल चालकतेसह चिकट नसलेले गुण एकत्र करते आणि त्याची एकूण कार्यक्षमता उच्च-परिशुद्धता थर्मल कंट्रोल ESC च्या अनुप्रयोग आवश्यकतांशी अचूकपणे जुळू शकते.