फोकस रिंग्सचे कार्य काय आहे?

सेमीकंडक्टर एचिंग प्रक्रियेची एकसमानता आणि स्थिरता सुनिश्चित करण्यासाठी फोकस रिंग हे आवश्यक घटक आहेत. इलेक्ट्रिक आणि थर्मल फील्डच्या अचूक नियंत्रणाद्वारे, फोकस रिंग्स वेफरच्या पृष्ठभागावर प्लाझ्मा केंद्रित करू शकतात, ज्यामुळे वेफरवरील सर्व ठिकाणी सातत्यपूर्ण कोरीव परिणाम मिळतील.

फोकस रिंग्सची कार्ये

1. नक्षीकाम एकरूपता सुधारा

एचिंग प्रक्रियेत, फोकस रिंग प्लाझ्मा वर केंद्रित करू शकतातवेफरपृष्ठभाग, जे प्रभावीपणे एकसमान प्लाझ्मा घनता, आयन बॉम्बर्डमेंट अँगल आणि वेफर एज आणि मध्यभागी दोन्ही क्षेत्रांमध्ये ऊर्जा पातळीची हमी देते. ते वेफर एजवर इलेक्ट्रिक फील्ड डिस्ट्रिब्युशन दुरुस्त करतात, एज इफेक्ट्समुळे एचिंग रेट, गंभीर परिमाण आणि मॉर्फोलॉजी व्हेरिएशन कमी करतात, अशा प्रकारे संपूर्ण वेफर पृष्ठभागावर नक्षीकाम सुसंगतता सुनिश्चित करते. जर फोकसिंग रिंग जास्त प्रमाणात घातली गेली असेल किंवा फोकल रिंग नसेल, तर प्लाझ्मा वेफर एजपासून पसरेल, ज्यामुळे शेवटी काठ आणि मध्यभागी असलेल्या रेषेच्या रुंदीमध्ये गैर-अनुरूप विचलन निर्माण होईल.

2. इलेक्ट्रोस्टॅटिक चक संरक्षित करा

फोकस रिंग सहसा इलेक्ट्रोस्टॅटिक चक्सच्या वेफर कॅरियर पृष्ठभागाच्या बाहेर स्थापित केल्या जातात, ज्या थेट प्लाझ्मा बॉम्बर्डमेंट आणि गंजच्या संपर्कात असतात. एचिंग प्रक्रियेदरम्यान प्लाझमाला इलेक्ट्रोस्टॅटिक चकशी संपर्क साधण्यापासून रोखण्यासाठी हा हप्ता सेटअप भौतिक अडथळा म्हणून सेवा देतो, ज्यामुळे प्लाझ्मा नुकसान होण्याचा धोका लक्षणीयरीत्या कमी होतो. फोकस रिंग्स एचिंग प्रक्रियेदरम्यान निर्माण होणाऱ्या उपउत्पादनांना इलेक्ट्रोस्टॅटिक चक्सला चिकटून राहण्यापासून प्रतिबंधित करू शकतात, त्यामुळे चक दूषित होणे आणि क्लोजिंगमुळे होणारे कार्यप्रदर्शन कमी होणे टाळले जाते. हे इलेक्ट्रोस्टॅटिक चक्सचे देखभाल चक्र आणि आयुर्मान मोठ्या प्रमाणात वाढवते, उपकरणांची देखभाल आणि बदली खर्च कमी करते.

फोकस रिंग सामान्यतः उच्च-शुद्धतेपासून बनविल्या जातातक्वार्ट्ज, सिलिकॉनआणिसिलिकॉन कार्बाइडसाहित्य त्यांच्या उत्कृष्ट सर्वसमावेशक कामगिरीबद्दल धन्यवाद, सिलिकॉन कार्बाइड सामग्री हळूहळू अत्याधुनिक कोरीव कामासाठी मुख्य प्रवाहातील पर्याय बनते. चीनमध्ये विश्वासार्ह सेमीकंडक्टर फोकस रिंग पुरवठादार म्हणून, सेमिकोरेक्स उच्च-गुणवत्तेची ऑफर देतेसिलिकॉन कार्बाइड फोकस रिंगनक्षीकाम उपकरणांच्या विविध आवश्यकतांशी जुळण्यासाठी विविध आकारांचे. Semicorex कधीही तुमच्या चौकशीचे आणि खरेदीचे स्वागत करते.