विविध प्रकारच्या अणुभट्ट्यांमधील संरचनात्मक फरक

रिॲक्शन चेंबर कॉन्फिगरेशनच्या आधारे, उष्णता उपचार उपकरणे (फर्नेस ट्यूब उपकरणे) मुख्यतः तीन श्रेणींमध्ये विभागली जातात: उभ्या भट्टीच्या नळ्या, आडव्या भट्टीच्या नळ्या आणि रॅपिड थर्मल प्रोसेसिंग (RTP) भट्टी.

उभ्या भट्टीच्या नळ्यांमध्ये उभ्या व्यवस्थित क्वार्ट्ज नळ्या असतात, ज्यामध्ये गरम करण्यासाठी नळ्याभोवती वेफर्स ठेवलेले असतात. त्यांचे मुख्य फायदे एकसमान तापमान वितरण, अचूक वातावरण नियंत्रण, उच्च ऑटोमेशन, कमी कण दूषित होणे, लहान फूटप्रिंट आणि बॅच प्रक्रियेसाठी समर्थन (विशेषत: 12-इंच वेफर्ससाठी योग्य), त्यांना सध्या उपलब्ध मुख्य प्रवाहातील उपकरणे बनवतात. 2024 मध्ये जागतिक बाजारपेठेचा आकार $3.2 अब्ज (SEMI डेटा) वर पोहोचला. त्यांच्या तोट्यांमध्ये सहज वायू-द्रव वेगळे करणे, आणि माध्यमाचा खालचा प्रवाह संभाव्यत: भट्टीची नळी जळून जाणे यांचा समावेश होतो.

क्षैतिज भट्टीच्या नळ्यांमध्ये क्षैतिजरित्या क्वार्ट्ज ट्यूब्स ठेवल्या जातात, एका वेळी 100-200 वेफर्सवर प्रक्रिया करतात. त्यांच्या फायद्यांमध्ये फर्नेस ट्यूबमध्ये एकसमान वायू-द्रव प्रवाह आणि अधिक अचूक तापमान नियंत्रण समाविष्ट आहे. त्यांच्या तोट्यांमध्ये मोठ्या पदचिन्हांचा आणि उच्च मिश्र धातुच्या स्टीलच्या इंटरमीडिएट ट्यूब सपोर्टचा जास्त वापर यांचा समावेश होतो. संरचनात्मकदृष्ट्या, क्षैतिज भट्टीच्या नळ्या प्रक्रियेसाठी आडव्या नळ्यांमध्ये वेफर्स उभ्या ठेवतात.

रॅपिड थर्मल ॲनिलिंग (RTP) फर्नेस एकल वेफर्स वेगाने गरम करण्यासाठी हॅलोजन इन्फ्रारेड दिवे वापरतात, जलद हीटिंग आणि कूलिंग दर देतात जे चेंबरचे तापमान न बदलता फक्त वेफरचे तापमान बदलतात. ते लहान-बॅच रॅपिड एनीलिंगसाठी योग्य आहेत परंतु मोठ्या प्रमाणात उत्पादनासाठी नाहीत.

वेफर प्रक्रियेमध्ये, क्षैतिज भट्टीच्या नळ्या क्वार्ट्ज बोटवर वेफर ठेवतात, जे सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) सपोर्ट फ्रेमवर टिकून राहतात. त्यानंतर सपोर्ट फ्रेम क्वार्ट्ज फर्नेस ट्यूबमध्ये ढकलली जाते, जिथे वेफरची प्रतिक्रिया स्थिर-तापमान झोनमध्ये होते. उभ्या भट्टीच्या नळ्या, दुसरीकडे, वेफर क्वार्ट्ज टॉवरवर ठेवतात आणि प्रक्रियेसाठी क्वार्ट्ज फर्नेस ट्यूबमध्ये हळूहळू वाढवतात. प्रतिक्रियेनंतर, वाकणे किंवा तुटणे टाळण्यासाठी वेफर हळूहळू कमी केले जाते.

Semicorex सानुकूलित उच्च-गुणवत्तेचा पुरवठाक्वार्ट्ज भट्टी अणुभट्टी. आमची उत्पादने उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता, विस्तारित सेवा आयुष्य आणि अपवादात्मक प्रक्रिया सुसंगतता प्रदान करण्यासाठी इंजिनिअर केलेली आहेत. सानुकूलित उपाय किंवा अतिरिक्त तांत्रिक माहितीसाठी, कृपया आमच्या अभियांत्रिकी कार्यसंघाशी संपर्क साधा.

फोन: +८६-१३५६७८९१९०७

ईमेल: sales@semicorex.com