टीएसी कोटिंग

TaC सिरॅमिक्सचा वितळण्याचा बिंदू 3880°C, उच्च कडकपणा (Mohs कठोरता 9-10), मोठी थर्मल चालकता (22W·m) आहे^-1· के⁻¹), मोठे लवचिक सामर्थ्य (340-400MPa), आणि थर्मल विस्ताराचे लहान गुणांक (6.6×10^-6K-1), आणि उत्कृष्ट थर्मोकेमिकल स्थिरता आणि उत्कृष्ट भौतिक गुणधर्म प्रदर्शित करतात, त्यामुळे एरोस्पेस थर्मल प्रोटेक्शनमध्ये TaC कोटिंग्स मोठ्या प्रमाणावर वापरले जातात आणि ग्रेफाइट आणि C/C कंपोझिटमध्ये चांगली रासायनिक सुसंगतता आणि यांत्रिक सुसंगतता असते. ), आणि उत्कृष्ट थर्मोकेमिकल स्थिरता आणि उत्कृष्ट भौतिक गुणधर्म दर्शवितात, आणि ग्रेफाइट आणि C/C संमिश्रांमध्ये चांगली रासायनिक सुसंगतता आणि यांत्रिक सुसंगतता आहे, म्हणून TaC कोटिंग्स एरोस्पेस थर्मल संरक्षण, सिंगल क्रिस्टल ग्रोथ, ऊर्जा आणि इलेक्ट्रॉनिक्स आणि वैद्यकीय उपकरणांमध्ये मोठ्या प्रमाणावर वापरले जातात, इ. TaC-कोटेड ग्रेफाइटमध्ये बेअर ग्रेफाइट किंवा SiC-कोटेड ग्रेफाइटपेक्षा अधिक चांगला रासायनिक प्रतिकार असतो आणि 2600° उच्च तापमानात स्थिरपणे वापरला जाऊ शकतो. 2600 ° उच्च तापमान स्थिरता, आणि अनेक धातू घटक प्रतिक्रिया देत नाहीत, सेमीकंडक्टर सिंगल क्रिस्टल वाढीची तिसरी पिढी आहे आणि कोटिंगच्या उत्कृष्ट कामगिरीमध्ये वेफर एचिंग परिस्थिती, तापमान आणि अशुद्धता नियंत्रण प्रक्रियेत लक्षणीय सुधारणा करू शकते, उच्च तापमानाची तयारी - दर्जेदार सिलिकॉन कार्बाइड वेफर्स आणि संबंधित एपिटॅक्सियल वेफर. हे विशेषतः MOCVD उपकरणांसाठी GaN किंवा AlN सिंगल क्रिस्टल्स आणि PVT उपकरणे SiC सिंगल क्रिस्टल्स वाढवण्यासाठी योग्य आहे आणि वाढलेल्या सिंगल क्रिस्टल्सची गुणवत्ता लक्षणीयरीत्या सुधारली आहे.

संशोधनाच्या निकालांनुसार,TaC कोटिंग ग्रेफाइट घटकांचे आयुष्य वाढवण्यासाठी, रेडियल तापमान एकसमानता सुधारण्यासाठी, SiC सबलिमेशन स्टॉइचियोमेट्री राखण्यासाठी, अशुद्धतेचे स्थलांतर रोखण्यासाठी आणि उर्जेचा वापर कमी करण्यासाठी संरक्षण आणि अलगाव थर म्हणून काम करू शकते. शेवटी एक TaC-कोटेड ग्रेफाइट क्रूसिबल संच SiC PVT प्रक्रिया नियंत्रण आणि उत्पादन गुणवत्ता सुधारेल अशी अपेक्षा आहे.