कॅन्टिलिव्हर पॅडल्स म्हणजे काय?

सेमीकंडक्टर वेफर प्रक्रियेदरम्यान, वेफर्स गरम करण्यासाठी विशेष भट्टीचा वापर केला जातो. या भट्ट्यांमध्ये लांबलचक दंडगोलाकार नळ्या असतात जिथे वेफर्स वेफर बोट्सवर पूर्वनिश्चित आणि समान अंतरावर ठेवल्या जातात. प्रक्रिया उपकरणे वेफर्स वाया घालवू नयेत याची खात्री करण्यासाठी आणि चेंबरमधील प्रक्रियेच्या परिस्थितीला तोंड देण्यासाठी, वेफर बोट्स आणि वेफर प्रक्रियेमध्ये वापरल्या जाणार्‍या इतर उपकरणे सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) सारख्या सामग्रीपासून बनवल्या जातात.

वेफर बोट्स, ज्यावर प्रक्रिया करावयाच्या वेफर्सच्या तुकड्याने भरलेल्या असतात, त्या लांब कॅन्टीलेव्हर्ड पॅडल्सवर ठेवल्या जातात. हे पॅडल ट्यूबलर भट्टी आणि अणुभट्ट्यांमध्ये घातले जाऊ शकतात आणि काढले जाऊ शकतात. पॅडलमध्ये एक चपटा वाहक विभाग असतो ज्यामध्ये एक किंवा अधिक बोटी ठेवता येतात आणि सुलभ हाताळणीसाठी चपटा वाहक विभागाच्या एका टोकाला एक लांब हँडल असते.

सेमीकंडक्टर प्रक्रियेतील सर्वोत्तम घटकांसाठी, CVD SiC पातळ थर असलेल्या रीक्रिस्टॉल केलेल्या सिलिकॉन कार्बाइडपासून बनवलेले कॅन्टिलिव्हर पॅडल वापरण्याची शिफारस केली जाते. ही सामग्री उच्च शुद्धतेची आहे आणि अशा घटकांसाठी सर्वोत्तम पर्याय आहे.

सेमीकोरेक्स उच्च-गुणवत्तेच्या CVD SiC कोटिंगसह सानुकूलित कॅन्टिलिव्हर पॅडल तयार करतात. आपल्याकडे काही चौकशी असल्यास किंवा अतिरिक्त तपशीलांची आवश्यकता असल्यास, कृपया आमच्याशी संपर्क साधण्यास अजिबात संकोच करू नका.

संपर्क फोन # +86-13567891907

ईमेल: sales@semicorex.com