एलपीई उपकरणे

सेमीकंडक्टर उपकरण निर्मितीच्या क्षेत्रात, उच्च-गुणवत्तेची आणि विश्वासार्ह उपकरणे मिळविण्यासाठी क्रिस्टल वाढीचे अचूक नियंत्रण सर्वोपरि आहे. एक तंत्र ज्याने या डोमेनमध्ये महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावली आहे ते म्हणजे लिक्विड-फेज एपिटॅक्सी (एलपीई).

LPE ची मूलभूत तत्त्वे:

एपिटॅक्सी, सर्वसाधारणपणे, समान जाळीच्या संरचनेसह सब्सट्रेटवर क्रिस्टलीय थरच्या वाढीचा संदर्भ देते. एलपीई, एक उल्लेखनीय एपिटेक्सियल तंत्र, ज्यामध्ये वाढवल्या जाणार्‍या सामग्रीच्या सुपरसॅच्युरेटेड द्रावणाचा वापर समाविष्ट आहे. सब्सट्रेट, विशेषत: एकल क्रिस्टलीय, विशिष्ट कालावधीसाठी या द्रावणाच्या संपर्कात आणले जाते. जेव्हा सब्सट्रेटची जाळीची स्थिरांक आणि वाढवायची सामग्री जवळून जुळते तेव्हा स्फटिकाची गुणवत्ता राखून सामग्री सब्सट्रेटवर पडते. या प्रक्रियेमुळे जाळी-जुळणाऱ्या एपिटॅक्सियल लेयरची निर्मिती होते.

एलपीई उपकरणे:

एलपीईसाठी अनेक प्रकारची वाढ उपकरणे विकसित केली गेली आहेत, प्रत्येक विशिष्ट अनुप्रयोगांसाठी अद्वितीय फायदे ऑफर करते:

टिपिंग भट्टी:

सब्सट्रेट क्वार्ट्ज ट्यूबच्या आत ग्रेफाइट बोटीच्या एका टोकाला ठेवलेला असतो.

द्रावण ग्रेफाइट बोटीच्या दुसऱ्या टोकाला स्थित आहे.

बोटीला जोडलेले थर्मोकूपल भट्टीचे तापमान नियंत्रित करते.

प्रणालीद्वारे हायड्रोजन प्रवाह ऑक्सिडेशन प्रतिबंधित करते.

सोल्यूशनला सब्सट्रेटच्या संपर्कात आणण्यासाठी भट्टीला हळूहळू टिपले जाते.

इच्छित तपमानावर पोहोचल्यानंतर आणि एपिटॅक्सियल लेयर वाढल्यानंतर, भट्टीला त्याच्या मूळ स्थितीत परत आणले जाते.

अनुलंब भट्टी:

या कॉन्फिगरेशनमध्ये, सब्सट्रेट सोल्युशनमध्ये बुडविले जाते.

ही पद्धत टिपिंग भट्टीसाठी पर्यायी दृष्टीकोन प्रदान करते, सब्सट्रेट आणि सोल्यूशन दरम्यान आवश्यक संपर्क साधते.

मल्टीबिन फर्नेस:

या यंत्रामध्ये अनेक सोल्युशन्स एकामागोमाग डब्यात ठेवल्या जातात.

थर वेगवेगळ्या सोल्यूशन्सच्या संपर्कात आणला जाऊ शकतो, ज्यामुळे अनेक एपिटॅक्सियल स्तरांची अनुक्रमिक वाढ होऊ शकते.

या प्रकारच्या भट्टीचा वापर लेसर उपकरणांसाठी आवश्यक असलेल्या जटिल संरचना तयार करण्यासाठी मोठ्या प्रमाणावर केला जातो.

एलपीईचे अर्ज:

1963 मध्ये त्याच्या सुरुवातीच्या प्रात्यक्षिकापासून, विविध III-V कंपाऊंड सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या निर्मितीमध्ये LPE यशस्वीरित्या कार्यरत आहे. यामध्ये इंजेक्शन लेसर, प्रकाश-उत्सर्जक डायोड, फोटोडिटेक्टर, सौर पेशी, द्विध्रुवीय ट्रान्झिस्टर आणि फील्ड-इफेक्ट ट्रान्झिस्टर यांचा समावेश आहे. त्याची अष्टपैलुत्व आणि उच्च-गुणवत्तेची, जाळी-जुळणाऱ्या एपिटॅक्सियल लेयर्सची निर्मिती करण्याची क्षमता एलपीईला प्रगत सेमीकंडक्टर तंत्रज्ञानाच्या विकासासाठी आधारशिला बनवते.

लिक्विड-फेज एपिटॅक्सी हे सेमीकंडक्टर डिव्हाइस फॅब्रिकेशनमध्ये आवश्यक चातुर्य आणि अचूकतेचा दाखला आहे. स्फटिक वाढीची तत्त्वे समजून घेऊन आणि LPE उपकरणाच्या क्षमतांचा उपयोग करून, संशोधक आणि अभियंते दूरसंचार ते अक्षय ऊर्जेपर्यंतच्या अनुप्रयोगांसह अत्याधुनिक सेमीकंडक्टर उपकरणे तयार करण्यात सक्षम झाले आहेत. तंत्रज्ञान जसजसे पुढे जात आहे, तसतसे सेमीकंडक्टर तंत्रज्ञानाच्या भविष्याला आकार देणाऱ्या तंत्रांच्या शस्त्रागारात LPE हे एक महत्त्वाचे साधन आहे.

सेमिकोरेक्स उच्च-गुणवत्तेची ऑफर करतेLPE साठी CVD SiC भागसानुकूलित सेवेसह. आपल्याकडे काही चौकशी असल्यास किंवा अतिरिक्त तपशीलांची आवश्यकता असल्यास, कृपया आमच्याशी संपर्क साधण्यास अजिबात संकोच करू नका.

संपर्क फोन # +86-13567891907

ईमेल: sales@semicorex.com