AlN क्रिस्टल वाढीच्या पद्धती

AlN, थर्ड-जनरेशन सेमीकंडक्टर सामग्री म्हणून, केवळ एक महत्त्वपूर्ण निळा प्रकाश आणि अल्ट्राव्हायोलेट प्रकाश सामग्री नाही, तर इलेक्ट्रॉनिक उपकरणे आणि एकात्मिक सर्किट्ससाठी एक महत्त्वपूर्ण पॅकेजिंग, डायलेक्ट्रिक अलगाव आणि इन्सुलेशन सामग्री देखील आहे, विशेषत: उच्च-तापमान आणि उच्च-शक्ती उपकरणांसाठी उपयुक्त. . याव्यतिरिक्त, AlN आणि GaN मध्ये चांगली थर्मल जुळणी आणि रासायनिक सुसंगतता आहे, AlN चा GaN एपिटॅक्सियल सब्सट्रेट म्हणून वापर केला जातो, GaN उपकरणांमधील दोष घनता लक्षणीयरीत्या कमी करू शकतो, डिव्हाइसची कार्यक्षमता सुधारू शकतो.

आकर्षक ऍप्लिकेशनच्या संभाव्यतेमुळे, उच्च-गुणवत्तेच्या, मोठ्या आकाराच्या AlN क्रिस्टल्सच्या तयारीकडे देश-विदेशातील संशोधकांचे मोठे लक्ष वेधले गेले आहे. सध्या, AlN क्रिस्टल्स सोल्युशन पद्धतीने, अॅल्युमिनियम धातूचे डायरेक्ट नायट्राइडिंग, हायड्राइड गॅस-फेज एपिटॅक्सी आणि फिजिकल व्हेपर फेज ट्रान्सपोर्ट (PVT) द्वारे तयार केले जातात. त्यापैकी, PVT पद्धत उच्च वाढ दर (500-1000 μm/h पर्यंत) आणि उच्च क्रिस्टल गुणवत्ता (103 cm-2 पेक्षा कमी विस्थापन घनता) असलेल्या AlN क्रिस्टल्सच्या वाढीसाठी मुख्य प्रवाहातील तंत्रज्ञान बनली आहे.

PVT पद्धतीद्वारे AlN क्रिस्टल्सची वाढ उदात्तीकरण, गॅस फेज वाहतूक आणि AlN पावडरच्या पुनर्क्रिस्टलायझेशनद्वारे पूर्ण होते आणि वाढीचे वातावरण तापमान 2 300 ℃ पर्यंत असते. PVT पद्धतीने AlN क्रिस्टल्स वाढवण्याचे मूलभूत तत्त्व तुलनेने सोपे आहे, खालील समीकरणात दाखविल्याप्रमाणे:

2AlN(s) ⥫⥬ 2Al(g) ＋N2(g)

वाढ प्रक्रियेचे मुख्य टप्पे खालीलप्रमाणे आहेत: (1) AlN कच्च्या पावडरचे उदात्तीकरण; (2) कच्च्या मालाच्या गॅस-फेज घटकांची वाहतूक; (3) वाढीच्या पृष्ठभागावर गॅस-फेज घटकांचे शोषण; (4) पृष्ठभाग प्रसार आणि केंद्रकीकरण; आणि (५) डिसॉर्प्शन प्रक्रिया [१०]. मानक वायुमंडलीय दाबाखाली, AlN क्रिस्टल्स Al वाष्प आणि नायट्रोजनमध्ये फक्त 1 700 ℃ वर हळूहळू विघटित होऊ लागतात आणि तापमान 2 200 ℃ पर्यंत पोहोचल्यावर AlN ची विघटन प्रतिक्रिया वेगाने तीव्र होते.

उत्कृष्ट भौतिक आणि रासायनिक गुणधर्म, उत्कृष्ट थर्मल आणि इलेक्ट्रिकल चालकता, रासायनिक गंज प्रतिरोध आणि चांगला थर्मल शॉक प्रतिरोध, जे उत्पादन कार्यक्षमता आणि सेवा आयुष्य प्रभावीपणे सुधारू शकते, हे TaC मटेरियल हे खरे AlN क्रिस्टल ग्रोथ क्रुसिबल मटेरियल आहे.

सेमिकोरेक्स उच्च-गुणवत्तेची ऑफर करतेटीएसी कोटिंग उत्पादनेसानुकूलित सेवेसह. आपल्याकडे काही चौकशी असल्यास किंवा अतिरिक्त तपशीलांची आवश्यकता असल्यास, कृपया आमच्याशी संपर्क साधण्यास अजिबात संकोच करू नका.

संपर्क फोन # +86-13567891907

ईमेल: sales@semicorex.com