अर्धसंवाहक अनुप्रयोगांमध्ये क्वार्ट्ज उत्पादने

सेमीकंडक्टर उद्योगात, क्वार्ट्जचा मोठ्या प्रमाणावर वापर केला जातो आणि उच्च-शुद्धता क्वार्ट्ज उत्पादने वेफर उत्पादनात आणखी महत्त्वपूर्ण उपभोग्य वस्तू आहेत. सिलिकॉन सिंगल क्रिस्टल क्रूसिबल्स, क्रिस्टल बोट्स, डिफ्यूजन फर्नेस कोअर ट्यूब आणि इतर क्वार्ट्ज घटकांच्या उत्पादनासाठी उच्च-शुद्धता क्वार्ट्ज ग्लास उत्पादने वापरणे आवश्यक आहे. सेमीकंडक्टर फील्डमधील क्वार्ट्जचे भाग, वेफर फाउंड्री डिफ्यूजन आणि एचिंग प्रक्रियेसाठी मुख्य लक्ष्य बाजार अनुप्रयोग, उच्च-तापमान झोन डिव्हाइसेस आणि कमी-तापमान झोन डिव्हाइसेसच्या दोन श्रेणींमध्ये विभागले जाऊ शकतात, मुख्य उपकरणे खालीलप्रमाणे आहेत:

1) उच्च-तापमान झोन उपकरणे प्रामुख्याने प्रसार ऑक्सिडेशन आहेत आणि भट्टीच्या नळ्या, काचेच्या बोट रॅक इत्यादींच्या वापराच्या इतर बाबी, उच्च-तापमान वातावरणात, प्रत्यक्ष किंवा अप्रत्यक्षपणे सिलिकॉन वेफरच्या संपर्कात असणे आवश्यक आहे; प्रामुख्याने थर्मल प्रक्रियेद्वारे उत्पादित इलेक्ट्रोफ्यूज्ड क्वार्ट्ज ग्लास सामग्रीची खरेदी;

2) कमी-तापमान झोन उपकरणे मुख्यत्वे क्वार्ट्ज रिंग्स सारख्या खोदकामाचे दुवे असतात, परंतु त्यामध्ये मुख्यतः कमी-तापमानाच्या वातावरणात वापरल्या जाणार्‍या क्लिनिंग प्रोसेस बास्केट, साफसफाईच्या टाक्या इत्यादींचा समावेश होतो; कोल्ड प्रोसेसिंग उत्पादनाद्वारे प्रामुख्याने गॅस रिफायनिंग क्वार्ट्ज ग्लास खरेदी केला

त्यापैकी, उच्च-तापमान झोन उपकरणे जलद वापरतात, परंतु मल्टी-चिप मशीन (एकापेक्षा जास्त वेफर वाहून नेण्यासाठी एक वाहक) प्रमाणेच, कमी-तापमान झोन उपकरणे हळू वापरतात, परंतु मोनोलिथिक (वेफर वाहून नेण्यासाठी एक वाहक) ; म्हणून, दोन एकूण बाजार आकार एकमेकांच्या तुलनेने जवळ आहेत.