SiC लेपित ग्रेफाइट ससेप्टर म्हणजे काय?

परिचय करण्यासाठीSiC लेपित ग्रेफाइट रिसीव्हर, त्याचा अनुप्रयोग समजून घेणे महत्त्वाचे आहे. उपकरणे तयार करताना, काही वेफर सब्सट्रेट्सवर पुढील एपिटॅक्सियल स्तर तयार करणे आवश्यक आहे. उदाहरणार्थ, LED प्रकाश-उत्सर्जक उपकरणांना सिलिकॉन सब्सट्रेट्सवर GaAs एपिटॅक्सियल स्तर तयार करणे आवश्यक आहे; SiC सबस्ट्रेट्सवर SiC लेयरची वाढ आवश्यक असताना, एपिटॅक्सियल लेयर उच्च व्होल्टेज आणि उच्च प्रवाह यांसारख्या उर्जा अनुप्रयोगांसाठी उपकरणे तयार करण्यास मदत करते, उदाहरणार्थ SBD, MOSFET, इ. याउलट, GaN एपिटॅक्सियल लेयर अर्ध-इन्सुलेटिंग SiC वर बांधला जातो. संप्रेषणासारख्या रेडिओ फ्रिक्वेन्सी ऍप्लिकेशन्ससाठी HEMT सारखी उपकरणे तयार करण्यासाठी सब्सट्रेट. हे करण्यासाठी, एCVD उपकरणे(इतर तांत्रिक पद्धतींसह) आवश्यक आहे. हे उपकरण III आणि II गट घटक आणि V आणि VI गट घटकांना सब्सट्रेट पृष्ठभागावर वाढ स्रोत सामग्री म्हणून जमा करू शकते.

मध्येCVD उपकरणे, सब्सट्रेट थेट धातूवर ठेवता येत नाही किंवा एपिटॅक्सियल डिपॉझिशनसाठी बेसवर ठेवता येत नाही. कारण वायू प्रवाहाची दिशा (क्षैतिज, अनुलंब), तापमान, दाब, स्थिरीकरण, दूषित पदार्थांचे शेडिंग इत्यादी सर्व घटक प्रक्रियेवर प्रभाव टाकू शकतात. म्हणून, डिस्कवर सब्सट्रेट ठेवलेल्या ठिकाणी ससेप्टरची आवश्यकता असते आणि नंतर सब्सट्रेटवर एपिटॅक्सियल डिपॉझिशन करण्यासाठी CVD तंत्रज्ञानाचा वापर केला जातो. हा ससेप्टर एक SiC-कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टर आहे (ज्याला ट्रे म्हणूनही ओळखले जाते).

दग्रेफाइट प्राप्तकर्तामध्ये एक महत्त्वपूर्ण घटक आहेMOCVD उपकरणे. हे सब्सट्रेटचे वाहक आणि गरम घटक म्हणून कार्य करते. त्याची थर्मल स्थिरता, एकसमानता आणि इतर कार्यप्रदर्शन मापदंड हे महत्त्वाचे घटक आहेत जे एपिटॅक्सियल सामग्रीच्या वाढीची गुणवत्ता निर्धारित करतात आणि पातळ फिल्म सामग्रीच्या एकरूपता आणि शुद्धतेवर थेट परिणाम करतात. त्यामुळे, गुणवत्ताग्रेफाइट प्राप्तकर्ताएपिटॅक्सियल वेफर्स तयार करण्यासाठी आवश्यक आहे. तथापि, ससेप्टरच्या उपभोग्य स्वरूपामुळे आणि बदलत्या कामकाजाच्या परिस्थितीमुळे ते सहजपणे गमावले जाते.

ग्रेफाइटमध्ये उत्कृष्ट थर्मल चालकता आणि स्थिरता आहे, ज्यामुळे तो एक आदर्श आधार घटक बनतोMOCVD उपकरणे. तथापि, शुद्ध ग्रेफाइटला काही आव्हानांचा सामना करावा लागतो. उत्पादनादरम्यान, अवशिष्ट संक्षारक वायू आणि धातूचे सेंद्रिय पदार्थ संसेप्टरला क्षरण आणि पावडर दूर करण्यास कारणीभूत ठरू शकतात, ज्यामुळे त्याचे सेवा आयुष्य मोठ्या प्रमाणात कमी होते. शिवाय, पडणाऱ्या ग्रेफाइट पावडरमुळे चिपचे प्रदूषण होऊ शकते. म्हणून, बेस तयार करण्याच्या प्रक्रियेदरम्यान या समस्यांचे निराकरण करणे आवश्यक आहे.

कोटिंग तंत्रज्ञान ही अशी प्रक्रिया आहे ज्याचा वापर पृष्ठभागावरील पावडर निश्चित करण्यासाठी, थर्मल चालकता वाढविण्यासाठी आणि उष्णता समान रीतीने वितरित करण्यासाठी केला जाऊ शकतो. हे तंत्रज्ञान या समस्येचे निराकरण करण्याचा प्राथमिक मार्ग बनला आहे. ऍप्लिकेशन वातावरण आणि ग्रेफाइट बेसच्या वापराच्या आवश्यकतांवर अवलंबून, पृष्ठभागाच्या कोटिंगमध्ये खालील वैशिष्ट्ये असावीत:

1. उच्च घनता आणि पूर्ण रॅपिंग: ग्रेफाइट बेस उच्च-तापमान, गंजलेल्या कार्य वातावरणात आहे आणि पृष्ठभाग पूर्णपणे झाकलेला असणे आवश्यक आहे. चांगले संरक्षण देण्यासाठी कोटिंगमध्ये चांगली घनता देखील असणे आवश्यक आहे.

2. पृष्ठभागाची चांगली सपाटता: सिंगल क्रिस्टलच्या वाढीसाठी वापरल्या जाणाऱ्या ग्रेफाइट बेसला पृष्ठभागाची उच्च सपाटता आवश्यक असल्याने, कोटिंग तयार झाल्यानंतर बेसचा मूळ सपाटपणा राखला गेला पाहिजे. याचा अर्थ कोटिंग पृष्ठभाग एकसमान असणे आवश्यक आहे.

3. चांगली बाँडिंग स्ट्रेंथ: ग्रेफाइट बेस आणि कोटिंग मटेरिअलमधील थर्मल एक्सपेन्शन गुणांकातील फरक कमी केल्याने दोन्हीमधील बाँडिंग स्ट्रेंथ प्रभावीपणे सुधारू शकतो. उच्च आणि कमी तापमानाच्या थर्मल चक्राचा अनुभव घेतल्यानंतर, कोटिंग क्रॅक करणे सोपे नाही.

4. उच्च थर्मल चालकता: उच्च-गुणवत्तेच्या चिपच्या वाढीसाठी ग्रेफाइट बेसपासून जलद आणि एकसमान उष्णता आवश्यक आहे. म्हणून, कोटिंग सामग्रीमध्ये उच्च थर्मल चालकता असावी.

5. उच्च वितळण्याचा बिंदू, ऑक्सिडेशनला उच्च तापमानाचा प्रतिकार, आणि गंज प्रतिरोधक: कोटिंग उच्च-तापमान आणि संक्षारक कार्य वातावरणात स्थिरपणे कार्य करण्यास सक्षम असावे.

सध्या,सिलिकॉन कार्बाइड (SiC)उच्च-तापमान आणि संक्षारक वायू वातावरणात त्याच्या अपवादात्मक कामगिरीमुळे, ग्रेफाइट कोटिंगसाठी प्राधान्य दिलेली सामग्री आहे. शिवाय, ग्रेफाइटसह त्याचे जवळचे थर्मल विस्तार गुणांक त्यांना मजबूत बंध तयार करण्यास सक्षम करते. याव्यतिरिक्त,टँटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंगहा देखील एक चांगला पर्याय आहे आणि ते अधिक उच्च तापमानात (>2000℃) वातावरणात उभे राहू शकते.

सेमिकोरेक्स उच्च-गुणवत्तेची ऑफर करतेSiCआणिTaC लेपित ग्रेफाइट ससेप्टर्स. आपल्याकडे काही चौकशी असल्यास किंवा अतिरिक्त तपशीलांची आवश्यकता असल्यास, कृपया आमच्याशी संपर्क साधण्यास अजिबात संकोच करू नका.

संपर्क फोन # +86-13567891907

ईमेल: sales@semicorex.com