SiC बोट म्हणजे काय आणि त्याच्या विविध उत्पादन प्रक्रिया काय आहेत?

१. च्या विविध उत्पादन प्रक्रियाSiC बोट

(१) एक थर लेपSiC चित्रपटग्रेफाइटच्या पृष्ठभागावरक्रिस्टल बोटीCVD द्वारे

या प्रकारच्या बोटीमध्ये ग्रेफाइट कोर असतो, जो एका तुकड्यात मशिन केलेला असतो. तथापि,ग्रेफाइट सच्छिद्र आहेआणि कण निर्मितीसाठी प्रवण, अ च्या अनुप्रयोगाची आवश्यकता आहेSiC फिल्म कोटिंगत्याच्या पृष्ठभागावर. ग्रेफाइट बॉडी आणि बॉडीमधील थर्मल विस्तार गुणांक (CTE) मध्ये जुळत नसल्यामुळेSiC चित्रपट, एकापेक्षा जास्त गरम आणि थंड होण्याच्या चक्रानंतर कोटिंग सोलण्याची शक्यता असते, ज्यामुळे कण दूषित होते. या बोटी सर्वात कमी खर्चिक आहेत आणि त्यांचे आयुष्य सुमारे एक वर्ष आहे.

(२) एक थर लेपSiC चित्रपटरीक्रिस्टॉल केलेलेSiC क्रिस्टल बोटी

रीक्रिस्टॉल केलेलेSiC बोटीसच्छिद्र देखील आहेत आणि सहजपणे कण तयार करू शकतात. त्यामुळे, वैयक्तिक घटक recrystallizedSiC बोटीपूर्व-निर्मित, सिंटर केलेले आणि नंतर स्वतंत्रपणे मशीन केलेले असणे आवश्यक आहे. नंतर, सी पेस्ट वापरून घटक उच्च तापमानात एकत्र बांधले जातात. एकदा एकाच बोटीत जमल्यावर एSiC चित्रपटCVD द्वारे अर्ज केला जातो. हे रीक्रिस्टल झालेSiC बोटसर्वात लांब उत्पादन प्रक्रिया आहे आणि महाग आहे, परंतु पृष्ठभागसीव्हीडी कोटिंगसुमारे तीन वर्षांच्या आयुष्यासह देखील नुकसान होऊ शकते.

(३)मोनोलिथिकSiC क्रिस्टल बोटी

यानौकापूर्णपणे SiC मटेरियलने बनलेले आहेत. SiC पावडर मोल्ड करून मोनोलिथिक बोटीच्या आकारात सिंटर करणे आवश्यक आहे. अत्यंत महाग, ते खूप टिकाऊ असतात आणि कण तयार करण्याची शक्यता कमी असते. तथापि, या बोटींमध्ये 10-15% फ्री सिलिकॉन असते, जे फ्लोरिन आणि क्लोरीनद्वारे धूप होण्यास संवेदनाक्षम असते, ज्यामुळे कण दूषित होते.

2. ड्राय क्लीनिंगची शिफारस का केली जात नाही?

सारांश, साठीSiC बोटीa सह लेपितसीव्हीडीद्वारे SiC चित्रपट, कोरड्या साफसफाईच्या वेळी पृष्ठभागावरील लेप सोलण्याची शक्यता असते, ज्यामुळे कण दूषित होते. मोनोलिथिक साठीSiC बोटीज्यामध्ये कमी प्रमाणात फ्री सिलिकॉन असते, फ्लोरिन किंवा क्लोरीन असलेल्या वायूंच्या संपर्कात आल्याने धूप आणि कण निर्मिती होऊ शकते, ज्यामुळे दूषित होते.**