सिलिकॉन वेफर्सचे पृष्ठभाग पॉलिशिंग

सिलिकॉन वेफरसेमीकंडक्टर उत्पादनात पृष्ठभाग पॉलिशिंग ही एक महत्त्वपूर्ण प्रक्रिया आहे. त्याचे प्राथमिक उद्दिष्ट म्हणजे सूक्ष्म-दोष, तणावाचे स्तर आणि धातूच्या आयनसारख्या अशुद्धतेपासून होणारे दूषित काढून टाकून पृष्ठभाग सपाटपणा आणि खडबडीतपणाची उच्च मानके प्राप्त करणे. हे सुनिश्चित करते कीसिलिकॉन वेफर्सएकात्मिक सर्किट्ससह (ICs) मायक्रोइलेक्ट्रॉनिक उपकरणांसाठी तयारी आवश्यकता पूर्ण करा.

पॉलिशिंग अचूकतेची हमी देण्यासाठी, दसिलिकॉन वेफरपॉलिशिंग प्रक्रिया दोन, तीन किंवा अगदी चार भिन्न चरणांमध्ये आयोजित केली जाऊ शकते. प्रत्येक पायरीमध्ये दाब, पॉलिशिंग द्रव रचना, कण आकार, एकाग्रता, pH मूल्य, पॉलिशिंग कापड सामग्री, रचना, कडकपणा, तापमान आणि प्रक्रियेची मात्रा यासह विविध प्रक्रिया परिस्थिती वापरल्या जातात.

चे सामान्य टप्पेसिलिकॉन वेफरपॉलिशिंग खालीलप्रमाणे आहे:

1. **रफ पॉलिशिंग**: या स्टेजचे उद्दिष्ट आहे की आवश्यक भौमितिक मितीय अचूकता प्राप्त करून, पूर्वीच्या प्रक्रियेतून पृष्ठभागावर शिल्लक राहिलेला यांत्रिक ताण नुकसान स्तर काढून टाकणे. रफ पॉलिशिंगसाठी प्रक्रिया व्हॉल्यूम सामान्यत: 15-20μm पेक्षा जास्त असते.

2. **फाइन पॉलिशिंग**: या स्टेजमध्ये, उच्च पृष्ठभागाची गुणवत्ता सुनिश्चित करण्यासाठी सिलिकॉन वेफरच्या पृष्ठभागाचा स्थानिक सपाटपणा आणि खडबडीतपणा आणखी कमी केला जातो. बारीक पॉलिशिंगसाठी प्रक्रिया व्हॉल्यूम सुमारे 5-8μm आहे.

3. **"डीफॉगिंग" फाइन पॉलिशिंग**: ही पायरी पृष्ठभागावरील लहान दोष दूर करण्यावर आणि वेफरची नॅनो-मॉर्फोलॉजी वैशिष्ट्ये सुधारण्यावर लक्ष केंद्रित करते. या प्रक्रियेदरम्यान काढलेल्या सामग्रीचे प्रमाण सुमारे 1μm आहे.

4. **अंतिम पॉलिशिंग**: अत्यंत कडक लाईनविड्थ आवश्यकता असलेल्या IC चिप प्रक्रियेसाठी (जसे की 0.13μm किंवा 28nm पेक्षा लहान चिप्स), बारीक पॉलिशिंग आणि "डीफॉगिंग" बारीक पॉलिशिंगनंतर अंतिम पॉलिशिंग पायरी आवश्यक आहे. हे सुनिश्चित करते की सिलिकॉन वेफर अपवादात्मक मशीनिंग अचूकता आणि नॅनोस्केल पृष्ठभाग वैशिष्ट्ये प्राप्त करते.

हे लक्षात घेणे महत्वाचे आहे की रासायनिक यांत्रिक पॉलिशिंग (सीएमपी).सिलिकॉन वेफरपृष्ठभाग हे IC तयारीमध्ये वेफर पृष्ठभाग सपाट करण्यासाठी वापरल्या जाणाऱ्या CMP तंत्रज्ञानापेक्षा वेगळे आहे. दोन्ही पद्धतींमध्ये रासायनिक आणि यांत्रिक पॉलिशिंगचा समावेश असला तरी, त्यांच्या परिस्थिती, उद्देश आणि अनुप्रयोग लक्षणीय भिन्न आहेत.

Semicorex ऑफरउच्च दर्जाचे वेफर्स. आपल्याकडे काही चौकशी असल्यास किंवा अतिरिक्त तपशीलांची आवश्यकता असल्यास, कृपया आमच्याशी संपर्क साधण्यास अजिबात संकोच करू नका.

संपर्क फोन # +86-13567891907

ईमेल: sales@semicorex.com